උදුන නල උපකරණවල අභ්යන්තර ව්යුහය විස්තරාත්මකව විස්තර කෙරේ

ඉහත පෙන්වා ඇති පරිදි, සාමාන්ය වේ

පළමු භාගය:

▪ තාපන මූලද්රව්යය (තාපන දඟර):

උදුන නළය වටා පිහිටා ඇත, සාමාන්යයෙන් ප්රතිරෝධක වයර් වලින් සාදා ඇති අතර, උදුන නලයේ අභ්යන්තරය උණුසුම් කිරීමට භාවිතා කරයි.

▪ Quartz Tube:

උණුසුම් ඔක්සිකරණ උදුනක හරය, අධික උෂ්ණත්වයට ඔරොත්තු දෙන සහ රසායනිකව නිෂ්ක්‍රීයව පැවතිය හැකි ඉහළ සංශුද්ධතාවයෙන් යුත් ක්වාර්ට්ස් වලින් සාදා ඇත.

▪ ගෑස් ආහාර:

උඳුනේ නළයේ ඉහළ හෝ පැත්තේ පිහිටා ඇති අතර, එය උදුන නල ඇතුළත ඔක්සිජන් හෝ වෙනත් වායු ප්රවාහනය කිරීමට භාවිතා කරයි.

▪ SS Flange:

ක්වාර්ට්ස් ටියුබ් සහ ගෑස් රේඛා සම්බන්ධ කරන සංරචක, සම්බන්ධතාවයේ තද බව සහ ස්ථාවරත්වය සහතික කරයි.

▪ ගෑස් පෝෂක මාර්ග:

ගෑස් සම්ප්රේෂණය සඳහා ගෑස් සැපයුම් වරායට MFC සම්බන්ධ කරන පයිප්ප.

▪ MFC (Mass Flow Controller) :

අවශ්‍ය වායු ප්‍රමාණය නිශ්චිතව නියාමනය කිරීම සඳහා ක්වාර්ට්ස් නලයක් තුළ වායු ප්‍රවාහය පාලනය කරන උපකරණයකි.

▪ වාතාශ්රය:

උදුන නළය ඇතුළත සිට උපකරණයේ පිටත සිට පිටවන වායුව පිට කිරීමට භාවිතා කරයි.

පහළ කොටස:

▪ රඳවනයේ සිලිකන් වේෆර්:

ඔක්සිකරණයේදී ඒකාකාර තාපය සහතික කිරීම සඳහා සිලිකන් වේෆර් විශේෂ රඳවනයක තබා ඇත.

▪ වේෆර් රඳවනය:

සිලිකන් වේෆර් රඳවා තබා ගැනීමට සහ ක්‍රියාවලිය අතරතුර සිලිකන් වේෆරය ස්ථායීව පවතින බව සහතික කිරීමට භාවිතා කරයි.

▪ පදික වේදිකාව:

සාමාන්‍යයෙන් ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්‍රතිරෝධී ද්‍රව්‍යයකින් සාදන ලද සිලිකන් වේෆර් රඳවනයක් රඳවා ඇති ව්‍යුහයකි.

▪ සෝපානය:

සිලිකන් වේෆර් ස්වයංක්‍රීයව පැටවීම සහ බෑම සඳහා වේෆර් රඳවනයන් ක්වාර්ට්ස් නල තුළට සහ ඉන් පිටතට එසවීමට භාවිතා කරයි.

▪ වේෆර් හුවමාරු රොබෝ:

උදුන නල උපාංගයේ පැත්තේ පිහිටා ඇති අතර, එය පෙට්ටියෙන් සිලිකන් වේෆර් ස්වයංක්‍රීයව ඉවත් කර උදුන නළයේ තැබීමට හෝ සැකසීමෙන් පසු එය ඉවත් කිරීමට භාවිතා කරයි.

▪ කැසට් ගබඩා කැරොසල්:

කැසට් ගබඩා කරකැවිල්ල සිලිකන් වේෆර් අඩංගු පෙට්ටියක් ගබඩා කිරීමට භාවිතා කරන අතර රොබෝ ප්‍රවේශය සඳහා කරකැවිය හැක.

▪ වේෆර් කැසට්:

සැකසිය යුතු සිලිකන් වේෆර් ගබඩා කිරීම සහ මාරු කිරීම සඳහා වේෆර් කැසට් භාවිතා වේ.