Taca grafitowa do osadzania PECVD

PECVD Taca ładująca osadzanie Taca grafitowa Wyróżniony obraz

Krótki opis:

Taca załadowcza PECVD firmy VET Energy została zaprojektowana tak, aby zapewnić bezpieczne i równomierne podparcie płytek podczas osadzania, poprawiając spójność i jakość procesu osadzania. Dzięki doskonałej odporności na ciepło taca grafitowa pomaga utrzymać kontrolowane środowisko wewnątrz komór PECVD, zmniejszając ryzyko zanieczyszczenia i zapewniając wysoką wydajność procesu.

Wyślij e-mail do nas Pobierz w formacie PDF

Szczegóły produktu

Tagi produktów

Taca załadowcza VET Energy PECVD to precyzyjny nośnik przeznaczony do procesu PECVD (chemicznego osadzania z fazy gazowej wspomaganego plazmą). Ta wysokiej jakości taca grafitowa osadzana jest wykonana z materiału grafitowego o wysokiej czystości i dużej gęstości. Ma doskonałą odporność na wysoką temperaturę, odporność na korozję, stabilność wymiarową i inne cechy. Może zapewnić stabilną platformę nośną dla procesu PECVD i zapewnić równomierność i płaskość osadzania folii.

Tace załadowcze VET Energy PECVD są szeroko stosowane w półprzewodnikach, fotowoltaice, diodach LED i innych dziedzinach. Na przykład:

▪ Półprzewodniki: proces PECVD dla materiałów półprzewodnikowych, takich jak płytki krzemowe i płytki epitaksjalne.

▪ Fotowoltaika: proces PECVD dla cienkich warstw ogniw słonecznych.

▪ LED: proces PECVD dla chipów LED.

Zalety produktu

▪Popraw jakość filmu:Zapewnij równomierne osadzanie folii i popraw jakość folii.

▪Wydłuż żywotność sprzętu:Doskonała odporność na korozję, wydłuża żywotność sprzętu PECVD.

▪Obniż koszty produkcji:Wysokiej jakości tace grafitowe mogą zmniejszyć ilość złomu i obniżyć koszty produkcji.

Materiał grafitowy od SGL:

Typowy parametr: R6510
Indeks	Norma testowa	Wartość	Jednostka
Średnia wielkość ziarna	ISO13320	10	um
Gęstość nasypowa	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Otwarta porowatość	DIN66133	10	%
Średnia wielkość porów	DIN66133	1.8	um
Przepuszczalność	DIN51935	0,06	cm²/s
Twardość Rockwella HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Specyficzna oporność elektryczna	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Wytrzymałość na zginanie	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Wytrzymałość na ściskanie	DIN51910	130	MPa
Moduł Younga	DIN51915	11,5×10³	MPa
Rozszerzalność cieplna (20-200 ℃)	DIN51909	4,2X10^-6	K^-1
Przewodność cieplna (20 ℃)	DIN51908	105	Wm^-1K^-1

Został specjalnie zaprojektowany do wysokowydajnej produkcji ogniw słonecznych, wspierając przetwarzanie wielkogabarytowych płytek G12. Zoptymalizowana konstrukcja nośnika znacznie zwiększa przepustowość, umożliwiając wyższą wydajność i niższe koszty produkcji.

Przedmiot	Typ	Numeryczny nośnik opłatków
Łódź PEVCD Grephite - seria 156	Łódź grefitowa 156-13	144
	Łódź grefitowa 156-19	216
	Łódź grefitowa 156-21	240
	Łódka grafitowa 156-23	308
Łódź PEVCD Grephite - seria 125	Łódź grefitowa 125-15	196
	Łódź grefitowa 125-19	252
	Łódź grafitowa 125-21	280