PersonalizzatGraphite Heater għal Semikondutturi Silicon Wafer
Speċifikazzjoni Teknika | VET-M3 |
Densità tal-massa (g/cm3) | ≥1.85 |
Kontenut tal-Irmied (PPM) | ≤500 |
Ebusija tax-Xatt | ≥45 |
Reżistenza Speċifika (μ.Ω.m) | ≤12 |
Qawwa tal-Flessura (Mpa) | ≥40 |
Qawwa Kompressiva (Mpa) | ≥70 |
Max. Daqs tal-qamħ (μm) | ≤43 |
Koeffiċjent ta 'Espansjoni Termali Mm/°C | ≤4.4 * 10-6
|