Produktfunksjoner
· Glimrende høy temperatur ytelse
PyC-belegg har egenskaper med tett struktur, utmerket varmebestandighet, god varmeledningsevne og slitestyrke. Siden begge er karbonelementer, har den sterk vedheft med grafitt og kan forsegle gjenværende flyktige stoffer inne i grafitten for å forhindre forurensning fra karbonpartikler.
· Kontrollerbar renhet
Renheten til PyC-belegget kan nå et nivå på 5 ppm, og oppfyller renhetskravene til splikasjoner med høy renhet.
· Utvidet service liv og forbedret produkt qkvalitet
PyC-belegg kan effektivt forlenge levetiden til grafittkomponenter og forbedre produktkvaliteten, og dermed effektivt redusere produksjonskostnadene til kundene.
·Bred spekter of applikasjoner
PyC-belegg brukes hovedsakelig i høytemperaturfelt som Si/SiC-halvlederkrystallvekst, ioneimplantasjon, metallsmelting for halvledere og instruentanalyse.
Produkt Spesifikasjoner
Typisk ytelse | Enhet | Spesifikasjon |
Krystallstruktur | Sekskantet | |
Justering | Orientert eller ikke-orientert langs 0001 retning | |
Bulkdensitet | g/cm³ | -2.24 |
Mikrostruktur | Polykrystallinsk/multilagsgrafen | |
Hardhet | GPa | 1.1 |
Elastisk modul | GPa | 10 |
Typisk tykkelse | μm | 30-100 |
Overflatens ruhet | μm | 1.5 |
Produktets renhet | ppm | ≤5 ppm |