SiC लेपित suscetpor विभिन्न अर्धचालक निर्माण प्रक्रियाहरूमा प्रयोग हुने मुख्य घटक हो। हामी हाम्रो प्याटेन्टेड टेक्नोलोजीको प्रयोग गरी SiC लेपित suscetpor को अत्यधिक उच्च शुद्धता, राम्रो कोटिंग एकरूपता र उत्कृष्ट सेवा जीवन, साथै उच्च रासायनिक प्रतिरोध र थर्मल स्थिरता गुणहरू सहित प्रयोग गर्दछौं।
हाम्रो उत्पादनहरु को विशेषताहरु:
1. 1700 ℃ सम्म उच्च तापमान ओक्सीकरण प्रतिरोध।
2. उच्च शुद्धता र थर्मल एकरूपता
3. उत्कृष्ट जंग प्रतिरोध: एसिड, क्षार, नुन र जैविक अभिकर्मक।
4. उच्च कठोरता, कम्प्याक्ट सतह, ठीक कणहरू।
5. लामो सेवा जीवन र अधिक टिकाऊ
CVD SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC को आधारभूत भौतिक गुणहरूकोटिंग | |
性质 / सम्पत्ति | 典型数值 / विशिष्ट मान |
晶体结构 / क्रिस्टल संरचना | FCC β चरण多晶, 主要为 (111) 取向 |
密度 / घनत्व | ३.२१ ग्राम/सेमी³ |
硬度 / कठोरता | 2500 维氏硬度(500g लोड) |
晶粒大小 / अनाज साइज | 2~10μm |
纯度 / रासायनिक शुद्धता | ९९.९९९९५% |
热容 / गर्मी क्षमता | 640 J·kg-1· के-1 |
升华温度 / उदात्तीकरण तापमान | 2700 ℃ |
抗弯强度 / लचिलो शक्ति | 415 MPa RT 4-बिन्दु |
杨氏模量 / युवाको मोडुलस | 430 Gpa 4pt बेंड, 1300℃ |
导热系数 / थर्माlचालकता | 300W·m-1· के-1 |
热膨胀系数 / थर्मल विस्तार (CTE) | ४.५ × १०-6K-1 |
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