vet-kina jiżgura li kull DurablePaddle għall-Immaniġġjar tal-Wejfer tal-Karbur tas-Silikongħandu prestazzjoni u durabilità eċċellenti. Dan il-paddle tal-immaniġġjar tal-wejfer tal-karbur tas-silikon juża proċessi ta 'manifattura avvanzati biex jiżgura li l-istabbiltà u l-funzjonalità strutturali tiegħu jibqgħu f'ambjenti ta' temperatura għolja u korrużjoni kimika. Dan id-disinn innovattiv jipprovdi appoġġ eċċellenti għall-immaniġġjar tal-wejfer tas-semikondutturi, speċjalment għal operazzjonijiet awtomatizzati ta 'preċiżjoni għolja.
SiC Cantilever Paddlehuwa komponent speċjalizzat użat f'tagħmir tal-manifattura tas-semikondutturi bħal forn ta 'ossidazzjoni, forn ta' diffużjoni, u forn ta 'ttemprar, l-użu ewlieni huwa għat-tagħbija u l-ħatt tal-wejfers, jappoġġja u jittrasporta wejfers matul proċessi ta' temperatura għolja.
Strutturi komunitaSiCcantileverpaddle: struttura cantilever, imwaħħla f'tarf wieħed u ħielsa fuq l-oħra, tipikament għandha disinn ċatt u qisu jaqdfu.
ĦidmaprinċipjutaSiCcantileverpaddle:
Il-paddle tal-cantilever jista 'jiċċaqlaq 'il fuq u' l isfel jew 'il quddiem u lura fi ħdan il-kamra tal-forn, jista' jintuża biex iċċaqlaq wejfers minn żoni ta 'tagħbija għal żoni ta' pproċessar, jew barra minn żoni ta 'proċessar, jappoġġjaw u jistabbilizzaw wejfers waqt l-ipproċessar f'temperatura għolja.
Proprjetajiet fiżiċi ta 'Carbur tas-Silikon Rikristallizzat | |
Proprjetà | Valur Tipiku |
Temperatura tax-xogħol (°C) | 1600°C (bl-ossiġnu), 1700°C (ambjent li jnaqqas) |
Kontenut SiC | > 99.96% |
Ħieles Si kontenut | < 0.1% |
Densità tal-massa | 2.60-2.70 g/ċm3 |
Porożità apparenti | < 16% |
Saħħa tal-kompressjoni | > 600 MPa |
Saħħa tal-liwi kiesaħ | 80-90 MPa (20°C) |
Saħħa tal-liwi sħun | 90-100 MPa (1400°C) |
Espansjoni termali @1500°C | 4.70 10-6/°C |
Konduttività termali @1200°C | 23 W/m•K |
Modulu elastiku | 240 GPa |
Reżistenza għal xokk termali | Tajjeb ħafna |