Avvanzata SiC Cantilever Paddle għall-ipproċessar tal-wejfer

Deskrizzjoni qasira:

Il-Paddle Cantilever SiC Avvanzat għall-Ipproċessar tal-Wejfer imniedi minn vet-china juża materjali SiC ta 'teknoloġija għolja biex itejjeb l-effiċjenza u l-preċiżjoni tal-ipproċessar tal-wejfer. Il-qadfa tal-cantilever ta 'Vet-china għandha reżistenza eċċellenti għas-sħana u reżistenza għall-korrużjoni, li tiżgura prestazzjoni stabbli tal-immaniġġjar tal-wejfer f'ambjenti ħarxa ta' manifattura, u tagħmilha għażla ideali għat-titjib tar-rendiment tal-produzzjoni.


Dettall tal-Prodott

Tags tal-Prodott

Il AvvanzatSiC Cantilever Paddlegħall-Ipproċessar tal-Wejfer maħluqa minn vet-kina tipprovdi soluzzjoni eċċellenti għall-manifattura tas-semikondutturi. Din il-paddle cantilever hija magħmula minn materjal SiC (karbur tas-silikonju), u l-ebusija għolja u r-reżistenza tas-sħana tagħha jippermettulha żżomm prestazzjoni eċċellenti f'ambjenti ta 'temperatura għolja u korrużivi. Id-disinn tal-Paddle Cantilever jippermetti li l-wejfer jiġi appoġġjat b'mod affidabbli waqt l-ipproċessar, u jnaqqas ir-riskju ta 'frammentazzjoni u ħsara.

SiC Cantilever Paddlehuwa komponent speċjalizzat użat f'tagħmir tal-manifattura tas-semikondutturi bħal forn ta 'ossidazzjoni, forn ta' diffużjoni, u forn ta 'ttemprar, l-użu ewlieni huwa għat-tagħbija u l-ħatt tal-wejfers, jappoġġja u jittrasporta wejfers matul proċessi ta' temperatura għolja.

Strutturi komunitaSiCcantileverpaddle: struttura cantilever, imwaħħla f'tarf wieħed u ħielsa fuq l-oħra, tipikament għandha disinn ċatt u qisu jaqdfu.

L-enerġija VET tuża materjali tal-karbur tas-silikon rikristallizzat ta 'purità għolja biex tiggarantixxi l-kwalità.

Proprjetajiet fiżiċi ta 'Carbur tas-Silikon Rikristallizzat

Proprjetà

Valur Tipiku

Temperatura tax-xogħol (°C)

1600°C (bl-ossiġnu), 1700°C (ambjent li jnaqqas)

Kontenut SiC

> 99.96%

Ħieles Si kontenut

< 0.1%

Densità tal-massa

2.60-2.70 g/ċm3

Porożità apparenti

< 16%

Saħħa tal-kompressjoni

> 600MPa

Saħħa tal-liwi kiesaħ

80-90 MPa (20°C)

Saħħa tal-liwi sħun

90-100 MPa (1400°C)

Espansjoni termali @1500°C

4.70 10-6/°C

Konduttività termali @1200°C

23W/m•K

Modulu elastiku

240 GPa

Reżistenza għal xokk termali

Tajjeb ħafna

Il-vantaġġi tal-Paddle Cantilever SiC Avvanzat tal-VET Energy għall-Ipproċessar tal-Wajfer huma:

-Stabbiltà ta 'temperatura għolja: tista' tintuża f'ambjenti 'l fuq minn 1600 °C;

-Koeffiċjent baxx ta 'espansjoni termali: iżżomm l-istabbiltà dimensjonali, tnaqqas ir-riskju ta' warpage tal-wejfer;

-Purità għolja: riskju aktar baxx ta 'kontaminazzjoni tal-metall;

-Inertness kimika: reżistenti għall-korrużjoni, adattata għal diversi ambjenti tal-gass;

-Qawwa għolja u ebusija: Reżistenti għall-ilbies, ħajja twila ta 'servizz;

-Konduttività termali tajba: jgħin fit-tisħin uniformi tal-wejfer.

Cantilever Paddle10
Cantilever Paddle16
研发团队2
生产设备1
公司客户1

  • Preċedenti:
  • Li jmiss:

  • Chat Online WhatsApp!