Polmesečni boben s prevleko iz SiC, ki se uporablja v epitaksialni opremi za SiC

Kratek opis:

Predstavitev in uporaba izdelka: Povezana kvarčna cev, lahko prepušča plin za vrtenje dna pladnja, nadzor temperature

Lokacija izdelka v napravi: v reakcijski komori, brez neposrednega stika z rezino

Glavni nadaljnji izdelki: napajalne naprave

Glavni terminalski trg: nova energetska vozila

 


Podrobnosti o izdelku

Oznake izdelkov

SiC prevlečen grafitni polmesečni delis a ključkomponenta, ki se uporablja v postopkih izdelave polprevodnikov, zlasti za epitaksialno opremo SiC.Za izdelavo dela polmeseca uporabljamo našo patentirano tehnologijoizjemno visoka čistost,dobropremazovanjeenotnostin odlično življenjsko dobo, kot tudivisoka kemična odpornost in lastnosti toplotne stabilnosti.

VET Energy je thepravi proizvajalec prilagojenih izdelkov iz grafita in silicijevega karbida s CVD prevleko,lahko dobavirazličnedeli po meri za polprevodniško in fotovoltaično industrijo. OVaša tehnična ekipa prihaja iz vrhunskih domačih raziskovalnih ustanov, lahko zagotovi bolj profesionalne materialne rešitveza vas.

Nenehno razvijamo napredne postopke za zagotavljanje naprednejših materialov,inso razvili ekskluzivno patentirano tehnologijo, ki lahko naredi vez med premazom in podlago tesnejšo in manj nagnjeno k ločevanju.

Flastnosti naših izdelkov:

1. Visokotemperaturna oksidacijska odpornost do 1700.
2. Visoka čistost intoplotna enakomernost
3. Odlična odpornost proti koroziji: kisline, alkalije, sol in organski reagenti.
4. Visoka trdota, kompaktna površina, drobni delci.
5. Daljša življenjska doba in bolj trpežna

KVB SiC薄膜基本物理性能

Osnovne fizikalne lastnosti CVD SiCpremazovanje

性质 / Lastnina

典型数值 / Tipična vrednost

晶体结构 / Kristalna struktura

FCC β faza多晶,主要为(111) 取向

密度 / Gostota

3,21 g/cm³

硬度 / Trdota

2500 维氏硬度(500g obremenitev)

晶粒大小 / Velikost zrna

2~10 μm

纯度 / Kemijska čistost

99,99995 %

热容 / Toplotna zmogljivost

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Temperatura sublimacije

2700 ℃

抗弯强度 / Upogibna trdnost

415 MPa RT 4-točkovno

杨氏模量 / Youngov modul

430 Gpa 4-točkovni upogib, 1300 ℃

导热系数 / TermalPrevodnost

300 W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Toplotna ekspanzija (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Lepo vas vabimo, da obiščete našo tovarno, pogovorimo se naprej!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Prejšnja:
  • Naprej:

  • Spletni klepet WhatsApp!