heater tal-kisi taċ-ċeramika tal-karbur tas-silikon

Vet-ĊinaĊeramika tal-Karbur tas-SilikonIl-kisi huwa kisi protettiv ta 'prestazzjoni għolja magħmul minn estremament iebes u reżistenti għall-ilbieskarbur tas-silikon (SiC)materjal, li jipprovdi reżistenza għall-korrużjoni kimika eċċellenti u stabbiltà f'temperatura għolja. Dawn il-karatteristiċi huma kruċjali fil-produzzjoni tas-semikondutturi, għalhekkKisi taċ-ċeramika tal-karbur tas-silikontintuża ħafna fil-komponenti ewlenin tat-tagħmir tal-manifattura tas-semikondutturi.

Ir-rwol speċifiku tal-Vet-ĊinaĊeramika tal-Karbur tas-SilikonIl-kisi fil-produzzjoni tas-semikondutturi huwa kif ġej:

Ittejjeb id-durabilità tat-tagħmir:Kisi taċ-ċeramika tal-karbur tas-silikon Il-kisi taċ-ċeramika tal-karbur tas-silikon jipprovdi protezzjoni tal-wiċċ eċċellenti għat-tagħmir tal-manifattura tas-semikondutturi bl-ebusija estremament għolja u r-reżistenza għall-ilbies. Speċjalment f'ambjenti ta 'proċess ta' temperatura għolja u korrużivi ħafna, bħal depożizzjoni ta 'fwar kimiku (CVD) u inċiżjoni tal-plażma, il-kisi jista' effettivament jipprevjeni li l-wiċċ tat-tagħmir jiġi mħassar minn erożjoni kimika jew xedd fiżiku, u b'hekk testendi b'mod sinifikanti l-ħajja tas-servizz ta ' it-tagħmir u tnaqqas il-ħin ta 'waqfien ikkawżat minn sostituzzjoni u tiswija frekwenti.

Ittejjeb il-purità tal-proċess:Fil-proċess tal-manifattura tas-semikondutturi, kontaminazzjoni żgħira tista 'tikkawża difetti fil-prodott. L-inertezza kimika tal-Kisi taċ-Ċeramika tal-Karbur tas-Silikon tippermettilha li tibqa 'stabbli taħt kundizzjonijiet estremi, u tevita li l-materjal jirrilaxxa partiċelli jew impuritajiet, u b'hekk tiżgura l-purità ambjentali tal-proċess. Dan huwa partikolarment importanti għall-passi tal-manifattura li jeħtieġu preċiżjoni għolja u indafa għolja, bħal PECVD u impjantazzjoni tal-joni.

Ottimizza l-ġestjoni termali:Fl-ipproċessar ta 'semikondutturi b'temperatura għolja, bħall-ipproċessar termali rapidu (RTP) u l-proċessi ta' ossidazzjoni, il-konduttività termali għolja tal-Kisi taċ-ċeramika tal-Karbur tas-Silikon jippermetti distribuzzjoni uniformi tat-temperatura ġewwa t-tagħmir. Dan jgħin biex inaqqas l-istress termali u d-deformazzjoni tal-materjal ikkawżat minn varjazzjonijiet fit-temperatura, u b'hekk itejjeb l-eżattezza u l-konsistenza tal-manifattura tal-prodott.

Appoġġ ambjenti ta 'proċess kumplessi:Fi proċessi li jeħtieġu kontroll kumpless tal-atmosfera, bħall-inċiżjoni tal-ICP u l-proċessi tal-inċiżjoni tal-PSS, l-istabbiltà u r-reżistenza għall-ossidazzjoni tal-Kisi taċ-ċeramika tal-Karbur tas-Silikon jiżguraw li t-tagħmir iżomm prestazzjoni stabbli f’operazzjoni fit-tul, u jnaqqas ir-riskju ta’ degradazzjoni materjali jew ħsara fit-tagħmir dovuta. għal bidliet ambjentali.