vet-china presenteert de innovatieve Vertical Column Wafer Boat & Pedestal, een uitgebreide oplossing voor geavanceerde halfgeleiderverwerking. Dit systeem voor het hanteren van wafels is ontworpen met nauwgezette precisie en biedt ongeëvenaarde stabiliteit en uitlijning, cruciaal voor zeer efficiënte productieomgevingen.
De Vertical Column Wafer Boat & Pedestal is gebouwd met hoogwaardige materialen die thermische stabiliteit en weerstand tegen chemische corrosie garanderen, waardoor hij geschikt is voor de meest veeleisende halfgeleiderfabricageprocessen. Het unieke verticale kolomontwerp ondersteunt wafers veilig, waardoor het risico op verkeerde uitlijning en mogelijke schade tijdens transport en verwerking wordt verminderd.
Met de integratie van Vet-China's Vertical Column Wafer Boat & Pedestal kunnen halfgeleiderfabrikanten een verbeterde doorvoer, minimale downtime en een hogere productopbrengst verwachten. Dit systeem is compatibel met verschillende waferformaten en -configuraties en biedt flexibiliteit en schaalbaarheid voor verschillende productiebehoeften.
vet-china's streven naar uitmuntendheid zorgt ervoor dat elke Waferboot en voetstuk met verticale kolom voldoet aan de hoogste normen van kwaliteit en prestaties. Door voor deze geavanceerde oplossing te kiezen, investeert u in een toekomstbestendige benadering van waferhantering die de efficiëntie en betrouwbaarheid bij de productie van halfgeleiders maximaliseert.
Eigenschappen van herkristalliseerd siliciumcarbide
Herkristalliseerd siliciumcarbide (R-SiC) is een hoogwaardig materiaal met een hardheid die op de tweede plaats komt na diamant, dat wordt gevormd bij een hoge temperatuur boven 2000 ℃. Het behoudt veel uitstekende eigenschappen van SiC, zoals sterkte bij hoge temperaturen, sterke corrosieweerstand, uitstekende oxidatieweerstand, goede thermische schokbestendigheid, enzovoort.
● Uitstekende mechanische eigenschappen. Herkristalliseerd siliciumcarbide heeft een hogere sterkte en stijfheid dan koolstofvezel, hoge slagvastheid, kan goede prestaties leveren in extreme temperatuuromgevingen en kan in verschillende situaties een betere tegenwicht bieden. Bovendien heeft het ook een goede flexibiliteit en wordt het niet gemakkelijk beschadigd door strekken en buigen, wat de prestaties aanzienlijk verbetert.
● Hoge corrosieweerstand. Herkristalliseerd siliciumcarbide heeft een hoge corrosieweerstand tegen een verscheidenheid aan media, kan de erosie van een verscheidenheid aan corrosieve media voorkomen, kan zijn mechanische eigenschappen lange tijd behouden, heeft een sterke hechting, zodat het een langere levensduur heeft. Bovendien heeft het ook een goede thermische stabiliteit, kan het zich aanpassen aan een bepaald bereik van temperatuurveranderingen en het toepassingseffect verbeteren.
● Sinteren krimpt niet. Omdat het sinterproces niet krimpt, zal er geen restspanning ontstaan die vervorming of barsten van het product veroorzaakt en kunnen onderdelen met complexe vormen en hoge precisie worden vervaardigd.
| 重结晶碳化硅物理特性 Fysische eigenschappen van herkristalliseerd siliciumcarbide | |
| 性质 / Eigendom | 典型数值 / Typische waarde |
| Ik denk dat dit het geval is/ Werktemperatuur (°C) | 1600°C (met zuurstof), 1700°C (reducerende omgeving) |
| SiC含量/ SiC-inhoud | > 99,96% |
| 自由Si含量/ Gratis Si-inhoud | < 0,1% |
| Er zijn geen producten gevonden die aan je zoekcriteria voldoen/Bulkdichtheid | 2,60-2,70 g/cm33 |
| 气孔率/ Schijnbare porositeit | < 16% |
| 抗压强度/ Compressiesterkte | > 600MPa |
| 常温抗弯强度/Koude buigsterkte | 80-90 MPa (20°C) |
| Er zijn geen producten gevonden die aan je zoekcriteria voldoenHete buigsterkte | 90-100 MPa (1400°C) |
| 热膨胀系数/ Thermische uitzetting @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| 导热系数/Thermische geleidbaarheid @1200°C | 23W/m•K |
| 杨氏模量/ Elasticiteitsmodulus | 240 GPa |
| Ik denk dat dit het geval is/ Bestand tegen thermische schokken | Zeer goed |
VET Energie is deechte fabrikant van op maat gemaakte grafiet- en siliciumcarbideproducten met CVD-coating,kan leverenverscheideneop maat gemaakte onderdelen voor de halfgeleider- en fotovoltaïsche industrie. OOns technische team is afkomstig van de beste binnenlandse onderzoeksinstellingen en kan professionelere materiële oplossingen biedenvoor jou.
We ontwikkelen voortdurend geavanceerde processen om meer geavanceerde materialen te leveren,Enhebben een exclusieve gepatenteerde technologie uitgewerkt, die de hechting tussen de coating en de ondergrond strakker kan maken en minder snel loslaat.
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Fysische basiseigenschappen van CVD SiCcoating | |
| 性质 / Eigendom | 典型数值 / Typische waarde |
| Ik denk dat dit het geval is / Kristalstructuur | FCC β-fase多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Dikte | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Hardheid | 2500 维氏硬度(500g belasting) |
| 晶粒大小 / Korrelgrootte | 2~10μm |
| 纯度 / Chemische zuiverheid | 99,99995% |
| 热容 / Warmtecapaciteit | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimatietemperatuur | 2700℃ |
| Geen probleem / Buigsterkte | 415 MPa RT 4-punts |
| 杨氏模量 / Young's Modulus | 430 Gpa 4pt bocht, 1300℃ |
| 导热系数 / ThermalGeleidbaarheid | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Thermische uitzetting (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Heten u van harte welkom om onze fabriek te bezoeken, laten we verder discussiëren!
