SiC लेपित ग्रेफाइट क्यारियर / ससेप्टर

छोटो विवरण:

VET Energy SiC Coated Graphite Carrier/Susceptor एक उच्च प्रदर्शन उत्पादन हो जुन विस्तारित अवधिमा लगातार र भरपर्दो कार्यसम्पादन प्रदान गर्न डिजाइन गरिएको हो।यसमा सुपर राम्रो गर्मी प्रतिरोध र थर्मल एकरूपता, उच्च शुद्धता, क्षरण प्रतिरोध छ, यो वेफर प्रशोधन अनुप्रयोगहरूको लागि उत्तम समाधान बनाउँछ।

 


उत्पादन विवरण

उत्पादन ट्यागहरू

SiC लेपित suscetpor विभिन्न अर्धचालक निर्माण प्रक्रियाहरूमा प्रयोग हुने मुख्य घटक हो।हामी हाम्रो प्याटेन्टेड टेक्नोलोजीको प्रयोग गरी SiC लेपित ससेटपोरलाई अत्यधिक उच्च शुद्धता, राम्रो कोटिंग एकरूपता र उत्कृष्ट सेवा जीवन, साथै उच्च रासायनिक प्रतिरोध र थर्मल स्थिरता गुणहरू सहित प्रयोग गर्छौं।

हाम्रो उत्पादनहरु को विशेषताहरु:

1. 1700 ℃ सम्म उच्च तापमान ओक्सीकरण प्रतिरोध।
2. उच्च शुद्धता र थर्मल एकरूपता
3. उत्कृष्ट जंग प्रतिरोध: एसिड, क्षार, नुन र जैविक अभिकर्मक।
4. उच्च कठोरता, कम्प्याक्ट सतह, ठीक कणहरू।
5. लामो सेवा जीवन र अधिक टिकाऊ

वाहक 2 वाहक 4

वाहक 1 वाहक ३

 

CVD SiC薄膜基本物理性能

CVD SiC को आधारभूत भौतिक गुणहरूकोटिंग

性质 / सम्पत्ति

典型数值 / विशिष्ट मान

晶体结构 / क्रिस्टल संरचना

FCC β चरण多晶, 主要为 (111) 取向

密度 / घनत्व

३.२१ ग्राम/सेमी³

硬度 / कठोरता

2500 维氏硬度(500g लोड)

晶粒大小 / अनाज साइज

2~10μm

纯度 / रासायनिक शुद्धता

९९.९९९९५%

热容 / गर्मी क्षमता

640 J·kg-1· के-1

升华温度 / उदात्तीकरण तापमान

2700 ℃

抗弯强度 / लचिलो शक्ति

415 MPa RT 4-बिन्दु

杨氏模量 / युवाको मोडुलस

430 Gpa 4pt बेंड, 1300℃

导热系数 / थर्माlचालकता

300W·m-1· के-1

热膨胀系数 थर्मल विस्तार (CTE)

४.५×१०-6K-1

१

२

हाम्रो कारखाना भ्रमण गर्न तपाईलाई हार्दिक स्वागत छ, थप छलफल गरौं!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • अघिल्लो:
  • अर्को:

  • व्हाट्सएप अनलाइन च्याट!