Wafer susceptor med TaC-belegg for G5 G10

Kort beskrivelse:

Semicera leder halvlederindustrien med en innovativ linje av tantalkarbid (TaC)-produkter for å møte de stadig skjerpende kravene til halvlederprosess.Enten vi møter epitaksiale prosesstemperaturer som overstiger 2000 grader Celsius eller sublimeringsproblemer med tradisjonelle materialer, gir vår CvD tantalkarbid (TaC) en pålitelig løsning.Våre produkter tåler ekstreme temperaturer opp til 2300 grader Celsius og gir utmerket levetid.Ved å kontakte Semicera kan du lære mer om våre avanserte løsninger, inkludert tilpassede alternativer for tantalkarbidbelagte dekkplater.Vi er forpliktet til å gi pålitelig beskyttelse og utmerket ytelse for din halvlederprosess for å hjelpe deg med å lykkes i det svært konkurranseutsatte markedet.


Produkt detalj

Produktetiketter

TaC-belegg er et slags tantalkarbid (TaC) belegg utarbeidet av fysisk dampavsetningsteknologi, det har følgende egenskaper:

1. Høy hardhet: TaC-beleggets hardhet er høy, kan vanligvis nå 2500-3000HV, er et utmerket hardt belegg.

2. Slitasjemotstand: TaC-belegg er svært slitesterk, noe som effektivt kan redusere slitasje og skade på mekaniske deler under bruk.

3. God motstand mot høye temperaturer: TaC-belegg kan også opprettholde sin utmerkede ytelse under høytemperaturmiljø.

4. God kjemisk stabilitet: TaC-belegg har god kjemisk stabilitet og kan motstå mange kjemiske reaksjoner, som syrer og baser.

TaC-belegg16
6 (1)

碳化钽涂层物理特性物理特性

Fysiske egenskaper til TaC belegg

密度/ Tetthet

14,3 (g/cm³)

比辐射率 / Spesifikk emissivitet

0,3

热膨胀系数 / Termisk ekspansjonskoeffisient

6,3 10-6/K

努氏硬度/ Hardhet (HK)

2000 HK

电阻 / Motstand

1×10-5 Ohm*cm

热稳定性 / Termisk stabilitet

<2500℃

石墨尺寸变化 / Grafittstørrelsen endres

-10~-20um

涂层厚度 / Beleggtykkelse

≥20um typisk verdi (35um±10um)

 

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd er en høyteknologisk bedrift som fokuserer på produksjon og salg av avanserte materialer, materialer og teknologi som dekker grafitt, silisiumkarbid, keramikk, overflatebehandling og så videre.Produktene er mye brukt i solceller, halvledere, ny energi, metallurgi, etc..

Vårt tekniske team kommer fra topp innenlandske forskningsinstitusjoner, kan tilby mer profesjonelle materialløsninger for deg.

Hjertelig velkommen til å besøke fabrikken vår, la oss diskutere videre!

研发团队

生产设备

公司客户

 


  • Tidligere:
  • Neste:

  • WhatsApp nettprat!