LMJ प्रशोधन को लाभ
पानी र हावाको अप्टिकल विशेषताहरू प्रचार गर्न लेजर लेजर माइक्रो जेट (LMJ) प्रविधिको स्मार्ट प्रयोगद्वारा नियमित लेजर प्रशोधनका अन्तर्निहित दोषहरू हटाउन सकिन्छ। यो टेक्नोलोजीले लेजर पल्सलाई अप्टिकल फाइबरमा जस्तै मेसिनिङ सतहमा प्रशोधित उच्च शुद्धता पानी जेटमा पूर्ण रूपमा प्रतिबिम्बित गर्न अनुमति दिन्छ। प्रयोगको दृष्टिकोणबाट, LMJ प्रविधिको मुख्य विशेषताहरू निम्नानुसार छन्:
1. लेजर बीम एक स्तम्भ (समानान्तर) संरचना हो।
2. लेजर पल्स अप्टिकल फाइबर जस्तै वाटरजेटमा प्रसारित हुन्छ, जुन कुनै पनि वातावरणीय हस्तक्षेपबाट सुरक्षित हुन्छ।
3. लेजर बीम LMJ उपकरणहरूमा केन्द्रित छ, र सम्पूर्ण मेसिनिंग प्रक्रियाको क्रममा मेसिन गरिएको सतहको उचाइमा कुनै परिवर्तन हुँदैन, ताकि मेसिन प्रक्रियाको क्रममा प्रशोधन गहिराइको परिवर्तनसँग निरन्तर ध्यान केन्द्रित गर्न आवश्यक पर्दैन।
4. प्रत्येक लेजर पल्सको समयमा भएको कार्य टुक्रा सामग्रीको पृथकीकरणको अतिरिक्त, प्रत्येक पल्सको सुरुदेखि अर्को पल्ससम्म प्रत्येक एकाइ समयको लगभग 99% समय, प्रशोधन गरिएको सामग्री वास्तविक-समय कूलिंगमा हुन्छ। पानी, यसरी लगभग गर्मी-प्रभावित क्षेत्र मेटाउने र remelting तह, तर प्रशोधन को उच्च दक्षता कायम राख्दै।
5. प्रक्रिया गरिएको सतह सफा राख्नुहोस्।
| सामान्य विनिर्देश | LCSA-100 | LCSA-200 |
| काउन्टरटप भोल्युम | 125 x 200 x 100 | ४६०×४६०×३०० |
| रैखिक अक्ष XY | रैखिक मोटर। रैखिक मोटर | रैखिक मोटर। रैखिक मोटर |
| रैखिक अक्ष Z | १०० | ३०० |
| स्थिति सटीकता μm | +/- ५ | +/- ३ |
| दोहोर्याइएको स्थिति सटीकता μm | +/- २ | + / - १ |
| एक्सेलेरेशन जी | ०.५ | 1 |
| संख्यात्मक नियन्त्रण | ३-अक्ष | ३-अक्ष |
| Laser |
|
|
| लेजर प्रकार | DPSS Nd: YAG | DPSS Nd: YAG, पल्स |
| तरंगदैर्ध्य nm | ५३२/१०६४ | ५३२/१०६४ |
| रेटेड पावर डब्ल्यू | ५०/१००/२०० | 200/400 |
| पानी जेट |
|
|
| नोजल व्यास μm | २५-८० | २५-८० |
| नोजल दबाव पट्टी | 100-600 | ०-६०० |
| आकार / वजन |
|
|
| आयाम (मेसिन) (W x L x H) | १०५० x ८०० x १८७० | 1200 x 1200 x 2000 |
| आयाम (नियन्त्रण क्याबिनेट) (W x L x H) | 700 x 2300 x 1600 | 700 x 2300 x 1600 |
| वजन (उपकरण) किलो | ११७० | 2500-3000 |
| वजन (नियन्त्रण क्याबिनेट) किलो | ७००-७५० | ७००-७५० |
| व्यापक ऊर्जा खपत |
|
|
| Input | AC 230 V +6%/ -10%, दिशाहीन 50/60 Hz ±1% | AC 400 V +6%/-10%, 3-फेज 50/60 Hz ±1% |
| शिखर मूल्य | 2.5kVA | 2.5kVA |
| Join | १० मिटर पावर केबल: P+N+E, 1.5 mm2 | १० मिटर पावर केबल: P+N+E, 1.5 mm2 |
| सेमीकन्डक्टर उद्योग प्रयोगकर्ता आवेदन दायरा | ≤ 4 इन्च गोल इन्गट ≤ 4 इन्च इन्गट स्लाइसहरू ≤4 इन्च इन्गट स्क्राइबिङ
| ≤6 इन्च राउन्ड इन्गट ≤ 6 इन्च इन्गट स्लाइसहरू ≤6 इन्च इन्गट स्क्राइबिङ मेसिनले 8-इन्च गोलाकार/स्लाइसिङ/स्लाइसिङ सैद्धान्तिक मान पूरा गर्छ, र विशिष्ट व्यावहारिक नतिजाहरूलाई काट्ने रणनीतिलाई अनुकूलित गर्न आवश्यक छ। |
