යම් ඇසුරුම් ක්රියාවලියකදී, විවිධ තාප ප්රසාරණ සංගුණක සහිත ඇසුරුම් ද්රව්ය භාවිතා වේ. ඇසුරුම් කිරීමේ ක්රියාවලියේදී, වේෆර් ඇසුරුම් උපස්ථරය මත තබා, පසුව ඇසුරුම් සම්පූර්ණ කිරීම සඳහා තාපනය සහ සිසිලන පියවර සිදු කරනු ලැබේ. කෙසේ වෙතත්, ඇසුරුම් ද්රව්යයේ තාප ප්රසාරණ සංගුණකය සහ වේෆරය අතර නොගැලපීම හේතුවෙන්, තාප ආතතිය වේෆරය විකෘති වීමට හේතු වේ. එඩිටර් එක්ක ඇවිත් බලන්න~
wafer warpage යනු කුමක්ද??
වේෆර්warpage යනු ඇසුරුම් කිරීමේ ක්රියාවලියේදී වේෆර් නැමීම හෝ ඇඹරීමයි.වේෆර්warpage ඇසුරුම් කිරීමේ ක්රියාවලියේදී පෙළගැස්වීමේ අපගමනය, වෙල්ඩින් ගැටළු සහ උපාංග ක්‍රියාකාරීත්වය පිරිහීමට හේතු විය හැක.
අඩු කළ ඇසුරුම් නිරවද්යතාව:වේෆර්warpage ඇසුරුම් කිරීමේ ක්රියාවලියේදී පෙළගැස්වීමේ අපගමනය ඇති විය හැක. ඇසුරුම් කිරීමේ ක්රියාවලියේදී වේෆර් විකෘති වූ විට, චිපය සහ ඇසුරුම් කරන ලද උපාංගය අතර පෙළගැස්ම බලපානු ඇත, එහි ප්‍රතිඵලයක් ලෙස සම්බන්ධක පින් හෝ පෑස්සුම් සන්ධි නිවැරදිව පෙළගැස්වීමට නොහැකි වේ. මෙය ඇසුරුම් නිරවද්‍යතාවය අඩු කරන අතර අස්ථායී හෝ විශ්වාස කළ නොහැකි උපාංග ක්‍රියාකාරිත්වයට හේතු විය හැක.
යාන්ත්රික ආතතිය වැඩි වීම:වේෆර්warpage අතිරේක යාන්ත්රික ආතතිය හඳුන්වා දෙයි. වේෆරයේම විරූපණය හේතුවෙන්, ඇසුරුම් ක්රියාවලියේදී යොදන යාන්ත්රික ආතතිය වැඩි විය හැක. මෙය වේෆරය තුළ ආතති සාන්ද්‍රණයට හේතු විය හැක, උපාංගයේ ද්රව්ය හා ව්‍යුහයට අහිතකර ලෙස බලපාන අතර අභ්‍යන්තර වේෆර් හානි හෝ උපාංග අසාර්ථක වීමට පවා හේතු විය හැක.
කාර්ය සාධනය පිරිහීම:වේෆර් යුධ පිටුව උපාංගයේ ක්‍රියාකාරීත්වය පිරිහීමට හේතු විය හැක. වේෆර් මත සංරචක සහ පරිපථ සැකැස්ම පැතලි මතුපිටක් මත පදනම්ව නිර්මාණය කර ඇත. වේෆර් විකෘති වුවහොත්, එය උපාංග අතර විදුලි සම්බන්ධතාවයට, සංඥා සම්ප්රේෂණයට සහ තාප කළමනාකරණයට බලපෑ හැකිය. මෙය උපාංගයේ විද්‍යුත් ක්‍රියාකාරිත්වය, වේගය, බලශක්ති පරිභෝජනය හෝ විශ්වසනීයත්වයේ ගැටළු ඇති කළ හැකිය.
