අර්ධ සන්නායක සඳහා SiC ආලේපනය/ආලේපිත ග්‍රැෆයිට් උපස්ථරය/තැටි

කෙටි විස්තරය:

VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor for Epitaxial Growth යනු දීර්ඝ කාලයක් පුරා ස්ථාවර සහ විශ්වාසනීය කාර්ය සාධනයක් සැපයීම සඳහා නිර්මාණය කර ඇති ඉහළ කාර්ය සාධන නිෂ්පාදනයකි.එය සුපිරි හොඳ තාප ප්‍රතිරෝධයක් සහ තාප ඒකාකාරිත්වය, ඉහළ සංශුද්ධතාවය, ඛාදනය ප්‍රතිරෝධය ඇත, එය වේෆර් සැකසුම් යෙදුම් සඳහා පරිපූර්ණ විසඳුමක් බවට පත් කරයි.


නිෂ්පාදන විස්තර

නිෂ්පාදන ටැග්

අර්ධ සන්නායක සඳහා SiC ආෙල්පනය/ග්රැෆයිට් susceptor ආෙල්පනය
 
SiC Coated Graphite Susceptor යනු විවිධ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලීන්හි භාවිතා වන ප්‍රධාන සංරචකයකි.සිලිකන් කාබයිඩ් වාහකය අතිශයින් ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින්, හොඳ ආලේපන ඒකාකාරිත්වයකින් සහ විශිෂ්ට සේවා කාලයකින් මෙන්ම ඉහළ රසායනික ප්‍රතිරෝධයකින් සහ තාප ස්ථායී ගුණයන්ගෙන් යුක්තව සෑදීමට අපි අපගේ පේටන්ට් බලපත්‍රලාභී තාක්ෂණය භාවිතා කරමු.

 විශේෂාංග: 
· විශිෂ්ට තාප කම්පන ප්රතිරෝධය
· විශිෂ්ට භෞතික කම්පන ප්රතිරෝධය
· විශිෂ්ට රසායනික ප්රතිරෝධය
· සුපිරි ඉහළ සංශුද්ධතාවය
· සංකීර්ණ හැඩයෙන් ලබා ගත හැක
· ඔක්සිකාරක වායුගෝලය යටතේ භාවිතා කළ හැක

අයදුම්පත:

3

මූලික ග්රැෆයිට් ද්රව්යයේ සාමාන්ය ගුණාංග:

පෙනෙන ඝනත්වය: 1.85 g/cm3
විද්‍යුත් ප්‍රතිරෝධය: 11 μΩm
Flexural Strenth: 49 MPa (500kgf/cm2)
වෙරළ තද බව: 58
අළු: <5ppm
තාප සන්නායකතාව: 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

 

CVD SiC薄膜基本物理性能

CVD SiC හි මූලික භෞතික ගුණාංගආලේපනය

性质 / දේපල

典型数值 / සාමාන්‍ය අගය

晶体结构 / ස්ඵටික ව්යුහය

FCC β අදියර 多晶,主要为(111)取向

密度 / ඝනත්වය

3.21 g/cm³

硬度 / දෘඪතාව

2500 维氏硬度 (ග්රෑම් 500 බර)

晶粒大小 / ධාන්ය SiZe

2~10μm

纯度 / රසායනික සංශුද්ධතාවය

99.99995%

热容 / තාප ධාරිතාව

640 J·kg-1·කේ-1

升华温度 / Sublimation උෂ්ණත්වය

2700℃

抗弯强度 / Flexural ශක්තිය

415 MPa RT 4-ලක්ෂ්‍යය

杨氏模量 / Young's Modulus

430 Gpa 4pt වංගුව, 1300℃

导热系数 / තාප සන්නායකතාවය

300W·m-1·කේ-1

热膨胀系数 / තාප ප්‍රසාරණය(CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

 

VET Energy යනු SiC ආලේපනය, TaC ආලේපනය, වීදුරු කාබන් ආලේපනය, පයිෙරොලිටික් කාබන් ආලේපනය වැනි විවිධ ආලේපන සහිත අභිරුචිකරණය කරන ලද මිනිරන් සහ සිලිකන් කාබයිඩ් නිෂ්පාදනවල සැබෑ නිෂ්පාදකයා වන අතර, අර්ධ සන්නායක සහ ප්‍රකාශ වෝල්ටීයතා කර්මාන්තය සඳහා විවිධ අභිරුචි කළ කොටස් සැපයිය හැකිය.

අපගේ තාක්ෂණික කණ්ඩායම ඉහළ දේශීය පර්යේෂණ ආයතන වලින් පැමිණේ, ඔබට වඩාත් වෘත්තීය ද්‍රව්‍යමය විසඳුම් ලබා දිය හැකිය.

අපි වඩාත් දියුණු ද්‍රව්‍ය සැපයීම සඳහා උසස් ක්‍රියාවලි අඛණ්ඩව සංවර්ධනය කරන අතර, ආලේපනය සහ උපස්ථරය අතර බන්ධනය වඩාත් තද කළ හැකි සහ වෙන්වීමට ඇති ඉඩකඩ අඩු කළ හැකි සුවිශේෂී පේටන්ට් බලපත්‍ර තාක්ෂණයක් සකස් කර ඇත.

අපගේ කර්මාන්ත ශාලාව නැරඹීමට ඔබව සාදරයෙන් පිළිගනිමු, අපි තවදුරටත් සාකච්ඡා කරමු!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • කලින්:
  • ඊළඟ:

  • WhatsApp මාර්ගගත කතාබස්!