විශේෂාංග:
· විශිෂ්ට තාප කම්පන ප්රතිරෝධය
· විශිෂ්ට භෞතික කම්පන ප්රතිරෝධය
· විශිෂ්ට රසායනික ප්රතිරෝධය
· සුපිරි ඉහළ සංශුද්ධතාවය
· සංකීර්ණ හැඩයෙන් ලබා ගත හැක
· ඔක්සිකාරක වායුගෝලය යටතේ භාවිතා කළ හැක
අයදුම්පත:
නිෂ්පාදන විශේෂාංග සහ වාසි:
1. සුපිරි තාප ප්රතිරෝධය:ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින්SiC ආලේපනය, උපස්ථරය ආන්තික උෂ්ණත්වයන්ට ඔරොත්තු දෙන අතර, එපිටැක්සි සහ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය වැනි ඉල්ලුම සහිත පරිසරයන්හි ස්ථාවර කාර්ය සාධනය සහතික කරයි.
2. වැඩි දියුණු කළ කල්පැවැත්ම:SiC ආලේපිත මිනිරන් සංරචක රසායනික විඛාදනයට සහ ඔක්සිකරණයට ප්රතිරෝධය දැක්වීම සඳහා නිර්මාණය කර ඇති අතර, සම්මත ග්රැෆයිට් උපස්ථරවලට සාපේක්ෂව උපස්ථරයේ ආයු කාලය වැඩි කරයි.
3. විට්රියස් ආලේපිත ග්රැෆයිට්:හි අද්විතීය වීදුරු ව්යුහයSiC ආලේපනයවිශිෂ්ට මතුපිට දෘඪතාව සපයයි, ඉහළ-උෂ්ණත්වය සැකසීමේදී ඇඳීම සහ ඉරීම අවම කිරීම.
4. අධි සංශුද්ධතාවය SiC ආලේපනය:අපගේ උපස්ථරය සංවේදී අර්ධ සන්නායක ක්‍රියාවලීන්හි අවම දූෂණය සහතික කරයි, දැඩි ද්‍රව්‍ය සංශුද්ධතාවය අවශ්‍ය කර්මාන්ත සඳහා විශ්වසනීයත්වය ලබා දෙයි.
5. පුළුල් වෙළෙඳපොළ යෙදුම:දSiC ආලේපිත ග්රැෆයිට් susceptorඅර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ උසස් SiC ආලේපිත නිෂ්පාදන සඳහා ඉල්ලුම වැඩි වන විට වෙළඳපල අඛණ්ඩව වර්ධනය වෙමින් පවතී, මෙම උපස්ථරය ග්රැෆයිට් වේෆර් වාහක වෙළඳපොලේ සහ සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපිත මිනිරන් තැටි වෙළඳපොලේ ප්‍රධාන ක්‍රීඩකයෙකු ලෙස ස්ථානගත කරයි.
මූලික ග්රැෆයිට් ද්රව්යයේ සාමාන්ය ගුණාංග:
| පෙනෙන ඝනත්වය: | 1.85 g/cm3 |
| විද්‍යුත් ප්රතිරෝධය: | 11 μΩm |
| Flexural Strenth: | 49 MPa (500kgf/cm2) |
| වෙරළ තද බව: | 58 |
| අළු: | <5ppm |
| තාප සන්නායකතාව: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
| CVD SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC හි මූලික භෞතික ගුණාංගආලේපනය | |
| 性质 / දේපල | 典型数值 / සාමාන්ය අගය |
| 晶体结构 / ස්ඵටික ව්යුහය | FCC β අදියර 多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / ඝනත්වය | 3.21 g/cm³ |
| 硬度 / දෘඪතාව | 2500 维氏硬度 (ග්රෑම් 500 බර) |
| 晶粒大小 / ධාන්ය SiZe | 2~10μm |
| 纯度 / රසායනික සංශුද්ධතාවය | 99.99995% |
| 热容 / තාප ධාරිතාව | 640 J·kg-1·කේ-1 |
| 升华温度 / Sublimation උෂ්ණත්වය | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Flexural ශක්තිය | 415 MPa RT 4-ලක්ෂ්‍යය |
| 杨氏模量 / Young's Modulus | 430 Gpa 4pt වංගුව, 1300℃ |
| 导热系数 / තාප සන්නායකතාවය | 300W·m-1·කේ-1 |
| 热膨胀系数 / තාප ප්‍රසාරණය(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
VET Energy යනු SiC ආලේපනය, TaC ආලේපනය, වීදුරු කාබන් ආලේපනය, පයිෙරොලිටික් කාබන් ආලේපනය වැනි විවිධ ආලේපන සහිත අභිරුචිකරණය කරන ලද මිනිරන් සහ සිලිකන් කාබයිඩ් නිෂ්පාදනවල සැබෑ නිෂ්පාදකයා වන අතර, අර්ධ සන්නායක සහ ප්‍රකාශ වෝල්ටීයතා කර්මාන්තය සඳහා විවිධ අභිරුචි කළ කොටස් සැපයිය හැකිය.
අපගේ තාක්ෂණික කණ්ඩායම ඉහළ දේශීය පර්යේෂණ ආයතන වලින් පැමිණේ, ඔබට වඩාත් වෘත්තීය ද්‍රව්‍යමය විසඳුම් ලබා දිය හැකිය.
අපි වඩාත් දියුණු ද්‍රව්‍ය සැපයීම සඳහා උසස් ක්‍රියාවලි අඛණ්ඩව සංවර්ධනය කරන අතර, ආලේපනය සහ උපස්ථරය අතර බන්ධනය වඩාත් තද කළ හැකි සහ වෙන්වීමට ඇති ඉඩකඩ අඩු කළ හැකි සුවිශේෂී පේටන්ට් බලපත්‍ර තාක්ෂණයක් සකස් කර ඇත.
අපගේ කර්මාන්ත ශාලාව නැරඹීමට ඔබව සාදරයෙන් පිළිගනිමු, අපි තවදුරටත් සාකච්ඡා කරමු!
