Podpora grafitových plátkov PECVD

PECVD grafitová doska podpora Odporúčaný obrázok

Stručný popis:

Grafitová podložka VET Energy, navrhnutá pre presnosť a výkon, je ideálnym materiálom na použitie pri pokročilom spracovaní doštičiek, kde je rozhodujúca vysoká tepelná stabilita a konzistentný výkon. Či už pracujete s polovodičovými doštičkami alebo inými jemnými substrátmi, táto vysokokvalitná grafitová podložka zvýši spoľahlivosť vášho procesu a kvalitu produktu, vďaka čomu je nepostrádateľnou súčasťou modernej výroby.

Pošlite nám e-mail Stiahnuť ako PDF

Detail produktu

Štítky produktu

Proces VET Energy PECVD grafitový doštičkový nosič je spotrebný materiál jadra navrhnutý pre proces PECVD (plazma zosilnená chemická depozícia). Tento produkt je vyrobený z vysoko čistého grafitového materiálu s vysokou hustotou, s vynikajúcou odolnosťou voči vysokej teplote, odolnosťou proti korózii, rozmerovou stabilitou a ďalšími vlastnosťami, môže poskytnúť stabilnú podpornú platformu pre proces PECVD, aby sa zabezpečila rovnomernosť a rovinnosť nanášania filmu.

Dizajn „grafitovej podpory“ grafitovej doštičky VET Energy môže nielen účinne podporiť doštičku, ale tiež poskytnúť tepelnú stabilitu v prostredí vysokej teploty a vysokého tlaku PECVD, aby sa zabezpečila stabilita procesu.

Podpora procesu VET Energy PECVD grafitových plátkov má nasledujúce vlastnosti:

▪Vysoká čistota:extrémne nízky obsah nečistôt, zabráňte kontaminácii filmu, aby sa zabezpečila kvalita filmu.

▪Vysoká hustota:vysoká hustota, vysoká mechanická pevnosť, vydrží vysoké teploty a vysoký tlak prostredia PECVD.

▪Dobrá rozmerová stabilita:malé rozmerové zmeny pri vysokej teplote na zabezpečenie stability procesu.

▪Vynikajúca tepelná vodivosť:účinne prenáša teplo, aby sa zabránilo prehriatiu plátku.

▪Silná odolnosť proti korózii:Schopný odolávať erózii rôznymi korozívnymi plynmi a plazmou.

▪Prispôsobená služba:Grafitové podporné stoly rôznych veľkostí a tvarov je možné prispôsobiť podľa potrieb zákazníka.

Grafitový materiál od SGL:

Typický parameter: R6510
Index	Skúšobný štandard	Hodnota	Jednotka
Priemerná veľkosť zrna	ISO 13320	10	μm
Objemová hmotnosť	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Otvorená pórovitosť	DIN66133	10	%
Stredná veľkosť pórov	DIN66133	1.8	μm
Priepustnosť	DIN 51935	0,06	cm²/s
Tvrdosť podľa Rockwella HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Špecifický elektrický odpor	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Pevnosť v ohybe	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Pevnosť v tlaku	DIN 51910	130	MPa
Youngov modul	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Tepelná rozťažnosť (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2 x 10^-6	K^-1
Tepelná vodivosť (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Je špeciálne navrhnutý pre vysokoúčinnú výrobu solárnych článkov s podporou spracovania veľkých plátkov G12. Optimalizovaný dizajn nosiča výrazne zvyšuje priepustnosť, umožňuje vyššiu výnosnosť a nižšie výrobné náklady.

Položka	Typ	Číslo nosiča oblátok
PEVCD Grephite čln - Séria 156	156-13 grephite čln	144
	156-19 grephite čln	216
	156-21 grefitový čln	240
	156-23 grafitový čln	308
PEVCD Grephite čln - Séria 125	125-15 grephite čln	196
	125-19 grephite čln	252
	125-21 grphite čln	280