PECVD Graphite Wafer සහාය

PECVD Graphite Wafer Support Featured Image

කෙටි විස්තරය:

නිරවද්‍යතාවය සහ කාර්ය සාධනය සඳහා නිර්මාණය කර ඇති, VET Energy හි Graphite Wafer Support යනු ඉහළ තාප ස්ථායීතාවය සහ ස්ථාවර ක්‍රියාකාරීත්වය ඉතා වැදගත් වන උසස් වේෆර් සැකසුම් සඳහා සුදුසුම ද්‍රව්‍ය වේ. ඔබ අර්ධ සන්නායක වේෆර් හෝ වෙනත් සියුම් උපස්ථර සමඟ වැඩ කළත්, මෙම උසස් තත්ත්වයේ මිනිරන් ආධාරකයක් මඟින් ඔබේ ක්‍රියාවලි විශ්වසනීයත්වය සහ නිෂ්පාදනයේ ගුණාත්මකභාවය ඉහළ නංවන අතර එය නවීන නිෂ්පාදන සඳහා අත්‍යවශ්‍ය අංගයක් බවට පත් කරයි.

අපට විද්‍යුත් තැපෑල එවන්න PDF ලෙස බාගන්න

නිෂ්පාදන විස්තර

නිෂ්පාදන ටැග්

VET Energy PECVD ක්‍රියාවලි මිනිරන් වේෆර් ආධාරක යනු PECVD (ප්ලාස්මා වැඩිදියුණු කරන ලද රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම) ක්‍රියාවලිය සඳහා නිර්මාණය කර ඇති මූලික පරිභෝජන ද්‍රව්‍යයකි. මෙම නිෂ්පාදනය ඉහළ සංශුද්ධතාවයෙන් යුත්, අධි-ඝනත්ව ග්‍රැෆයිට් ද්‍රව්‍ය වලින් සාදා ඇති අතර, විශිෂ්ට ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්‍රතිරෝධයක්, විඛාදන ප්‍රතිරෝධයක්, මාන ස්ථායීතාවයක් සහ අනෙකුත් ලක්ෂණ සහිතව, චිත්‍රපට තැන්පත් වීමේ ඒකාකාරිත්වය සහ සමතලා බව සහතික කිරීම සඳහා PECVD ක්‍රියාවලිය සඳහා ස්ථාවර ආධාරක වේදිකාවක් සැපයිය හැකිය.

VET Energy මිනිරන් වේෆර් ආධාරකයේ "මිනිරන් ආධාරක" සැලසුම මඟින් වේෆරයට ඵලදායි ලෙස සහාය වීම පමණක් නොව, ක්‍රියාවලියේ ස්ථායීතාවය සහතික කිරීම සඳහා ඉහළ උෂ්ණත්වය සහ අධි පීඩන PECVD පරිසරය තුළ තාප ස්ථායීතාවය ද ලබා දිය හැකිය.

VET Energy PECVD ක්‍රියාවලි මිනිරන් වේෆර් ආධාරකයට පහත ලක්ෂණ ඇත:

▪ඉහළ සංශුද්ධතාවය:අතිශයින් අඩු අපිරිසිදු අන්තර්ගතය, චිත්රපටය දූෂණය වීම වැළැක්වීම, චිත්රපටයේ ගුණාත්මකභාවය සහතික කිරීම.

▪අධික ඝනත්වය:අධික ඝනත්වය, ඉහළ යාන්ත්රික ශක්තිය, අධික උෂ්ණත්වය සහ අධික පීඩනය PECVD පරිසරයට ඔරොත්තු දිය හැකිය.

▪හොඳ මාන ස්ථාවරත්වය:ක්රියාවලියෙහි ස්ථායීතාවය සහතික කිරීම සඳහා ඉහළ උෂ්ණත්වයකදී කුඩා මාන වෙනස්කම්.

▪විශිෂ්ට තාප සන්නායකතාව:වේෆර් අධික උනුසුම් වීම වැළැක්වීම සඳහා ඵලදායී ලෙස තාපය මාරු කරන්න.

▪ශක්තිමත් විඛාදන ප්රතිරෝධය:විවිධ විඛාදන වායූන් සහ ප්ලාස්මා මගින් ඛාදනය වීමට ඔරොත්තු දීමේ හැකියාව ඇත.

▪අභිරුචි කළ සේවාව:විවිධ ප්‍රමාණවලින් සහ හැඩයන්ගෙන් යුත් ග්‍රැෆයිට් ආධාරක වගු පාරිභෝගික අවශ්‍යතා අනුව අභිරුචිකරණය කළ හැකිය.

SGL වෙතින් ග්රැෆයිට් ද්රව්ය:

සාමාන්ය පරාමිතිය: R6510
දර්ශකය	පරීක්ෂණ සම්මතය	වටිනාකම	ඒකකය
සාමාන්ය ධාන්ය ප්රමාණය	ISO 13320	10	μm
තොග ඝනත්වය	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
විවෘත සිදුරු	DIN66133	10	%
මධ්යම සිදුරු ප්රමාණය	DIN66133	1.8	μm
පාරගම්යතාව	DIN 51935	0.06	cm²/s
රොක්වෙල් දෘඪතාව HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
නිශ්චිත විද්යුත් ප්රතිරෝධය	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Flexural ශක්තිය	DIN IEC 60413/501	60	MPa
සම්පීඩන ශක්තිය	DIN 51910	130	MPa
තරුණ මාපාංකය	DIN 51915	11.5×10³	MPa
තාප ප්‍රසාරණය (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
තාප සන්නායකතාවය (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

එය විශේෂයෙන්ම G12 විශාල ප්‍රමාණයේ වේෆර් සැකසුම් සඳහා සහය වන ඉහළ කාර්යක්ෂම සූර්ය කෝෂ නිෂ්පාදනය සඳහා නිර්මාණය කර ඇත. ප්‍රශස්ත වාහක සැලසුම ප්‍රතිදානය සැලකිය යුතු ලෙස වැඩි කරයි, ඉහළ අස්වැන්න අනුපාත සහ අඩු නිෂ්පාදන පිරිවැය සක්‍රීය කරයි.

අයිතමය	ටයිප් කරන්න	අංක වේෆර් වාහකය
PEVCD Grephite බෝට්ටුව - 156 මාලාව	156-13 ග්‍රෙෆයිට් බෝට්ටුව	144
	156-19 ග්‍රෙෆයිට් බෝට්ටුව	216
	156-21 ග්‍රෙෆයිට් බෝට්ටුව	240
	156-23 මිනිරන් බෝට්ටුව	308
PEVCD Grephite බෝට්ටුව - 125 මාලාව	125-15 ග්‍රෙෆයිට් බෝට්ටුව	196
	125-19 ග්‍රෙෆයිට් බෝට්ටුව	252
	125-21 ග්‍රැෆයිට් බෝට්ටුව	280