De interne structuur van de ovenbuisapparatuur wordt in detail uitgelegd

Zoals hierboven weergegeven, is dit een typisch voorbeeld

De eerste helft:

▪ Verwarmingselement (verwarmingsspiraal):

gelegen rond de ovenbuis, meestal gemaakt van weerstandsdraden, gebruikt om de binnenkant van de ovenbuis te verwarmen.

▪ Kwartsbuis:

De kern van een hete oxidatieoven, gemaakt van hoogzuiver kwarts dat bestand is tegen hoge temperaturen en chemisch inert blijft.

▪ Gastoevoer:

Gelegen aan de boven- of zijkant van de ovenbuis, wordt deze gebruikt om zuurstof of andere gassen naar de binnenkant van de ovenbuis te transporteren.

▪ RVS Flens:

componenten die kwartsbuizen en gasleidingen met elkaar verbinden, waardoor de dichtheid en stabiliteit van de verbinding wordt gewaarborgd.

▪ Gastoevoerleidingen:

Leidingen die de MFC verbinden met de gastoevoerpoort voor gastransport.

▪ MFC (massastroomregelaar):

Een apparaat dat de gasstroom in een kwartsbuis regelt om de benodigde hoeveelheid gas nauwkeurig te regelen.

▪ Ontluchting:

Wordt gebruikt om het uitlaatgas van binnenuit de ovenbuis naar de buitenkant van de apparatuur te laten ontsnappen.

Onderste deel:

▪ Siliciumwafels in houder:

Siliciumwafels zijn ondergebracht in een speciale houder om een uniforme warmte tijdens oxidatie te garanderen.

▪ Wafelhouder:

Wordt gebruikt om de siliciumwafel vast te houden en ervoor te zorgen dat de siliciumwafel tijdens het proces stabiel blijft.

▪ Sokkel:

Een structuur waarin een siliciumwafelhouder zit, meestal gemaakt van hittebestendig materiaal.

▪ Lift:

Wordt gebruikt om wafelhouders in en uit kwartsbuizen te tillen voor het automatisch laden en lossen van siliciumwafels.

▪ Wafeloverdrachtrobot:

Het bevindt zich aan de zijkant van het ovenbuisapparaat en wordt gebruikt om de siliciumwafel automatisch uit de doos te verwijderen en in de ovenbuis te plaatsen, of na verwerking te verwijderen.