ඉහත පෙන්වා ඇති පරිදි, සාමාන්ය වේ
පළමු භාගය:
තාපන මූලද්‍රව්‍යය (තාපන දඟර) : උදුන නළය වටා පිහිටා ඇත, සාමාන්‍යයෙන් ප්‍රතිරෝධක වයර් වලින් සාදා ඇත, උදුන නලයේ ඇතුළත රත් කිරීමට භාවිතා කරයි.
ක්වාර්ට්ස් ටියුබ්: උණුසුම් ඔක්සිකරණ උදුනක හරය, අධික උෂ්ණත්වයට ඔරොත්තු දිය හැකි සහ රසායනිකව නිෂ්ක්‍රීයව පැවතිය හැකි ඉහළ සංශුද්ධතාවයෙන් යුත් ක්වාර්ට්ස් වලින් සාදා ඇත.
ගෑස් සංග්‍රහය: උදුන නළයේ ඉහළ හෝ පැත්තේ පිහිටා ඇති අතර, එය උදුන නළයේ ඇතුළත ඔක්සිජන් හෝ වෙනත් වායූන් ප්‍රවාහනය කිරීමට භාවිතා කරයි.
SS Flange: ක්වාර්ට්ස් ටියුබ් සහ ගෑස් රේඛා සම්බන්ධ කරන සංරචක, සම්බන්ධතාවයේ තද බව සහ ස්ථාවරත්වය සහතික කරයි.
ගෑස් පෝෂක රේඛා: ගෑස් සම්ප්රේෂණය සඳහා ගෑස් සැපයුම් වරායට MFC සම්බන්ධ කරන පයිප්ප.
MFC (Mass Flow Controller) : අවශ්‍ය වායු ප්‍රමාණය නිශ්චිතව නියාමනය කිරීම සඳහා ක්වාර්ට්ස් නලයක් තුළ වායු ප්‍රවාහය පාලනය කරන උපකරණයකි.
වාතාශ්‍රය: උදුන නළය ඇතුළත සිට උපකරණයේ පිටතින් පිටවන වායුව පිට කිරීමට භාවිතා කරයි.
පහළ කොටස
රඳවනයේ සිලිකන් වේෆර්: ඔක්සිකරණයේදී ඒකාකාර තාපය සහතික කිරීම සඳහා සිලිකන් වේෆර් විශේෂ රඳවනයක තබා ඇත.
වේෆර් රඳවනය: සිලිකන් වේෆර් රඳවා තබා ගැනීමට සහ ක්‍රියාවලිය අතරතුර සිලිකන් වේෆරය ස්ථායීව පවතින බව සහතික කිරීමට භාවිතා කරයි.
පදික වේදිකාව: සාමාන්‍යයෙන් ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්‍රතිරෝධී ද්‍රව්‍යයකින් සාදන ලද සිලිකන් වේෆර් රඳවනයක් රඳවා ඇති ව්‍යුහයකි.
සෝපානය: සිලිකන් වේෆර් ස්වයංක්‍රීයව පැටවීම සහ බෑම සඳහා වේෆර් රඳවනයන් ක්වාර්ට්ස් නල තුළට සහ ඉන් පිටතට එසවීමට භාවිතා කරයි.
වේෆර් ට්‍රාන්ස්ෆර් රොබෝ: උදුන නල උපාංගයේ පැත්තේ පිහිටා ඇති අතර, එය පෙට්ටියෙන් සිලිකන් වේෆර් ස්වයංක්‍රීයව ඉවත් කර උදුන නළයේ තැබීමට හෝ සැකසීමෙන් පසු එය ඉවත් කිරීමට භාවිතා කරයි.
කැසට් ගබඩා කැරොසල්: කැසට් ගබඩා කැරොසල් සිලිකන් වේෆර් අඩංගු පෙට්ටියක් ගබඩා කිරීමට භාවිතා කරන අතර රොබෝ ප්‍රවේශය සඳහා කරකැවිය හැක.
වේෆර් කැසට්: වේෆර් කැසට් භාවිතා කරනුයේ සැකසීමට සිලිකන් වේෆර් ගබඩා කිරීම සහ මාරු කිරීම සඳහා ය.
පසු කාලය: අප්‍රේල්-22-2024