Поддержка графитовых пластин PECVD

Подложка графитовой пластины VET Energy для процесса PECVD — это основной расходный материал, разработанный для процесса PECVD (химическое осаждение из паровой фазы с плазменным усилением). Этот продукт изготовлен из графитового материала высокой чистоты и высокой плотности, обладает превосходной устойчивостью к высоким температурам, коррозионной стойкостью, стабильностью размеров и другими характеристиками и может служить стабильной опорной платформой для процесса PECVD, обеспечивая однородность и плоскостность осаждения пленки.

Конструкция «графитовой опоры» графитовой опоры VET Energy может не только эффективно поддерживать пластину, но также обеспечивать термическую стабильность в среде PECVD с высокой температурой и высоким давлением, чтобы гарантировать стабильность процесса.

Поддержка графитовых пластин процесса VET Energy PECVD имеет следующие характеристики:

▪Высокая чистота:чрезвычайно низкое содержание примесей, позволяет избежать загрязнения пленки, чтобы обеспечить качество пленки.

▪Высокая плотность:Высокая плотность, высокая механическая прочность, выдерживает высокие температуры и высокое давление PECVD.

▪Хорошая стабильность размеров:небольшие изменения размеров при высокой температуре для обеспечения стабильности процесса.

▪Отличная теплопроводность:эффективно передавать тепло, предотвращая перегрев пластины.

▪Сильная коррозионная стойкость:Способен противостоять эрозии различными агрессивными газами и плазмой.

▪Индивидуальный сервис:Графитовые опорные столы различных размеров и форм могут быть изготовлены по индивидуальному заказу в соответствии с потребностями клиента.