SiC Kisi Graphite MOCVD Wafer Carriers Susceptors

Deskrizzjoni qasira:

VET Energy SiC Miksija MOCVD Susceptor għat-Tkabbir Epitassjali huwa prodott ta 'prestazzjoni għolja ddisinjat biex jipprovdi prestazzjoni konsistenti u affidabbli fuq perjodu estiż. Għandha reżistenza tas-sħana super tajba u uniformità termali, purità għolja, reżistenza għall-erożjoni, li tagħmilha s-soluzzjoni perfetta għall-applikazzjonijiet tal-ipproċessar tal-wejfer.

Ibgħat email lilna Niżżel bħala PDF

Dettall tal-Prodott

Tags tal-Prodott

SiC kisi grafita MOCVD Wafer carriers/susceptor

Is-susċetturi kollha tagħna huma magħmula minn grafita iżostatika ta 'qawwa għolja. Ibbenefika mill-purità għolja tal-grafiti tagħna - żviluppata speċjalment għal proċessi ta 'sfida bħall-epitassija, it-tkabbir tal-kristall, l-impjantazzjoni tal-joni u l-inċiżjoni fil-plażma, kif ukoll għall-produzzjoni ta' ċipep LED.

Karatteristiċi tal-prodotti tagħna:

1. Reżistenza għall-ossidazzjoni f'temperatura għolja sa 1700℃.
2. Purità għolja u uniformità termali
3. Reżistenza għall-korrużjoni eċċellenti: aċidu, alkali, melħ u reaġenti organiċi.
4. Ebusija għolja, wiċċ kompatt, partiċelli fini.
5. Ħajja ta 'servizz itwal u aktar fit-tul

CVD SiC薄膜基本物理性能 Proprjetajiet fiżiċi bażiċi ta 'CVD SiCkisi
性质 / Proprjetà	典型数值 / Valur Tipiku
晶体结构 / Struttura tal-kristall	Fażi FCC β多晶，主要为（111）取向
密度 / Densità	3.21 g/ċm³
硬度 / Ebusija	2500 维氏硬度（tagħbija ta' 500g）
晶粒大小 / Daqs tal-qamħ	2 ~ 10μm
纯度 / Purità Kimika	99.99995%
热容 / Kapaċità tas-Sħana	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura tas-sublimazzjoni	2700℃
抗弯强度 / Qawwa tal-flessjoni	415 MPa RT 4-punti
杨氏模量 / Modulus taż-żgħażagħ	430 Gpa 4pt liwja, 1300℃
导热系数 / ThermalKonduttività	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Espansjoni Termali (CTE)	4.5×10^-6K^-1

VET Energy huwa l-manifattur reali ta 'grafit personalizzat u prodotti tal-karbur tas-silikon b'kisjiet differenti bħal kisi SiC, kisi TaC, kisi tal-karbonju tal-ħġieġ, kisi tal-karbonju pirolitiku, eċċ., Jista' jforni diversi partijiet personalizzati għall-industrija tas-semikondutturi u fotovoltajka.

It-tim tekniku tagħna ġej mill-aqwa istituzzjonijiet ta 'riċerka domestiċi, jista' jipprovdi soluzzjonijiet materjali aktar professjonali għalik.

Aħna kontinwament niżviluppaw proċessi avvanzati biex nipprovdu materjali aktar avvanzati, u ħdimna teknoloġija esklussiva bi privattiva, li tista 'tagħmel it-twaħħil bejn il-kisi u s-sottostrat aktar strett u inqas suxxettibbli għal distakk.

Bi pjaċir iżżur il-fabbrika tagħna, ejja jkollna aktar diskussjoni!