PECVD nakladacia miska na odkladanie grafitovej misky

PECVD nakladacia tácka na uloženie grafitová tácka Odporúčaný obrázok

Stručný popis:

Nakladacia miska PECVD spoločnosti VET Energy je navrhnutá tak, aby poskytovala bezpečnú a rovnomernú podporu plátkov počas nanášania, čím sa zlepšuje konzistencia a kvalita procesu nanášania. Vďaka svojej vynikajúcej tepelnej odolnosti pomáha grafitová tácka udržiavať kontrolované prostredie vo vnútri komôr PECVD, čím sa znižuje riziko kontaminácie a zabezpečuje sa vysoká účinnosť procesu.

Pošlite nám e-mail Stiahnuť ako PDF

Detail produktu

Štítky produktu

Nakladacia tácka VET Energy PECVD je presný nosič navrhnutý pre proces PECVD (plazma zosilnená chemická depozícia). Táto vysokokvalitná nanášacia grafitová tácka je vyrobená z vysoko čistého grafitového materiálu s vysokou hustotou. Má vynikajúcu odolnosť voči vysokej teplote, odolnosť proti korózii, rozmerovú stabilitu a ďalšie vlastnosti. Môže poskytnúť stabilnú nosnú platformu pre proces PECVD a zabezpečiť rovnomernosť a rovinnosť nanášania filmu.

Nakladacie podnosy VET Energy PECVD sú široko používané v polovodičových, fotovoltaických, LED a iných oblastiach. Napríklad:

▪ Polovodič: Proces PECVD pre polovodičové materiály, ako sú kremíkové doštičky a epitaxné doštičky.

▪ Fotovoltaika: PECVD proces pre tenké vrstvy solárnych článkov.

▪ LED: Proces PECVD pre LED čipy.

Výhody produktu

▪Zlepšenie kvality filmu:Zabezpečte rovnomerné ukladanie filmu a zvýšte kvalitu filmu.

▪Predĺžte životnosť zariadenia:Vynikajúca odolnosť proti korózii, predlžuje životnosť zariadenia PECVD.

▪Znížte výrobné náklady:Vysokokvalitné grafitové podnosy môžu znížiť množstvo odpadu a znížiť výrobné náklady.

Grafitový materiál od SGL:

Typický parameter: R6510
Index	Skúšobný štandard	Hodnota	Jednotka
Priemerná veľkosť zrna	ISO 13320	10	μm
Objemová hmotnosť	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Otvorená pórovitosť	DIN66133	10	%
Stredná veľkosť pórov	DIN66133	1.8	μm
Priepustnosť	DIN 51935	0,06	cm²/s
Tvrdosť podľa Rockwella HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Špecifický elektrický odpor	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Pevnosť v ohybe	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Pevnosť v tlaku	DIN 51910	130	MPa
Youngov modul	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Tepelná rozťažnosť (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2 x 10^-6	K^-1
Tepelná vodivosť (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Je špeciálne navrhnutý pre vysokoúčinnú výrobu solárnych článkov s podporou spracovania veľkých plátkov G12. Optimalizovaný dizajn nosiča výrazne zvyšuje priepustnosť, umožňuje vyššiu výnosnosť a nižšie výrobné náklady.

Položka	Typ	Číslo nosiča oblátok
PEVCD Grephite čln - Séria 156	156-13 grephite čln	144
	156-19 grephite čln	216
	156-21 grefitový čln	240
	156-23 grafitový čln	308
PEVCD Grephite čln - Séria 125	125-15 grephite čln	196
	125-19 grephite čln	252
	125-21 grphite čln	280