Il AvvanzatSiC Cantilever Paddlegħall-Ipproċessar tal-Wejfer maħluqa minn vet-kina tipprovdi soluzzjoni eċċellenti għall-manifattura tas-semikondutturi. Din il-paddle cantilever hija magħmula minn materjal SiC (karbur tas-silikonju), u l-ebusija għolja u r-reżistenza tas-sħana tagħha jippermettulha żżomm prestazzjoni eċċellenti f'ambjenti ta 'temperatura għolja u korrużivi. Id-disinn tal-Paddle Cantilever jippermetti li l-wejfer jiġi appoġġjat b'mod affidabbli waqt l-ipproċessar, u jnaqqas ir-riskju ta 'frammentazzjoni u ħsara.
SiC Cantilever Paddlehuwa komponent speċjalizzat użat f'tagħmir tal-manifattura tas-semikondutturi bħal forn ta 'ossidazzjoni, forn ta' diffużjoni, u forn ta 'ttemprar, l-użu ewlieni huwa għat-tagħbija u l-ħatt tal-wejfers, jappoġġja u jittrasporta wejfers matul proċessi ta' temperatura għolja.
Strutturi komunitaSiCcantileverpaddle: struttura cantilever, imwaħħla f'tarf wieħed u ħielsa fuq l-oħra, tipikament għandha disinn ċatt u qisu jaqdfu.
L-enerġija VET tuża materjali tal-karbur tas-silikon rikristallizzat ta 'purità għolja biex tiggarantixxi l-kwalità.
Proprjetajiet fiżiċi ta 'Carbur tas-Silikon Rikristallizzat | |
Proprjetà | Valur Tipiku |
Temperatura tax-xogħol (°C) | 1600°C (bl-ossiġnu), 1700°C (ambjent li jnaqqas) |
Kontenut SiC | > 99.96% |
Ħieles Si kontenut | < 0.1% |
Densità tal-massa | 2.60-2.70 g/ċm3 |
Porożità apparenti | < 16% |
Saħħa tal-kompressjoni | > 600MPa |
Saħħa tal-liwi kiesaħ | 80-90 MPa (20°C) |
Saħħa tal-liwi sħun | 90-100 MPa (1400°C) |
Espansjoni termali @1500°C | 4.70 10-6/°C |
Konduttività termali @1200°C | 23W/m•K |
Modulu elastiku | 240 GPa |
Reżistenza għal xokk termali | Tajjeb ħafna |
Il-vantaġġi tal-Paddle Cantilever SiC Avvanzat tal-VET Energy għall-Ipproċessar tal-Wajfer huma:
-Stabbiltà ta 'temperatura għolja: tista' tintuża f'ambjenti 'l fuq minn 1600 °C;
-Koeffiċjent baxx ta 'espansjoni termali: iżżomm l-istabbiltà dimensjonali, tnaqqas ir-riskju ta' warpage tal-wejfer;
-Purità għolja: riskju aktar baxx ta 'kontaminazzjoni tal-metall;
-Inertness kimika: reżistenti għall-korrużjoni, adattata għal diversi ambjenti tal-gass;
-Qawwa għolja u ebusija: Reżistenti għall-ilbies, ħajja twila ta 'servizz;
-Konduttività termali tajba: jgħin fit-tisħin uniformi tal-wejfer.