फ्यान-आउट वेफर-स्तर प्याकेजिङको लागि यूवी प्रशोधन

फ्यान आउट वेफर लेभल प्याकेजिङ्ग (FOWLP) अर्धचालक उद्योगमा लागत-प्रभावी विधि हो। तर यस प्रक्रियाको विशिष्ट साइड इफेक्टहरू वार्पिङ र चिप अफसेट हुन्। वेफर स्तर र प्यानल स्तर फ्यान आउट टेक्नोलोजीको निरन्तर सुधारको बावजुद, मोल्डिंगसँग सम्बन्धित यी समस्याहरू अझै अवस्थित छन्।

वार्पिङ तरल कम्प्रेसन मोल्डिङ कम्पाउन्ड (LCM) को रासायनिक संकुचनको कारणले गर्दा क्युरिङ र मोल्डिङ पछि चिसो हुन्छ। वार्पिङको दोस्रो कारण सिलिकन चिप, मोल्डिङ सामग्री, र सब्सट्रेट बीचको थर्मल विस्तार (CTE) को गुणांकमा बेमेल छ। अफसेट यस तथ्यको कारण हो कि उच्च फिलर सामग्रीको साथ चिपचिपा मोल्डिंग सामग्रीहरू सामान्यतया उच्च तापमान र उच्च दबावमा मात्र प्रयोग गर्न सकिन्छ। चिप अस्थायी बन्धन मार्फत क्यारियरमा फिक्स गरिएको हुनाले, बढ्दो तापक्रमले टाँसेको नरम बनाउँछ, जसले गर्दा यसको टाँस्ने शक्ति कमजोर हुन्छ र चिप फिक्स गर्ने क्षमता कम हुन्छ। अफसेटको दोस्रो कारण यो हो कि मोल्डिंगको लागि आवश्यक दबाबले प्रत्येक चिपमा तनाव सिर्जना गर्दछ।

यी चुनौतिहरूको समाधान खोज्नको लागि, DELO ले एउटा साधारण एनालग चिपलाई क्यारियरमा जोडेर सम्भाव्यता अध्ययन गर्यो। सेटअपको सन्दर्भमा, क्यारियर वेफरलाई अस्थायी बन्डिङ टाँस्नेसँग लेपित गरिएको छ, र चिपलाई अनुहार तल राखिएको छ। पछि, वेफरलाई कम चिपचिपापन DELO टाँस्ने प्रयोग गरेर मोल्ड गरिएको थियो र क्यारियर वेफर हटाउनु अघि पराबैंगनी विकिरणले निको पारियो। त्यस्ता अनुप्रयोगहरूमा, उच्च चिपचिपा थर्मोसेटिंग मोल्डिंग कम्पोजिटहरू सामान्यतया प्रयोग गरिन्छ।

DELO ले प्रयोगमा थर्मोसेटिंग मोल्डिंग सामग्री र यूभी क्युर उत्पादनहरूको वारपेज पनि तुलना गर्‍यो, र नतिजाहरूले देखायो कि थर्मोसेटिंग पछि चिसो अवधिमा सामान्य मोल्डिंग सामग्रीहरू तान्छन्। तसर्थ, तताउने क्युरिङको सट्टा कोठाको तापक्रम पराबैंगनी क्युरिङ प्रयोग गर्दा मोल्डिङ कम्पाउन्ड र क्यारियरबीचको थर्मल विस्तार गुणांक बेमेलको प्रभावलाई निकै कम गर्न सकिन्छ, जसले गर्दा वार्पिङलाई अधिकतम हदसम्म कम गर्न सकिन्छ।

पराबैंगनी उपचार सामग्रीको प्रयोगले फिलरको प्रयोगलाई पनि कम गर्न सक्छ, जसले गर्दा चिपचिपापन र यंगको मोड्युलस कम हुन्छ। परीक्षणमा प्रयोग गरिएको मोडेल टाँस्ने पदार्थको चिपचिपाहट 35000 mPa · s छ, र युवाको मोड्युलस 1 GPa हो। मोल्डिङ सामाग्रीमा तताउने वा उच्च दबाबको अनुपस्थितिको कारणले गर्दा, चिप अफसेटलाई अधिकतम हदसम्म कम गर्न सकिन्छ। एक सामान्य मोल्डिङ कम्पाउन्डमा लगभग 800000 mPa · s को चिपचिपाहट हुन्छ र दुई अंकको दायरामा युवाको मोड्युलस हुन्छ।

समग्रमा, अनुसन्धानले देखाएको छ कि ठूला-क्षेत्र मोल्डिंगको लागि UV क्युर्ड सामग्रीहरू प्रयोग गर्दा चिप लिडर फ्यान आउट वेफर लेभल प्याकेजिङ्ग उत्पादन गर्न लाभदायक हुन्छ, जबकि वारपेज र चिप अफसेटलाई अधिकतम हदसम्म कम गर्दै। प्रयोग गरिएका सामग्रीहरू बीचको थर्मल विस्तार गुणांकहरूमा महत्त्वपूर्ण भिन्नताहरूको बावजुद, तापक्रम भिन्नताको अनुपस्थितिको कारणले यो प्रक्रियामा अझै धेरै अनुप्रयोगहरू छन्। यसको अतिरिक्त, UV क्युरिङले पनि उपचार समय र ऊर्जा खपत कम गर्न सक्छ।

थर्मल क्युरिङको सट्टा UV ले फ्यान-आउट वेफर-लेभल प्याकेजिङमा वारपेज र डाइ शिफ्ट घटाउँछ

12-इन्च कोटेड वेफर्सको तुलना थर्मली क्युर्ड, हाई-फिलर कम्पाउन्ड (A) र यूभी-क्युर्ड कम्पाउन्ड (B) प्रयोग गरेर।