VET انرجي PECVD پروسيس گريفائيٽ ويفر سپورٽ هڪ بنيادي استعمال جي قابل آهي PECVD (پلازما بهتر ڪيل ڪيميائي بخار جمع ڪرڻ) جي عمل لاءِ ٺهيل آهي. هي پراڊڪٽ اعلي پاڪائي، اعلي کثافت گرافائٽ مواد مان ٺاهيو ويو آهي، بهترين تيز گرمي جي مزاحمت، سنکنرن جي مزاحمت، طول و عرض استحڪام ۽ ٻين خاصيتن سان، PECVD عمل لاء هڪ مستحڪم سپورٽ پليٽ فارم مهيا ڪري سگهي ٿي، فلم جي جمع جي يونيفارم ۽ لوڻ کي يقيني بڻائڻ لاء.
VET Energy graphite wafer support جو "graphite support" ڊزائين نه رڳو مؤثر طريقي سان ويفر کي سپورٽ ڪري سگھي ٿو، پر پروسيس جي استحڪام کي يقيني بڻائڻ لاءِ اعليٰ درجه حرارت ۽ تيز پريشر PECVD ماحول ۾ حرارتي استحڪام پڻ مهيا ڪري ٿو.
VET انرجي PECVD پروسيس گريفائٽ ويفر سپورٽ هيٺ ڏنل خاصيتون آهن:
▪اعلي صفائي:تمام گھٽ ناپاڪ مواد، فلم جي آلودگي کان بچڻ، فلم جي معيار کي يقيني بڻائڻ لاء.
▪اعلي کثافت:اعلي کثافت، اعلي مشيني طاقت، تيز گرمي پد ۽ اعلي دٻاء PECVD ماحول کي برداشت ڪري سگهي ٿو.
▪سٺي dimensional استحڪام:عمل جي استحڪام کي يقيني بڻائڻ لاء اعلي درجه حرارت تي ننڍيون تبديليون.
▪بهترين حرارتي چالکائي:مؤثر طريقي سان گرميء کي منتقل ڪرڻ لاء ويفر کي وڌيڪ گرم ڪرڻ کان روڪڻ لاء.
▪مضبوط corrosion مزاحمت:مختلف corrosive گيس ۽ پلازما جي خاتمي جي مزاحمت ڪرڻ جي قابل.
▪ڪسٽمائيز سروس:مختلف سائزن ۽ شڪلين جي گرافائٽ سپورٽ جدولن کي ڪسٽمر جي ضرورتن مطابق ترتيب ڏئي سگھجي ٿو.
SGL کان Graphite مواد:
| عام پيٽرولر: R6510 | |||
| انڊيڪس | ٽيسٽ معيار | قدر | يونٽ |
| اناج جي سراسري ماپ | ISO 13320 | 10 | μm |
| بلڪ کثافت | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| کليل porosity | ڊي اين 66133 | 10 | % |
| وچولي سوراخ جي ماپ | ڊي اين 66133 | 1.8 | μm |
| پارميگيٽي | دين 51935 | 0.06 | cm²/s |
| Rockwell سختي HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| مخصوص برقي مزاحمت | DIN IEC 60413/402 | 13 | م |
| لچڪدار طاقت | DIN IEC 60413/501 | 60 | ايم پي اي |
| Compressive طاقت | دين 51910 | 130 | ايم پي اي |
| نوجوانن جو ماڊل | دين 51915 | 11.5×10³ | ايم پي اي |
| حرارتي توسيع (20-200 ℃) | دين 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| حرارتي چالکائي (20 ℃) | دين 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
اهو خاص طور تي ٺهيل آهي اعلي ڪارڪردگي شمسي سيل جي پيداوار لاء، G12 وڏي سائيز جي ويفر پروسيسنگ جي حمايت ڪندي. بهتر ڪيل ڪيريئر ڊيزائن خاص طور تي ان پٽ کي وڌائي ٿو، اعلي پيداوار جي شرح ۽ گھٽ پيداوار جي قيمت کي چالو ڪري ٿو.
| شيءِ | قسم | نمبر ويفر ڪيريئر |
| PEVCD Grephite ٻيڙي - 156 سيريز | 156-13 گريفائيٽ ٻيڙي | 144 |
| 156-19 گريفائيٽ ٻيڙي | 216 | |
| 156-21 گريفائيٽ ٻيڙي | 240 | |
| 156-23 graphite ٻيڙي | 308 | |
| PEVCD Grephite ٻيڙي - 125 سيريز | 125-15 گريفائيٽ ٻيڙي | 196 |
| 125-19 گريفائيٽ ٻيڙي | 252 | |
| 125-21 گرفائيٽ ٻيڙي | 280 |