වෙල්ඩින් ගැටළු:වේෆර් යුධ පිටුව වෙල්ඩින් ගැටළු ඇති කළ හැකිය. වෙල්ඩින් ක්රියාවලියේදී, වේෆරය නැමී හෝ ඇඹරී ඇත්නම්, වෑල්ඩින් ක්රියාවලියේදී බලය බෙදා හැරීම අසමාන විය හැකි අතර, එහි ප්‍රතිඵලයක් ලෙස පෑස්සුම් සන්ධිවල දුර්වල ගුණාත්මක භාවය හෝ පෑස්සුම් සන්ධි බිඳීම පවා සිදු වේ. මෙය පැකේජයේ විශ්වසනීයත්වය කෙරෙහි ඍණාත්මක බලපෑමක් ඇති කරනු ඇත.
වේෆර් යුධ පිටුවට හේතු
හේතු විය හැකි සාධක කිහිපයක් පහත දැක්වේවේෆර්යුධ පිටුව:
1.තාප ආතතිය:ඇසුරුම් කිරීමේ ක්රියාවලියේදී, උෂ්ණත්ව වෙනස්වීම් හේතුවෙන්, වේෆරයේ ඇති විවිධ ද්රව්යවල නොගැලපෙන තාප ප්රසාරණ සංගුණක ඇති අතර, ප්‍රතිඵලයක් ලෙස වේෆර් යුධ පිටුවක් ඇති වේ.
2.ද්රව්ය අසමානතාව:වේෆර් නිෂ්පාදන ක්රියාවලියේදී, ද්රව්යවල අසමාන ව්‍යාප්තිය ද වේෆර් යුධ පිටුවට හේතු විය හැක. උදාහරණයක් ලෙස, වේෆරයේ විවිධ ප්‍රදේශවල විවිධ ද්රව්ය ඝනත්වය හෝ ඝනකම නිසා වේෆරය විකෘති වීමට හේතු වේ.
3.ක්රියාවලි පරාමිතීන්:උෂ්ණත්වය, ආර්ද්‍රතාවය, වායු පීඩනය යනාදී ඇසුරුම් ක්‍රියාවලියේ සමහර ක්රියාවලි පරාමිතීන් අනිසි ලෙස පාලනය කිරීම ද වේෆර් යුධ පිටුවට හේතු විය හැක.
විසඳුම
වේෆර් යුධ පිටුව පාලනය කිරීමට සමහර පියවර:
ක්රියාවලි ප්‍රශස්තකරණය:ඇසුරුම් ක්රියාවලි පරාමිතීන් ප්‍රශස්ත කිරීම මගින් වේෆර් යුධ පිටුවේ අවදානම අඩු කරන්න. ඇසුරුම් කිරීමේ ක්රියාවලියේදී උෂ්ණත්වය සහ ආර්ද්‍රතාවය, උණුසුම සහ සිසිලන අනුපාත සහ වායු පීඩනය වැනි පාලන පරාමිතීන් මෙයට ඇතුළත් වේ. ක්රියාවලි පරාමිතීන් සාධාරණ ලෙස තෝරා ගැනීමෙන් තාප ආතතියේ බලපෑම අඩු කළ හැකි අතර වේෆර් යුධ පිටුවේ හැකියාව අඩු කළ හැකිය.
ඇසුරුම් ද්රව්ය තෝරාගැනීම:වේෆර් යුධ පිටුවේ අවදානම අවම කිරීම සඳහා සුදුසු ඇසුරුම් ද්රව්ය තෝරන්න. තාප ආතතිය නිසා ඇතිවන වේෆර් විරූපණය අඩු කිරීම සඳහා ඇසුරුම් ද්රව්යයේ තාප ප්රසාරණ සංගුණකය වේෆරයට අනුරූප විය යුතුය. ඒ අතරම, වේෆර් වෝර්පේජ් ගැටළුව ඵලදායී ලෙස සමනය කළ හැකි බව සහතික කිරීම සඳහා ඇසුරුම් ද්රව්යවල යාන්ත්රික ලක්ෂණ සහ ස්ථාවරත්වය ද සලකා බැලිය යුතුය.
