VET Energy Graphite Substrate Wafer Holder PECVD (پلازما اينهانسڊ ڪيميڪل وانپ ڊيپوزيشن) جي عمل لاءِ ٺهيل هڪ درستي وارو ڪيريئر آهي. هي اعلي معيار جي گريفائٽ سبسٽرايٽ هولڊر اعلي-پاڪ، اعلي-کثافت graphite مواد مان ٺهيل آهي، بهترين تيز گرمي پد جي مزاحمت، corrosion مزاحمت، dimensional استحڪام ۽ ٻين خاصيتن سان. اهو PECVD عمل لاءِ هڪ مستحڪم سپورٽ پليٽ فارم مهيا ڪري سگهي ٿو ۽ فلم جي جمع جي يونيفارم ۽ فليٽ کي يقيني بڻائي سگهي ٿو.
VET انرجي PECVD پروسيس گرافائٽ ويفر سپورٽ ٽيبل هيٺ ڏنل خاصيتون آهن:
▪اعلي صفائي:تمام گھٽ ناپاڪ مواد، فلم جي آلودگي کان بچڻ، فلم جي معيار کي يقيني بڻائي.
▪اعلي کثافت:اعلي کثافت، اعلي مشيني طاقت، تيز گرمي پد ۽ اعلي دٻاء PECVD ماحول کي برداشت ڪري سگهي ٿو.
▪سٺي dimensional استحڪام:تيز گرمي پد تي ننڍي dimensional تبديلي، عمل جي استحڪام کي يقيني بڻائي.
▪بهترين حرارتي چالکائي:مؤثر طريقي سان گرميء کي منتقل ڪرڻ لاء ويفر کي وڌيڪ گرم ڪرڻ کان روڪڻ لاء.
▪مضبوط corrosion مزاحمت:مختلف corrosive گيس ۽ پلازما جي ذريعي erosion مزاحمت ڪري سگهو ٿا.
▪ڪسٽمائيز سروس:مختلف سائيز ۽ شڪلين جي graphite جي حمايت جدولن ڪسٽمر جي ضرورتن مطابق ترتيب ڏئي سگهجي ٿو.
پيداوار جا فائدا
▪فلم جي معيار کي بهتر ڪريو:يونيفارم فلم جي جمع کي يقيني بڻائي ۽ فلم جي معيار کي بهتر.
▪سامان جي زندگي کي وڌايو:بهترين corrosion مزاحمت، PECVD سامان جي خدمت زندگي کي وڌايو.
▪پيداوار جي قيمت گھٽائڻ:اعلي معيار جي گرافائٽ ٽري اسڪري جي شرح کي گھٽائي سگھي ٿي ۽ پيداوار جي قيمت گھٽائي سگھي ٿي.
SGL کان Graphite مواد:
| عام پيٽرولر: R6510 | |||
| انڊيڪس | ٽيسٽ معيار | قدر | يونٽ |
| اناج جي سراسري ماپ | ISO 13320 | 10 | μm |
| بلڪ کثافت | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| کليل porosity | ڊي اين 66133 | 10 | % |
| وچولي سوراخ جي ماپ | ڊي اين 66133 | 1.8 | μm |
| پارميگيٽي | دين 51935 | 0.06 | cm²/s |
| Rockwell سختي HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| مخصوص برقي مزاحمت | DIN IEC 60413/402 | 13 | م |
| لچڪدار طاقت | DIN IEC 60413/501 | 60 | ايم پي اي |
| Compressive طاقت | دين 51910 | 130 | ايم پي اي |
| نوجوانن جو ماڊل | دين 51915 | 11.5×10³ | ايم پي اي |
| حرارتي توسيع (20-200 ℃) | دين 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| حرارتي چالکائي (20 ℃) | دين 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
اهو خاص طور تي ٺهيل آهي اعلي ڪارڪردگي شمسي سيل جي پيداوار لاء، G12 وڏي سائيز جي ويفر پروسيسنگ جي حمايت ڪندي. بهتر ڪيل ڪيريئر ڊيزائن خاص طور تي ان پٽ کي وڌائي ٿو، اعلي پيداوار جي شرح ۽ گھٽ پيداوار جي قيمت کي چالو ڪري ٿو.
| شيءِ | قسم | نمبر ويفر ڪيريئر |
| PEVCD Grephite ٻيڙي - 156 سيريز | 156-13 گريفائيٽ ٻيڙي | 144 |
| 156-19 گريفائيٽ ٻيڙي | 216 | |
| 156-21 گريفائيٽ ٻيڙي | 240 | |
| 156-23 graphite ٻيڙي | 308 | |
| PEVCD Grephite ٻيڙي - 125 سيريز | 125-15 گريفائيٽ ٻيڙي | 196 |
| 125-19 گريفائيٽ ٻيڙي | 252 | |
| 125-21 گرفائيٽ ٻيڙي | 280 |
