Susceptor met SiC-coating

Korte beschrijving:

VET Energy SiC Coated Barrel Susceptor is een hoogwaardig product dat is ontworpen om consistente en betrouwbare prestaties te leveren gedurende een langere periode. Het heeft een supergoede hittebestendigheid en thermische uniformiteit, hoge zuiverheid en erosiebestendigheid, waardoor het de perfecte oplossing is voor waferverwerkingstoepassingen.

Plaats van herkomst:China

Kristalstructuur:FCCβ-fase

Dikte :3,21 g/cm3;

Hardheid:2500 vickers;

Korrelgrootte:2~10μm;

Chemische zuiverheid:99,99995%;

Warmtecapaciteit:640J·kg-1·K-1;

Sublimatietemperatuur:2700℃;

Flexurale sterkte:415 Mpa (RT 4-punts);

Young's-modulus:430 Gpa (4pt bocht, 1300℃);

Thermische uitzetting (CTE):4,5 10-6K-1;

Thermische geleidbaarheid:300（W/MK）;

Stuur een e-mail naar ons Downloaden als PDF

Productdetail

Productlabels

Vat susceptor is a sleutelonderdeel dat wordt gebruikt in verschillende halfgeleiderproductieprocessen.We gebruiken onze gepatenteerde technologie om devat susceptormetextreem hoge zuiverheid,Goedcoatinguniformiteiten een uitstekende levensduur, evenalshoge chemische weerstand en thermische stabiliteitseigenschappen.

VET Energie is deechte fabrikant van op maat gemaakte grafiet- en siliciumcarbideproducten met CVD-coating,kan leverenverscheideneop maat gemaakte onderdelen voor de halfgeleider- en fotovoltaïsche industrie. OOns technische team is afkomstig van de beste binnenlandse onderzoeksinstellingen en kan professionelere materiële oplossingen biedenvoor jou.

We ontwikkelen voortdurend geavanceerde processen om meer geavanceerde materialen te leveren,Enhebben een exclusieve gepatenteerde technologie uitgewerkt, die de hechting tussen de coating en de ondergrond strakker kan maken en minder snel loslaat.

Feigenschappen van onze producten:

1. Oxidatieweerstand bij hoge temperaturen tot 1700℃.
2. Hoge zuiverheid enthermische uniformiteit
3. Uitstekende corrosieweerstand: zuur, alkali, zout en organische reagentia.
4. Hoge hardheid, compact oppervlak, fijne deeltjes.
5. Langere levensduur en duurzamer

CVD SiC薄膜基本物理性能 Fysische basiseigenschappen van CVD SiCcoating
性质 / Eigendom	典型数值 / Typische waarde
Ik denk dat dit het geval is / Kristalstructuur	FCC β-fase多晶，主要为（111）取向
密度 / Dikte	3,21 g/cm³
硬度 / Hardheid	2500 维氏硬度(500g belasting)
晶粒大小 / Korrelgrootte	2~10μm
纯度 / Chemische zuiverheid	99,99995%
热容 / Warmtecapaciteit	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimatietemperatuur	2700℃
Geen probleem / Buigsterkte	415 MPa RT 4-punts
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa 4pt bocht, 1300℃
导热系数 / ThermalGeleidbaarheid	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Thermische uitzetting (CTE)	4,5×10^-6K^-1