Grafitový nosič pre proces PECVD

Stručný popis:

Energia OVPPECVD Graphite Boat for Solar Panel je pokročilý komponent navrhnutý špeciálne na výrobu vysokovýkonných solárnych panelov. Tento grafitový čln, ktorý sa používa v procesoch plazmového vylepšeného chemického nanášania z plynnej fázy (PECVD), zaisťuje optimálnu manipuláciu s materiálom a rovnomerné nanášanie tenkých vrstiev na solárne články. Navrhnuté pre presnosť a trvanlivosť, poskytuje vynikajúcu tepelnú vodivosť, vysokú odolnosť proti korózii a minimálnu kontamináciu, ktoré sú nevyhnutné pre výrobu účinných, vysokokvalitných solárnych panelov.

Pošlite nám e-mail Stiahnuť ako PDF

Detail produktu

Štítky produktu

Energia OVPProcesný grafitový nosič PECVD je vysokokvalitný spotrebný materiál prispôsobený pre proces PECVD (plazma zosilnená chemická depozícia). Tento grafitový nosič je vyrobený z vysoko čistého grafitového materiálu s vysokou hustotou, s vynikajúcou odolnosťou voči vysokej teplote, odolnosťou proti korózii, rozmerovou stabilitou a ďalšími charakteristikami, môže poskytnúť stabilnú nosnú platformu pre proces PECVD, aby sa zabezpečila rovnomernosť a plochosť tenkého filmu. uloženie.

Grafitové nosiče pre proces PECVD majú nasledujúce vlastnosti:

▪ Vysoká čistota: extrémne nízky obsah nečistôt, ktorý zabraňuje kontaminácii filmu a zabezpečuje kvalitu filmu.

▪ Vysoká hustota: vysoká hustota, vysoká mechanická pevnosť, schopná odolávať vysokej teplote a vysokému tlaku v prostredí PECVD.

▪ Dobrá rozmerová stabilita: malá rozmerová zmena pri vysokej teplote zaisťujúca stabilitu procesu.

▪ Vynikajúca tepelná vodivosť: efektívne prenáša teplo, aby sa zabránilo prehriatiu plátku.

▪ Silná odolnosť proti korózii: schopná odolávať erózii rôznymi korozívnymi plynmi a plazmou.

▪ Zákazková služba: grafitové nosiče rôznych veľkostí a tvarov je možné prispôsobiť podľa potrieb zákazníka.

Grafitový materiál od SGL:

Typický parameter: R6510
Index	Skúšobný štandard	Hodnota	Jednotka
Priemerná veľkosť zrna	ISO 13320	10	μm
Objemová hmotnosť	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Otvorená pórovitosť	DIN66133	10	%
Stredná veľkosť pórov	DIN66133	1.8	μm
Priepustnosť	DIN 51935	0,06	cm²/s
Tvrdosť podľa Rockwella HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Špecifický elektrický odpor	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Pevnosť v ohybe	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Pevnosť v tlaku	DIN 51910	130	MPa
Youngov modul	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Tepelná rozťažnosť (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2 x 10^-6	K^-1
Tepelná vodivosť (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Je špeciálne navrhnutý pre vysokoúčinnú výrobu solárnych článkov s podporou spracovania veľkých plátkov G12. Optimalizovaný dizajn nosiča výrazne zvyšuje priepustnosť, umožňuje vyššiu výnosnosť a nižšie výrobné náklady.

Položka	Typ	Číslo nosiča oblátok
PEVCD Grephite čln - Séria 156	156-13 grephite čln	144
	156-19 grephite čln	216
	156-21 grefitový čln	240
	156-23 grafitový čln	308
PEVCD Grephite čln - Séria 125	125-15 grephite čln	196
	125-19 grephite čln	252
	125-21 grphite čln	280