Wspornik płytek grafitowych PECVD

Wyróżniony obraz wspornika płytek grafitowych PECVD

Krótki opis:

Zaprojektowane z myślą o precyzji i wydajności, grafitowe wsporniki płytek VET Energy to idealny materiał do stosowania w zaawansowanym przetwarzaniu płytek, gdzie krytyczna jest wysoka stabilność termiczna i stała wydajność. Niezależnie od tego, czy pracujesz z płytkami półprzewodnikowymi, czy innymi delikatnymi podłożami, ten wysokiej jakości wspornik grafitowy zwiększy niezawodność procesu i jakość produktu, czyniąc go niezbędnym elementem nowoczesnej produkcji.

Wyślij e-mail do nas Pobierz w formacie PDF

Szczegóły produktu

Tagi produktów

Podstawa wafla grafitowego do procesu PECVD firmy VET Energy jest głównym materiałem eksploatacyjnym przeznaczonym do procesu PECVD (chemicznego osadzania z fazy gazowej wspomaganego plazmą). Ten produkt jest wykonany z materiału grafitowego o wysokiej czystości i dużej gęstości, o doskonałej odporności na wysokie temperatury, odporności na korozję, stabilności wymiarowej i innych cechach, może zapewnić stabilną platformę nośną dla procesu PECVD, aby zapewnić równomierność i płaskość osadzania folii.

Konstrukcja „podpory grafitowej” wspornika płytki grafitowej VET Energy może nie tylko skutecznie podtrzymywać płytkę, ale także zapewniać stabilność termiczną w środowisku PECVD o wysokiej temperaturze i wysokim ciśnieniu, aby zapewnić stabilność procesu.

Podstawa wafla grafitowego procesowego VET Energy PECVD ma następujące cechy:

▪Wysoka czystość:wyjątkowo niska zawartość zanieczyszczeń, należy unikać zanieczyszczenia folii, aby zapewnić jakość folii.

▪Wysoka gęstość:wysoka gęstość, wysoka wytrzymałość mechaniczna, może wytrzymać środowisko PECVD o wysokiej temperaturze i wysokim ciśnieniu.

▪Dobra stabilność wymiarowa:niewielkie zmiany wymiarowe w wysokiej temperaturze, aby zapewnić stabilność procesu.

▪Doskonała przewodność cieplna:skutecznie przenoszą ciepło, aby zapobiec przegrzaniu płytki.

▪Silna odporność na korozję:Odporny na erozję powodowaną przez różne gazy korozyjne i plazmę.

▪Dostosowana usługa:Grafitowe stoły podporowe o różnych rozmiarach i kształtach można dostosować do potrzeb klienta.

Materiał grafitowy od SGL:

Typowy parametr: R6510
Indeks	Norma testowa	Wartość	Jednostka
Średnia wielkość ziarna	ISO13320	10	um
Gęstość nasypowa	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Otwarta porowatość	DIN66133	10	%
Średnia wielkość porów	DIN66133	1.8	um
Przepuszczalność	DIN51935	0,06	cm²/s
Twardość Rockwella HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Specyficzna oporność elektryczna	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Wytrzymałość na zginanie	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Wytrzymałość na ściskanie	DIN51910	130	MPa
Moduł Younga	DIN51915	11,5×10³	MPa
Rozszerzalność cieplna (20-200 ℃)	DIN51909	4,2X10^-6	K^-1
Przewodność cieplna (20 ℃)	DIN51908	105	Wm^-1K^-1

Został specjalnie zaprojektowany do wysokowydajnej produkcji ogniw słonecznych, wspierając przetwarzanie wielkogabarytowych płytek G12. Zoptymalizowana konstrukcja nośnika znacznie zwiększa przepustowość, umożliwiając wyższą wydajność i niższe koszty produkcji.

Przedmiot	Typ	Numeryczny nośnik opłatków
Łódź PEVCD Grephite - seria 156	Łódź grefitowa 156-13	144
	Łódź grefitowa 156-19	216
	Łódź grefitowa 156-21	240
	Łódka grafitowa 156-23	308
Łódź PEVCD Grephite - seria 125	Łódź grefitowa 125-15	196
	Łódź grefitowa 125-19	252
	Łódź grafitowa 125-21	280