Silicon carbide (SiC) ndi chinthu chatsopano cha semiconductor. Silicon carbide ili ndi kusiyana kwakukulu kwa bandi (pafupifupi silicon nthawi 3), mphamvu yayikulu yofunikira kwambiri (pafupifupi silicon nthawi 10), kutenthetsa kwambiri kwamafuta (pafupifupi silicon nthawi 3). Ndikofunikira kwambiri m'badwo wotsatira wa semiconductor. Zovala za SiC zimagwiritsidwa ntchito kwambiri mumakampani a semiconductor ndi ma photovoltaics a dzuwa. Makamaka, ma susceptors omwe amagwiritsidwa ntchito pakukula kwa epitaxial kwa ma LED ndi Si single crystal epitaxy amafuna kugwiritsa ntchito zokutira za SiC. Chifukwa chakukwera kwamphamvu kwa ma LED pamakampani owunikira ndikuwonetsa, komanso kukula kwamphamvu kwamakampani opanga ma semiconductor,SiC coating mankhwalaziyembekezo ndi zabwino kwambiri.
APPLICATION FIELD
Purity, SEM Kapangidwe, makulidwe kusanthula kwaKupaka kwa SiC
Kuyera kwa zokutira za SiC pa graphite pogwiritsa ntchito CVD ndizokwera kwambiri mpaka 99.9995%. Mapangidwe ake ndi fcc. Mafilimu a SiC omwe amaikidwa pa graphite ndi (111) akuyang'ana monga momwe asonyezedwera mu deta ya XRD (Fig.1) yosonyeza khalidwe lake lapamwamba la crystalline. Makulidwe a filimu ya SiC ndi yofanana kwambiri monga momwe tawonetsera mkuyu.
Chithunzi 2: yunifolomu yokhuthala ya mafilimu a SiC SEM ndi XRD ya filimu ya beta-SiC pa graphite
Zambiri za SEM za filimu yopyapyala ya CVD SiC, kukula kwa kristalo ndi 2 ~ 1 Opm
Kapangidwe ka kristalo ka filimu ya CVD SiC ndi mawonekedwe a nkhope ya cubic, ndipo mawonekedwe akukula kwa filimu ali pafupi ndi 100%
Silicon carbide (SiC) yokutidwamaziko ndiye maziko abwino kwambiri a silicon imodzi ya crystal ndi GaN epitaxy, yomwe ndi gawo lalikulu la ng'anjo ya epitaxy. Pansi pake ndi chofunikira chopangira silicon ya monocrystalline pamabwalo akulu ophatikizika. Ili ndi kuyera kwakukulu, kukana kutentha kwambiri, kukana kwa dzimbiri, kulimba kwa mpweya wabwino ndi zina zabwino zakuthupi.
Kugwiritsidwa ntchito ndi mankhwala
Graphite m'munsi zokutira kwa crystal silicon epitaxial kukula Oyenera makina a Aixtron, etc. Kupaka makulidwe: 90 ~ 150um M'mimba mwake mwa chigwa chophwanyika ndi 55mm.
Nthawi yotumiza: Mar-14-2022