Zoals hierboven weergegeven, is dit een typisch voorbeeld
De eerste helft:
Verwarmingselement (verwarmingsspiraal): gelegen rond de ovenbuis, meestal gemaakt van weerstandsdraden, gebruikt om de binnenkant van de ovenbuis te verwarmen.
Kwartsbuis: De kern van een hete oxidatieoven, gemaakt van zeer zuiver kwarts dat bestand is tegen hoge temperaturen en chemisch inert blijft.
Gastoevoer: Gelegen aan de boven- of zijkant van de ovenbuis en wordt gebruikt om zuurstof of andere gassen naar de binnenkant van de ovenbuis te transporteren.
SS Flens: componenten die kwartsbuizen en gasleidingen met elkaar verbinden, waardoor de dichtheid en stabiliteit van de verbinding wordt gewaarborgd.
Gastoevoerleidingen: Leidingen die de MFC verbinden met de gastoevoerpoort voor gastransmissie.
MFC (Mass Flow Controller): Een apparaat dat de gasstroom in een kwartsbuis regelt om de benodigde hoeveelheid gas nauwkeurig te regelen.
Ventilatie: Wordt gebruikt om het uitlaatgas van binnenuit de ovenbuis naar de buitenkant van de apparatuur te laten ontsnappen.
Onderste deel
Siliciumwafels in houder: Siliciumwafels zijn ondergebracht in een speciale houder om uniforme warmte tijdens oxidatie te garanderen.
Waferhouder: Wordt gebruikt om de siliciumwafel vast te houden en ervoor te zorgen dat de siliciumwafel tijdens het proces stabiel blijft.
Voetstuk: Een structuur waarin een siliciumwafelhouder zit, meestal gemaakt van materiaal dat bestand is tegen hoge temperaturen.
Lift: Wordt gebruikt om wafelhouders in en uit kwartsbuizen te tillen voor het automatisch laden en lossen van siliciumwafels.
Wafer Transfer Robot: bevindt zich aan de zijkant van het ovenbuisapparaat en wordt gebruikt om de siliciumwafel automatisch uit de doos te halen en in de ovenbuis te plaatsen, of na verwerking te verwijderen.
Cassette-opslagcarrousel: De cassette-opslagcarrousel wordt gebruikt om een doos met siliciumwafels op te slaan en kan worden gedraaid voor robottoegang.
Wafercassette: wafercassette wordt gebruikt voor het opslaan en overbrengen van de te verwerken siliciumwafels.
Posttijd: 22 april 2024