ක්වාර්ට්ස් බෝට්ටු ආධාරකයට සාපේක්ෂව සිලිකන් කාබයිඩ් බෝට්ටු ආධාරකයේ වාසි

හි ප්රධාන කාර්යයන්සිලිකන් කාබයිඩ් බෝට්ටුවආධාරක සහ ක්වාර්ට්ස් බෝට්ටු ආධාරක සමාන වේ.සිලිකන් කාබයිඩ් බෝට්ටුවසහාය විශිෂ්ට කාර්ය සාධනයක් ඇති නමුත් ඉහළ මිලක් ඇත. එය දැඩි සේවා කොන්දේසි සහිත (LPCVD උපකරණ සහ බෝරෝන් විසරණ උපකරණ වැනි) බැටරි සැකසුම් උපකරණවල ක්වාර්ට්ස් බෝට්ටු ආධාරක සමඟ විකල්ප සම්බන්ධතාවයක් සාදයි. සාමාන්‍ය සේවා කොන්දේසි සහිත බැටරි සැකසුම් උපකරණවලදී, මිල සම්බන්ධතා හේතුවෙන්, සිලිකන් කාබයිඩ් සහ ක්වාර්ට්ස් බෝට්ටු ආධාරක සහජීවන සහ තරඟකාරී කාණ්ඩ බවට පත්වේ.

① LPCVD සහ බෝරෝන් විසරණ උපකරණවල ආදේශන සම්බන්ධතාවය

LPCVD උපකරණ බැටරි සෛල උමං ඔක්සිකරණය සහ මාත්‍රණය කරන ලද පොලිසිලිකන් ස්ථර සකස් කිරීමේ ක්‍රියාවලිය සඳහා භාවිතා කරයි. වැඩ කිරීමේ මූලධර්මය:

අඩු පීඩන වායුගෝලය යටතේ, උචිත උෂ්ණත්වය සමඟ ඒකාබද්ධව, අතිශය තුනී උමං ඔක්සයිඩ් ස්ථරයක් සහ පොලිසිලිකන් පටලයක් සකස් කිරීම සඳහා රසායනික ප්‍රතික්‍රියාව සහ තැන්පත් පටල සෑදීම සාක්ෂාත් කරගනු ලැබේ. උමං ඔක්සිකරණය සහ මාත්‍රණය කරන ලද පොලිසිලිකන් ස්ථර සැකසීමේ ක්‍රියාවලියේදී, බෝට්ටු ආධාරකයේ ඉහළ ක්‍රියාකාරී උෂ්ණත්වයක් ඇති අතර සිලිකන් පටලයක් මතුපිට තැන්පත් වේ. ක්වාර්ට්ස්හි තාප ප්රසාරණ සංගුණකය සිලිකන් වලට වඩා බෙහෙවින් වෙනස් ය. ඉහත ක්‍රියාවලියේදී භාවිතා කරන විට, සිලිකන් වල විවිධ තාප ප්‍රසාරණ සංගුණකය හේතුවෙන් තාප ප්‍රසාරණය සහ හැකිලීම හේතුවෙන් ක්වාර්ට්ස් බෝට්ටු ආධාරක කැඩීම වැළැක්වීම සඳහා මතුපිට තැන්පත් කර ඇති සිලිකන් නිතිපතා අච්චාරු දැමීම සහ ඉවත් කිරීම අවශ්‍ය වේ. නිතර නිතර අච්චාරු දැමීම සහ අඩු උෂ්ණත්ව ශක්තිය හේතුවෙන්, ක්වාර්ට්ස් බෝට්ටු රඳවනය කෙටි ආයු කාලයක් ඇති අතර, උමං ඔක්සිකරණය සහ මාත්‍රණය කරන ලද පොලිසිලිකන් ස්ථර සැකසීමේ ක්‍රියාවලියේදී නිතර ප්‍රතිස්ථාපනය වන අතර එමඟින් බැටරි සෛලයේ නිෂ්පාදන පිරිවැය සැලකිය යුතු ලෙස වැඩි වේ. පුළුල් කිරීමේ සංගුණකයසිලිකන් කාබයිඩ්සිලිකන් වලට සමීප වේ. ඒකාබද්ධසිලිකන් කාබයිඩ් බෝට්ටුවඋමං ඔක්සිකරණය සහ මාත්‍රණය කරන ලද පොලිසිලිකන් ස්ථරය සැකසීමේ ක්‍රියාවලියේදී අච්චාරු දැමීම දරන්නාට අවශ්‍ය නොවේ. එය ඉහළ උෂ්ණත්ව ශක්තියක් සහ දිගු සේවා කාලයක් ඇත. එය ක්වාර්ට්ස් බෝට්ටු රඳවනය සඳහා හොඳ විකල්පයකි.

