VET انرجي PECVD لوڊ ڪرڻ واري ٽري PECVD (پلازما اينهانسڊ ڪيميڪل وانپ ڊيپوزيشن) جي عمل لاءِ ٺهيل هڪ درستي واري ڪيريئر آهي. هي اعلي معيار جي جمع graphite ٽري اعلي پاڪائي، اعلي-کثافت graphite مواد مان ٺهيل آهي. اهو بهترين اعلي گرمي پد جي مزاحمت، corrosion مزاحمت، dimensional استحڪام ۽ ٻين خاصيتن ڪئي. اهو PECVD عمل لاءِ هڪ مستحڪم ڪيريئر پليٽ فارم مهيا ڪري سگهي ٿو ۽ فلم جي جمع جي يونيفارم ۽ فليٽ کي يقيني بڻائي سگهي ٿو.
VET توانائي PECVD لوڊشيڊنگ ٽري وڏي پيماني تي semiconductor، photovoltaic، LED ۽ ٻين شعبن ۾ استعمال ٿيندا آهن. مثال طور:
▪ سيميڪنڊڪٽر: PECVD عمل سيمي ڪنڊڪٽر مواد لاءِ جيئن سلڪون ويفرز ۽ ايپيٽيڪسيل ويفرز.
▪ Photovoltaic: PECVD عمل سولر سيل پتلي فلمن لاءِ.
▪ LED: PECVD عمل LED چپس لاءِ.
پيداوار جا فائدا
▪فلم جي معيار کي بهتر ڪريو:يونيفارم فلم جي جمع کي يقيني بڻائي ۽ فلم جي معيار کي بهتر.
▪سامان جي زندگي کي وڌايو:بهترين corrosion مزاحمت، PECVD سامان جي خدمت زندگي کي وڌايو.
▪پيداوار جي قيمت گھٽائڻ:اعلي معيار جي گرافائٽ ٽري اسڪري جي شرح کي گھٽائي سگھي ٿي ۽ پيداوار جي قيمت گھٽائي سگھي ٿي.
SGL کان Graphite مواد:
| عام پيٽرولر: R6510 | |||
| انڊيڪس | ٽيسٽ معيار | قدر | يونٽ |
| اناج جي سراسري ماپ | ISO 13320 | 10 | μm |
| بلڪ کثافت | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| کليل porosity | ڊي اين 66133 | 10 | % |
| وچولي سوراخ جي ماپ | ڊي اين 66133 | 1.8 | μm |
| پارميگيٽي | دين 51935 | 0.06 | cm²/s |
| Rockwell سختي HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| مخصوص برقي مزاحمت | DIN IEC 60413/402 | 13 | م |
| لچڪدار طاقت | DIN IEC 60413/501 | 60 | ايم پي اي |
| Compressive طاقت | دين 51910 | 130 | ايم پي اي |
| نوجوانن جو ماڊل | دين 51915 | 11.5×10³ | ايم پي اي |
| حرارتي توسيع (20-200 ℃) | دين 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| حرارتي چالکائي (20 ℃) | دين 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
اهو خاص طور تي ٺهيل آهي اعلي ڪارڪردگي شمسي سيل جي پيداوار لاء، G12 وڏي سائيز جي ويفر پروسيسنگ جي حمايت ڪندي. بهتر ڪيل ڪيريئر ڊيزائن خاص طور تي ان پٽ کي وڌائي ٿو، اعلي پيداوار جي شرح ۽ گھٽ پيداوار جي قيمت کي چالو ڪري ٿو.
| شيءِ | قسم | نمبر ويفر ڪيريئر |
| PEVCD Grephite ٻيڙي - 156 سيريز | 156-13 گريفائيٽ ٻيڙي | 144 |
| 156-19 گريفائيٽ ٻيڙي | 216 | |
| 156-21 گريفائيٽ ٻيڙي | 240 | |
| 156-23 graphite ٻيڙي | 308 | |
| PEVCD Grephite ٻيڙي - 125 سيريز | 125-15 گريفائيٽ ٻيڙي | 196 |
| 125-19 گريفائيٽ ٻيڙي | 252 | |
| 125-21 گرفائيٽ ٻيڙي | 280 |
