PECVD පැටවීමේ තැටි තැන්පතු මිනිරන් තැටි

PECVD පැටවීමේ තැටි තැන්පත් කිරීම මිනිරන් තැටි විශේෂාංගී රූපය

කෙටි විස්තරය:

VET Energy හි PECVD Loading Tray නිර්මාණය කර ඇත්තේ තැන්පත් කිරීමේදී වේෆර් සඳහා ආරක්ෂිත සහ පවා සහය ලබා දීම සඳහා, තැන්පත් කිරීමේ ක්‍රියාවලියේ අනුකූලතාව සහ ගුණාත්මකභාවය වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා ය. එහි විශිෂ්ට තාප ප්‍රතිරෝධය සමඟින්, ග්‍රැෆයිට් තැටි PECVD කුටි තුළ පාලිත පරිසරයක් පවත්වා ගැනීමට උපකාරී වේ, දූෂණය වීමේ අවදානම අඩු කරයි සහ ඉහළ ක්‍රියාවලි කාර්යක්ෂමතාව සහතික කරයි.

අපට විද්‍යුත් තැපෑල එවන්න PDF ලෙස බාගන්න

නිෂ්පාදන විස්තර

නිෂ්පාදන ටැග්

VET බලශක්ති PECVD පැටවීමේ තැටිය PECVD (ප්ලාස්මා වැඩිදියුණු කරන ලද රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම) ක්‍රියාවලිය සඳහා නිර්මාණය කර ඇති නිරවද්‍ය වාහකයකි. මෙම උසස් තත්ත්වයේ තැන්පත් මිනිරන් තැටි සෑදී ඇත්තේ ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත්, අධික ඝනත්වයකින් යුත් මිනිරන් ද්‍රව්‍යයකිනි. එය විශිෂ්ට ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්රතිරෝධයක්, විඛාදන ප්රතිරෝධය, මාන ස්ථාවරත්වය සහ අනෙකුත් ලක්ෂණ ඇත. එය PECVD ක්‍රියාවලිය සඳහා ස්ථාවර වාහක වේදිකාවක් සැපයිය හැකි අතර චිත්‍රපට තැන්පත් වීමේ ඒකාකාරී බව සහ සමතලා බව සහතික කරයි.

VET බලශක්ති PECVD පැටවීමේ තැටි අර්ධ සන්නායක, ප්‍රකාශ වෝල්ටීයතා, LED සහ අනෙකුත් ක්ෂේත්‍රවල බහුලව භාවිතා වේ. උදාහරණ වශයෙන්:

▪ අර්ධ සන්නායක: සිලිකන් වේෆර් සහ එපිටාක්සියල් වේෆර් වැනි අර්ධ සන්නායක ද්‍රව්‍ය සඳහා PECVD ක්‍රියාවලිය.

▪ ප්‍රකාශ වෝල්ටීයතා: සූර්ය කෝෂ තුනී පටල සඳහා PECVD ක්‍රියාවලිය.

▪ LED: LED චිප් සඳහා PECVD ක්රියාවලිය.

නිෂ්පාදන වාසි

▪චිත්රපටයේ ගුණාත්මකභාවය වැඩි දියුණු කිරීම:ඒකාකාරී චිත්‍රපට තැන්පත් වීම සහතික කිරීම සහ චිත්‍රපටයේ ගුණාත්මකභාවය වැඩි දියුණු කිරීම.

▪උපකරණ ආයු කාලය දීර්ඝ කරන්න:විශිෂ්ට විඛාදන ප්රතිරෝධය, PECVD උපකරණවල සේවා කාලය දීර්ඝ කිරීම.

▪නිෂ්පාදන පිරිවැය අඩු කරන්න:උසස් තත්ත්වයේ මිනිරන් තැටි මඟින් සීරීම් අනුපාතය අඩු කර නිෂ්පාදන පිරිවැය අඩු කළ හැකිය.

SGL වෙතින් ග්රැෆයිට් ද්රව්ය:

සාමාන්ය පරාමිතිය: R6510
දර්ශකය	පරීක්ෂණ සම්මතය	වටිනාකම	ඒකකය
සාමාන්ය ධාන්ය ප්රමාණය	ISO 13320	10	μm
තොග ඝනත්වය	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
විවෘත සිදුරු	DIN66133	10	%
මධ්යම සිදුරු ප්රමාණය	DIN66133	1.8	μm
පාරගම්යතාව	DIN 51935	0.06	cm²/s
රොක්වෙල් දෘඪතාව HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
නිශ්චිත විද්යුත් ප්රතිරෝධය	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Flexural ශක්තිය	DIN IEC 60413/501	60	MPa
සම්පීඩන ශක්තිය	DIN 51910	130	MPa
තරුණ මාපාංකය	DIN 51915	11.5×10³	MPa
තාප ප්‍රසාරණය (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
තාප සන්නායකතාවය (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

එය විශේෂයෙන්ම G12 විශාල ප්‍රමාණයේ වේෆර් සැකසුම් සඳහා සහය වන ඉහළ කාර්යක්ෂම සූර්ය කෝෂ නිෂ්පාදනය සඳහා නිර්මාණය කර ඇත. ප්‍රශස්ත වාහක සැලසුම ප්‍රතිදානය සැලකිය යුතු ලෙස වැඩි කරයි, ඉහළ අස්වැන්න අනුපාත සහ අඩු නිෂ්පාදන පිරිවැය සක්‍රීය කරයි.

අයිතමය	ටයිප් කරන්න	අංක වේෆර් වාහකය
PEVCD Grephite බෝට්ටුව - 156 මාලාව	156-13 ග්‍රෙෆයිට් බෝට්ටුව	144
	156-19 ග්‍රෙෆයිට් බෝට්ටුව	216
	156-21 ග්‍රෙෆයිට් බෝට්ටුව	240
	156-23 මිනිරන් බෝට්ටුව	308
PEVCD Grephite බෝට්ටුව - 125 මාලාව	125-15 ග්‍රෙෆයිට් බෝට්ටුව	196
	125-19 ග්‍රෙෆයිට් බෝට්ටුව	252
	125-21 ග්‍රැෆයිට් බෝට්ටුව	280