බෝරෝන් ප්‍රසාරණ උපකරණ ප්‍රධාන වශයෙන් භාවිතා කරනුයේ පීඑන් හන්දියක් සෑදීම සඳහා පී-වර්ග විමෝචකය සකස් කිරීම සඳහා බැටරි සෛලයේ එන්-වර්ගයේ සිලිකන් වේෆර් උපස්ථරය මත බෝරෝන් මූලද්‍රව්‍ය මාත්‍රණය කිරීමේ ක්‍රියාවලිය සඳහා ය. ක්‍රියාකාරී මූලධර්මය වන්නේ ඉහළ උෂ්ණත්ව වායුගෝලයක් තුළ රසායනික ප්‍රතික්‍රියාව සහ අණුක තැන්පත් චිත්‍රපට සෑදීම සාක්ෂාත් කර ගැනීමයි. චිත්‍රපටිය සෑදීමෙන් පසු, සිලිකන් වේෆර් මතුපිට මාත්‍රණ ක්‍රියාකාරිත්වය අවබෝධ කර ගැනීම සඳහා ඉහළ උෂ්ණත්ව උණුසුම මගින් එය විසුරුවා හැරිය හැක. බෝරෝන් විස්තාරණ උපකරණවල ඉහළ ක්රියාකාරී උෂ්ණත්වය හේතුවෙන්, ක්වාර්ට්ස් බෝට්ටු රඳවනය අඩු ඉහළ උෂ්ණත්ව ශක්තියක් සහ බෝරෝන් ප්රසාරණ උපකරණවල කෙටි සේවා කාලයක් ඇත. ඒකාබද්ධසිලිකන් කාබයිඩ් බෝට්ටුවදරන්නාට ඉහළ-උෂ්ණත්ව ශක්තියක් ඇති අතර බෝරෝන් ප්‍රසාරණ ක්‍රියාවලියේදී ක්වාර්ට්ස් බෝට්ටු රඳවනයට හොඳ විකල්පයක් වේ.

② වෙනත් ක්‍රියාවලි උපකරණවල ආදේශන සම්බන්ධතාව

SiC බෝට්ටු ආධාරක දැඩි නිෂ්පාදන ධාරිතාවක් සහ විශිෂ්ට කාර්ය සාධනයක් ඇත. ඒවායේ මිල සාමාන්‍යයෙන් ක්වාර්ට්ස් බෝට්ටු ආධාරකවලට වඩා වැඩි ය. සෛල සැකසුම් උපකරණවල සාමාන්‍ය සේවා තත්වයන් තුළ, SiC බෝට්ටු ආධාරක සහ ක්වාර්ට්ස් බෝට්ටු ආධාරක අතර සේවා ජීවිතයේ වෙනස කුඩා වේ. පහළ ගංවතුර පාරිභෝගිකයින් ප්‍රධාන වශයෙන් ඔවුන්ගේම ක්‍රියාවලි සහ අවශ්‍යතා මත පදනම්ව මිල සහ කාර්ය සාධනය අතර සංසන්දනය කර තෝරා ගනී. SiC බෝට්ටු ආධාරක සහ ක්වාර්ට්ස් බෝට්ටු ආධාරක සහජීවන හා තරඟකාරී වී ඇත. කෙසේ වෙතත්, දැනට SiC බෝට්ටු ආධාරකවල දළ ලාභ ආන්තිකය සාපේක්ෂව ඉහළ ය. SiC බෝට්ටු ආධාරක නිෂ්පාදන පිරිවැය පහත වැටීමත් සමඟ, SiC බෝට්ටු ආධාරකවල විකුණුම් මිල සක්‍රීයව පහත වැටේ නම්, එය ක්වාර්ට්ස් බෝට්ටු ආධාරක සඳහා වැඩි තරඟකාරිත්වයක් ඇති කරයි.

භාවිත අනුපාතය

සෛල තාක්ෂණ මාර්ගය ප්රධාන වශයෙන් PERC තාක්ෂණය සහ TOPCon තාක්ෂණය වේ. PERC තාක්ෂණයේ වෙළඳපල කොටස 88% වන අතර TOPCon තාක්ෂණයේ වෙළඳපල කොටස 8.3% කි. මේ දෙකේ ඒකාබද්ධ වෙළෙඳපොළ කොටස 96.30% කි.

පහත රූපයේ දැක්වෙන පරිදි:

PERC තාක්‍ෂණයේදී, ඉදිරිපස පොස්පරස් විසරණය සහ ඇනලීං ක්‍රියාවලීන් සඳහා බෝට්ටු ආධාරක අවශ්‍ය වේ. TOPCon තාක්‍ෂණයේදී, ඉදිරිපස බෝරෝන් විසරණය, LPCVD, පසුපස පොස්පරස් විසරණය සහ ඇනීල කිරීමේ ක්‍රියාවලීන් සඳහා බෝට්ටු ආධාරක අවශ්‍ය වේ. වර්තමානයේ, TOPCon තාක්ෂණයේ LPCVD ක්‍රියාවලියේදී සිලිකන් කාබයිඩ් බෝට්ටු ආධාරක ප්‍රධාන වශයෙන් භාවිතා වන අතර බෝරෝන් විසරණ ක්‍රියාවලියේදී ඒවායේ යෙදීම ප්‍රධාන වශයෙන් සත්‍යාපනය කර ඇත.

සෛල සැකසුම් ක්‍රියාවලියේදී බෝට්ටු ආධාරක යෙදීම රූපය

සටහන: PERC සහ TOPCon තාක්ෂණයන්හි ඉදිරිපස සහ පසුපස ආලේපනයෙන් පසුව, තවමත් තිර මුද්‍රණය, සින්ටර් කිරීම සහ පරීක්ෂා කිරීම සහ වර්ග කිරීම වැනි සබැඳි ඇත, ඒවා බෝට්ටු ආධාරක භාවිතය සම්බන්ධ නොවන අතර ඉහත රූපයේ ලැයිස්තුගත කර නොමැත.