වේෆර් නිර්මාණය සහ නිෂ්පාදන ප්‍රශස්තකරණය:වේෆරයේ සැලසුම් සහ නිෂ්පාදන ක්රියාවලියේදී, වේෆර් යුධ පිටුවේ අවදානම අවම කිරීම සඳහා සමහර ක්‍රියාමාර්ග ගත හැකිය. ද්රව්යයේ ඒකාකාර ව්‍යාප්තිය ප්‍රශස්ත කිරීම, වේෆරයේ ඝණකම සහ මතුපිට සමතලා බව පාලනය කිරීම යනාදිය මෙයට ඇතුළත් වේ. වේෆරයේ නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලිය නිශ්චිතව පාලනය කිරීමෙන්, වේෆරයේම විකෘති වීමේ අවදානම අඩු කළ හැකිය.
තාප කළමනාකරණ පියවර:ඇසුරුම් කිරීමේ ක්රියාවලියේදී, වේෆර් යුධ පිටියේ අවදානම අවම කිරීම සඳහා තාප කළමනාකරණ පියවර ගනු ලැබේ. හොඳ උෂ්ණත්ව ඒකාකාරිත්වයක් සහිත තාපන සහ සිසිලන උපකරණ භාවිතා කිරීම, උෂ්ණත්ව අනුක්‍රමය සහ උෂ්ණත්ව වෙනස්වීම් අනුපාත පාලනය කිරීම සහ සුදුසු සිසිලන ක්‍රම භාවිතා කිරීම මෙයට ඇතුළත් වේ. ඵලදායී තාප කළමනාකරණය මඟින් වේෆරය මත තාප ආතතියේ බලපෑම අඩු කළ හැකි අතර වේෆර් යුධ පිටියේ හැකියාව අඩු කරයි.
හඳුනාගැනීම් සහ ගැලපුම් පියවර:ඇසුරුම් කිරීමේ ක්රියාවලියේදී, වේෆර් යුධ පිටුව නිතිපතා හඳුනාගෙන සකස් කිරීම ඉතා වැදගත් වේ. දෘශ්‍ය මිනුම් පද්ධති හෝ යාන්ත්රික පරීක්ෂණ උපකරණ වැනි අධි-නිරවද්‍ය හඳුනාගැනීමේ උපකරණ භාවිතා කිරීමෙන් වේෆර් යුධ පිටු ගැටළු කලින් හඳුනා ගත හැකි අතර ඊට අනුරූප ගැලපුම් පියවර ගත හැකිය. ඇසුරුම්කරණ පරාමිතීන් නැවත සකස් කිරීම, ඇසුරුම් ද්රව්ය වෙනස් කිරීම හෝ වේෆර් නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලිය සකස් කිරීම මෙයට ඇතුළත් විය හැකිය.
වේෆර් යුධ පිටුවේ ගැටළුව විසඳීම සංකීර්ණ කාර්යයක් වන අතර බහු සාධක පිළිබඳව පුළුල් ලෙස සලකා බැලීම සහ නැවත නැවත ප්‍රශස්තිකරණය සහ ගැලපීම් අවශ්‍ය විය හැකි බව සැලකිල්ලට ගත යුතුය. සැබෑ යෙදුම්වල, ඇසුරුම් ක්රියාවලි, වේෆර් ද්රව්ය සහ උපකරණ වැනි සාධක මත පදනම්ව නිශ්චිත විසඳුම් වෙනස් විය හැක. එබැවින්, විශේෂිත තත්ත්වය මත පදනම්ව, වේෆර් යුධ පිටුවේ ගැටළුව විසඳීම සඳහා සුදුසු පියවර තෝරා ගත හැකිය.
පසු කාලය: දෙසැම්බර්-16-2024