Загрузочный лоток PECVD Графитовый лоток для осаждения

Краткое описание:

Загрузочный лоток PECVD компании VET Energy предназначен для обеспечения надежной и равномерной поддержки пластин во время осаждения, улучшая последовательность и качество процесса осаждения. Благодаря своей превосходной термостойкости графитовый лоток помогает поддерживать контролируемую среду внутри PECVD-камер, снижая риск загрязнения и обеспечивая высокую эффективность процесса.

Отправьте нам электронное письмо Скачать в формате PDF

Детали продукта

Теги продукта

Загрузочный лоток VET Energy PECVD — это прецизионный носитель, разработанный для процесса PECVD (химическое осаждение из паровой фазы с усиленной плазмой). Этот высококачественный графитовый лоток для осаждения изготовлен из графита высокой чистоты и высокой плотности. Он обладает превосходной устойчивостью к высоким температурам, коррозионной стойкостью, стабильностью размеров и другими характеристиками. Он может обеспечить стабильную несущую платформу для процесса PECVD и обеспечить однородность и плоскостность осаждения пленки.

Загрузочные лотки VET Energy PECVD широко используются в полупроводниковой, фотоэлектрической, светодиодной и других областях. Например:

▪ Полупроводники: процесс PECVD для полупроводниковых материалов, таких как кремниевые пластины и эпитаксиальные пластины.

▪ Фотоэлектрическая промышленность: процесс PECVD для тонких пленок солнечных элементов.

▪ LED: процесс PECVD для светодиодных чипов.

Преимущества продукта

▪Улучшите качество фильма:Обеспечьте равномерное нанесение пленки и улучшите качество пленки.

▪Продлите срок службы оборудования:Отличная коррозионная стойкость, продлевает срок службы оборудования PECVD.

▪Сокращение производственных затрат:Высококачественные графитовые лотки позволяют снизить процент брака и снизить производственные затраты.

Графитовый материал от SGL:

Типичный параметр: R6510
Индекс	Стандарт испытаний	Ценить	Единица
Средний размер зерна	ИСО 13320	10	мкм
Объемная плотность	DIN МЭК 60413/204	1,83	г/см³
Открытая пористость	DIN66133	10	%
Средний размер пор	DIN66133	1,8	мкм
Проницаемость	DIN 51935	0,06	см²/с
Твердость по Роквеллу HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Удельное электрическое сопротивление	DIN МЭК 60413/402	13	мкОмм
Прочность на изгиб	DIN МЭК 60413/501	60	МПа
Прочность на сжатие	DIN 51910	130	МПа
Модуль Юнга	DIN 51915	11,5×10³	МПа
Тепловое расширение (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2х10^-6	K^-1
Теплопроводность (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Он специально разработан для высокоэффективного производства солнечных элементов и поддерживает обработку пластин большого размера G12. Оптимизированная конструкция держателя значительно увеличивает пропускную способность, обеспечивая более высокую производительность и снижение производственных затрат.

Элемент	Тип	Номер вафельного носителя
Лодка PEVCD Grephite - серия 156	Грефитовая лодка 156-13	144
	156-19 грефитовая лодка	216
	156-21 грефитовая лодка	240
	Графитовая лодка 156-23	308
Лодка PEVCD Grephite - серия 125	125-15 грефитовая лодка	196
	125-19 грефитовая лодка	252
	125-21 графитовая лодка	280