Mapangidwe amkati a zida za chubu za ng'anjo akufotokozedwa mwatsatanetsatane

Monga taonera pamwambapa, ndi mmene

Gawo loyamba:

▪ Chigawo Chotenthetsera (chowotcha):

yomwe ili mozungulira ng'anjo ya ng'anjo, yomwe nthawi zambiri imapangidwa ndi mawaya okana, omwe amagwiritsidwa ntchito kutenthetsa mkati mwa chubu cha ng'anjo.

▪ Chubu cha Quartz:

Pakatikati pa ng'anjo yotentha ya oxidation, yopangidwa ndi quartz yoyera kwambiri yomwe imatha kupirira kutentha kwambiri ndikukhalabe opanda mankhwala.

▪ Kudyetsa Gasi:

Ili kumtunda kapena mbali ya chubu la ng'anjo, imagwiritsidwa ntchito kunyamula mpweya kapena mpweya wina mkati mwa chubu cha ng'anjo.

▪ SS Flange:

zigawo zomwe zimagwirizanitsa machubu a quartz ndi mizere ya mpweya, kuonetsetsa kuti zolimba ndi zokhazikika za kugwirizana.

▪ Mizere ya Gasi:

Mapaipi omwe amalumikiza MFC ku doko loperekera gasi kuti atumize gasi.

▪ MFC (Mass Flow Controller) :

Chipangizo chomwe chimayendetsa gasi mkati mwa chubu cha quartz kuti chiwongolere bwino kuchuluka kwa mpweya wofunikira.

▪ Mpweya:

Amagwiritsidwa ntchito potulutsa mpweya wotuluka mkati mwa chubu cha ng'anjo kupita kunja kwa zida.

Gawo lapansi:

▪ Silicon Wafers mu Holder:

Zophika za silicon zimayikidwa mu Holder yapadera kuti zitsimikizire kutentha kofanana panthawi ya okosijeni.

▪ Chogwirizira Wafer:

Amagwiritsidwa ntchito kunyamula chowotcha cha silicon ndikuwonetsetsa kuti chowotcha cha silicon chimakhala chokhazikika panthawiyi.

▪ Pansi:

Kapangidwe kamene kamakhala ndi silicon wafer Holder, yomwe nthawi zambiri imapangidwa ndi zinthu zosagwira kutentha kwambiri.

▪ Elevator:

Amagwiritsidwa ntchito kukweza ma Wafer holder kulowa ndi kutuluka m'machubu a quartz kuti azitsitsa ndi kutsitsa zowotcha za silicon.

▪ Maloboti Osamutsa Wafer:

yomwe ili pambali pa chipangizo cha chubu cha ng'anjo, imagwiritsidwa ntchito kuchotsa chofufumitsa cha silicon m'bokosi ndikuchiyika mu chubu cha ng'anjo, kapena kuchotsa pambuyo pokonza.

▪ Cassette Storage Carousel:

Cassette storage carousel imagwiritsidwa ntchito kusungirako bokosi lomwe lili ndi zowotcha za silicon ndipo zimatha kuzunguliridwa kuti zitheke kuloboti.