Grafitowy uchwyt na płytki do podłoża PECVD

Grafitowy uchwyt na płytki podłoża dla wyróżnionego obrazu PECVD

Krótki opis:

Grafitowy uchwyt do podłoża VET Energy został zaprojektowany tak, aby utrzymać wyrównanie i stabilność płytek w całym procesie PECVD, zapobiegając zanieczyszczeniu i minimalizując ryzyko uszkodzenia. Grafitowy uchwyt na płytki zapewnia bezpieczną, równą platformę, zapewniając równomierną ekspozycję płytek na plazmę, co zapewnia spójne i wysokiej jakości osadzanie. Dzięki wysokiej przewodności cieplnej i wyjątkowej wytrzymałości uchwyt ten pomaga poprawić ogólną wydajność procesu i wydajność produktu.

Wyślij e-mail do nas Pobierz w formacie PDF

Szczegóły produktu

Tagi produktów

VET Energy Graphite Substrate Wafer Holder to precyzyjny nośnik przeznaczony do procesu PECVD (chemicznego osadzania z fazy gazowej wzmocnionego plazmą). Ten wysokiej jakości grafitowy uchwyt do podłoża wykonany jest z materiału grafitowego o wysokiej czystości i dużej gęstości, charakteryzującego się doskonałą odpornością na wysokie temperatury, odpornością na korozję, stabilnością wymiarową i innymi właściwościami. Może zapewnić stabilną platformę wspierającą proces PECVD i zapewnić równomierność i płaskość osadzania folii.

Stół podtrzymujący płytki grafitowe procesowe VET Energy PECVD ma następujące cechy:

▪Wysoka czystość:wyjątkowo niska zawartość zanieczyszczeń, unikać zanieczyszczenia folii, zapewnić jakość folii.

▪Wysoka gęstość:wysoka gęstość, wysoka wytrzymałość mechaniczna, może wytrzymać środowisko PECVD o wysokiej temperaturze i wysokim ciśnieniu.

▪Dobra stabilność wymiarowa:niewielka zmiana wymiarów w wysokiej temperaturze, zapewniająca stabilność procesu.

▪Doskonała przewodność cieplna:skutecznie przenoszą ciepło, aby zapobiec przegrzaniu płytki.

▪Silna odporność na korozję:może wytrzymać erozję pod wpływem różnych gazów korozyjnych i plazmy.

▪Dostosowana usługa:Grafitowe stoły podporowe o różnych rozmiarach i kształtach można dostosować do potrzeb klienta.

Zalety produktu

▪Popraw jakość filmu:Zapewnij równomierne osadzanie folii i popraw jakość folii.

▪Wydłuż żywotność sprzętu:Doskonała odporność na korozję, wydłuża żywotność sprzętu PECVD.

▪Obniż koszty produkcji:Wysokiej jakości tace grafitowe mogą zmniejszyć ilość złomu i obniżyć koszty produkcji.

Materiał grafitowy od SGL:

Typowy parametr: R6510
Indeks	Norma testowa	Wartość	Jednostka
Średnia wielkość ziarna	ISO13320	10	um
Gęstość nasypowa	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Otwarta porowatość	DIN66133	10	%
Średnia wielkość porów	DIN66133	1.8	um
Przepuszczalność	DIN51935	0,06	cm²/s
Twardość Rockwella HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Specyficzna oporność elektryczna	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Wytrzymałość na zginanie	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Wytrzymałość na ściskanie	DIN51910	130	MPa
Moduł Younga	DIN51915	11,5×10³	MPa
Rozszerzalność cieplna (20-200 ℃)	DIN51909	4,2X10^-6	K^-1
Przewodność cieplna (20 ℃)	DIN51908	105	Wm^-1K^-1

Został specjalnie zaprojektowany do wysokowydajnej produkcji ogniw słonecznych, wspierając przetwarzanie wielkogabarytowych płytek G12. Zoptymalizowana konstrukcja nośnika znacznie zwiększa przepustowość, umożliwiając wyższą wydajność i niższe koszty produkcji.

Przedmiot	Typ	Numeryczny nośnik opłatków
Łódź PEVCD Grephite - seria 156	Łódź grefitowa 156-13	144
	Łódź grefitowa 156-19	216
	Łódź grefitowa 156-21	240
	Łódka grafitowa 156-23	308
Łódź PEVCD Grephite - seria 125	Łódź grefitowa 125-15	196
	Łódź grefitowa 125-19	252
	Łódź grafitowa 125-21	280