Держатель пластин с графитовой подложкой для PECVD

Держатель пластин с графитовой подложкой VET Energy представляет собой прецизионный носитель, разработанный для процесса PECVD (химическое осаждение из паровой фазы с усиленной плазмой). Этот высококачественный держатель графитовой подложки изготовлен из графитового материала высокой чистоты и высокой плотности, обладающий превосходной устойчивостью к высоким температурам, коррозионной стойкостью, стабильностью размеров и другими характеристиками. Он может обеспечить стабильную опорную платформу для процесса PECVD и обеспечить однородность и плоскостность осаждения пленки.

Стол для поддержки графитовых пластин процесса VET Energy PECVD имеет следующие характеристики:

▪Высокая чистота:чрезвычайно низкое содержание примесей, позволяет избежать загрязнения пленки, обеспечивает качество пленки.

▪Высокая плотность:Высокая плотность, высокая механическая прочность, выдерживает высокие температуры и высокое давление PECVD.

▪Хорошая стабильность размеров:небольшое изменение размеров при высокой температуре, обеспечивающее стабильность процесса.

▪Отличная теплопроводность:эффективно передавать тепло, предотвращая перегрев пластины.

▪Сильная коррозионная стойкость:может противостоять эрозии различными агрессивными газами и плазмой.

▪Индивидуальный сервис:графитовые опорные столы различных размеров и форм могут быть изготовлены по индивидуальному заказу в соответствии с потребностями клиента.

Преимущества продукта

▪Улучшите качество фильма:Обеспечьте равномерное нанесение пленки и улучшите качество пленки.

▪Продлите срок службы оборудования:Отличная коррозионная стойкость, продлевает срок службы оборудования PECVD.

▪Сокращение производственных затрат:Высококачественные графитовые лотки позволяют снизить процент брака и снизить производственные затраты.