Grafitový plátkový čln VET Energy je vysokokvalitný spotrebný materiál prispôsobený pre depozičné procesy v polovodičovom, fotovoltaickom a inom priemysle. Vyrobený z vysoko čistého grafitového materiálu s vysokou hustotou, tento produkt má vynikajúcu odolnosť proti vysokej teplote, odolnosť proti korózii, rozmerovú stabilitu a ďalšie vlastnosti a môže poskytnúť stabilnú nosnú platformu pre proces nanášania, aby sa zabezpečila rovnomernosť a rovinnosť nanášania tenkých vrstiev. .
PECVD grafitový čln od VET Energy je vyrobený z vysoko čistého izostatického grafitu s pórovitosťou pod 15% a drsnosťou povrchu Ra≤1,6μm. Vynikajúca rozmerová stabilita a tepelná vodivosť zaisťujú rovnomerné nanášanie filmu a zvýšenú účinnosť článku.
Grafitový materiál od SGL:
Typický parameter: R6510 | |||
Index | Skúšobný štandard | Hodnota | Jednotka |
Priemerná veľkosť zrna | ISO 13320 | 10 | μm |
Objemová hmotnosť | DIN IEC 60413/204 | 1,83 | g/cm3 |
Otvorená pórovitosť | DIN66133 | 10 | % |
Stredná veľkosť pórov | DIN66133 | 1.8 | μm |
Priepustnosť | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
Tvrdosť podľa Rockwella HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
Špecifický elektrický odpor | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
Pevnosť v ohybe | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
Pevnosť v tlaku | DIN 51910 | 130 | MPa |
Youngov modul | DIN 51915 | 11,5 × 10³ | MPa |
Tepelná rozťažnosť (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4,2 x 10-6 | K-1 |
Tepelná vodivosť (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Je špeciálne navrhnutý pre vysokoúčinnú výrobu solárnych článkov s podporou spracovania veľkých plátkov G12. Optimalizovaný dizajn nosiča výrazne zvyšuje priepustnosť, umožňuje vyššiu výnosnosť a nižšie výrobné náklady.
Položka | Typ | Číslo nosiča oblátok |
PEVCD Grephite čln - Séria 156 | 156-13 grephite čln | 144 |
156-19 grephite čln | 216 | |
156-21 grefitový čln | 240 | |
156-23 grafitový čln | 308 | |
PEVCD Grephite čln - Séria 125 | 125-15 grephite čln | 196 |
125-19 grephite čln | 252 | |
125-21 grphite čln | 280 |