PECVD සඳහා ග්‍රැෆයිට් උපස්ථර වේෆර් රඳවනය

VET Energy Graphite Substrate Wafer Holder යනු PECVD (ප්ලාස්මා වැඩි දියුණු කරන ලද රසායනික වාෂ්ප තැන්පතු) ක්‍රියාවලිය සඳහා නිර්මාණය කර ඇති නිරවද්‍ය වාහකයකි. මෙම උසස් තත්ත්වයේ ග්‍රැෆයිට් උපස්ථර රඳවනය, විශිෂ්ට ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්‍රතිරෝධය, විඛාදන ප්‍රතිරෝධය, මාන ස්ථායීතාවය සහ අනෙකුත් ලක්ෂණ සහිත ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත්, ඉහළ ඝනත්වයකින් යුත් මිනිරන් ද්‍රව්‍ය වලින් සාදා ඇත. එය PECVD ක්‍රියාවලිය සඳහා ස්ථාවර ආධාරක වේදිකාවක් සැපයිය හැකි අතර චිත්‍රපට තැන්පත් වීමේ ඒකාකාරී බව සහ සමතලා බව සහතික කරයි.

VET Energy PECVD ක්‍රියාවලි මිනිරන් වේෆර් ආධාරක වගුවේ පහත ලක්ෂණ ඇත:

▪ඉහළ සංශුද්ධතාවය:අතිශයින්ම අඩු අපිරිසිදු අන්තර්ගතය, චිත්රපටය දූෂණය වීම වැළැක්වීම, චිත්රපටයේ ගුණාත්මකභාවය සහතික කිරීම.

▪අධික ඝනත්වය:අධික ඝනත්වය, ඉහළ යාන්ත්රික ශක්තිය, අධික උෂ්ණත්වය සහ අධික පීඩනය PECVD පරිසරයට ඔරොත්තු දිය හැකිය.

▪හොඳ මාන ස්ථාවරත්වය:ක්‍රියාවලි ස්ථායිතාව සහතික කරමින් ඉහළ උෂ්ණත්වයකදී කුඩා මාන වෙනසක්.

▪විශිෂ්ට තාප සන්නායකතාව:වේෆර් අධික උනුසුම් වීම වැළැක්වීම සඳහා ඵලදායී ලෙස තාපය මාරු කරන්න.

▪ශක්තිමත් විඛාදන ප්රතිරෝධය:විවිධ විඛාදන වායූන් සහ ප්ලාස්මා මගින් ඛාදනය වීමට ඔරොත්තු දිය හැකිය.

▪අභිරුචි කළ සේවාව:විවිධ ප්‍රමාණවලින් සහ හැඩයන්ගෙන් යුත් ග්‍රැෆයිට් ආධාරක වගු පාරිභෝගික අවශ්‍යතා අනුව අභිරුචිකරණය කළ හැකිය.

නිෂ්පාදන වාසි

▪චිත්රපටයේ ගුණාත්මකභාවය වැඩි දියුණු කිරීම:ඒකාකාරී චිත්‍රපට තැන්පත් වීම සහතික කිරීම සහ චිත්‍රපටයේ ගුණාත්මකභාවය වැඩි දියුණු කිරීම.

▪උපකරණ ආයු කාලය දීර්ඝ කරන්න:විශිෂ්ට විඛාදන ප්රතිරෝධය, PECVD උපකරණවල සේවා කාලය දීර්ඝ කිරීම.

▪නිෂ්පාදන පිරිවැය අඩු කරන්න:උසස් තත්ත්වයේ මිනිරන් තැටි මඟින් සීරීම් අනුපාතය අඩු කර නිෂ්පාදන පිරිවැය අඩු කළ හැකිය.