Tweede helft onderdelen - SiC epitaxiale apparatuuronderdelen

Korte beschrijving:

Productintroductie en gebruik: aangesloten kwartsbuis, kan gas doorgeven om de rotatie van de ladebodem aan te drijven, temperatuurregeling

Apparaatlocatie van het product: in de reactiekamer, niet in direct contact met de wafer

Belangrijkste downstream-producten: elektrische apparaten

Belangrijkste terminalmarkt: nieuwe energievoertuigen


Productdetail

Productlabels

SZDFGZDFC
sADfSDfc
FDVSDCVXCV
sADfSDfc

SiC-gecoat grafiet Halfmoon-onderdeelis a sleutelcomponent gebruikt in halfgeleiderproductieprocessen, vooral voor SiC-epitaxiale apparatuur.We gebruiken onze gepatenteerde technologie om het halvemaangedeelte mee te makenextreem hoge zuiverheid,Goedcoatinguniformiteiten een uitstekende levensduur, evenalshoge chemische weerstand en thermische stabiliteitseigenschappen.

VET Energie is deechte fabrikant van op maat gemaakte grafiet- en siliciumcarbideproducten met CVD-coating,kan leverenverscheideneop maat gemaakte onderdelen voor de halfgeleider- en fotovoltaïsche industrie. OOns technische team is afkomstig van de beste binnenlandse onderzoeksinstellingen en kan professionelere materiële oplossingen biedenvoor jou.

We ontwikkelen voortdurend geavanceerde processen om meer geavanceerde materialen te leveren,Enhebben een exclusieve gepatenteerde technologie uitgewerkt, die de hechting tussen de coating en de ondergrond strakker kan maken en minder snel loslaat.

Feigenschappen van onze producten:

1. Oxidatieweerstand bij hoge temperaturen tot 1700.
2. Hoge zuiverheid enthermische uniformiteit
3. Uitstekende corrosieweerstand: zuur, alkali, zout en organische reagentia.
4. Hoge hardheid, compact oppervlak, fijne deeltjes.
5. Langere levensduur en duurzamer

CVD SiC薄膜基本物理性能

Fysische basiseigenschappen van CVD SiCcoating

性质 / Eigendom

典型数值 / Typische waarde

Ik denk dat dit het geval is / Kristalstructuur

FCC β-fase多晶,主要为(111)取向

密度 / Dikte

3,21 g/cm³

硬度 / Hardheid

2500 维氏硬度(500g belasting)

晶粒大小 / Korrelgrootte

2~10μm

纯度 / Chemische zuiverheid

99,99995%

热容 / Warmtecapaciteit

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimatietemperatuur

2700℃

Geen probleem / Buigsterkte

415 MPa RT 4-punts

杨氏模量 / Young's Modulus

430 Gpa 4pt bocht, 1300℃

导热系数 / ThermalGeleidbaarheid

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Thermische uitzetting (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Heten u van harte welkom om onze fabriek te bezoeken, laten we verder discussiëren!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Vorig:
  • Volgende:

  • WhatsApp Onlinechat!