Kif tnaddaf id-dgħajsa tal-grafita PECVD？| Enerġija VET

1. Rikonoxximent qabel it-tindif

1) Meta l-Dgħajsa tal-grafita PECVD/carrier jintuża aktar minn 100 sa 150 darba, l-operatur jeħtieġ li jiċċekkja l-kundizzjoni tal-kisi fil-ħin. Jekk ikun hemm kisi anormali, jeħtieġ li jitnaddaf u jiġi kkonfermat. Il-kulur normali tal-kisi tal-wejfer tas-silikon fid-dgħajsa/trasportatur tal-grafita huwa blu. Jekk il-wejfer ikollu kuluri mhux blu, multipli, jew id-differenza tal-kulur bejn il-wejfers hija kbira, hija kisi anormali, u l-kawża tal-anormalità teħtieġ li tiġi kkonfermata fil-ħin.
2) Wara li l-persunal tal-proċess janalizza l-kundizzjoni tal-kisi tal-Dgħajsa tal-grafita PECVD/carrier, se jiddeterminaw jekk id-dgħajsa tal-grafita teħtieġx li titnaddaf u jekk il-punt tal-karta għandux bżonn jiġi sostitwit, u d-dgħajsa/trasportatur tal-grafita li jeħtieġ li titnaddaf se tingħata lill-persunal tat-tagħmir għat-tindif.

 

3) Wara l-dgħajsa tal-grafita/carrier huwa bil-ħsara, il-persunal tal-produzzjoni se jieħu l-wejfers kollha tas-silikon fid-dgħajsa tal-grafita u juża CDA (arja kkompressata) biex issolvi l-frammenti fil-dgħajsa tal-grafita. Wara t-tlestija, il-persunal tat-tagħmir se jgħollih fit-tank tal-aċidu li jkun ġie ppreparat b'ċertu proporzjon ta 'soluzzjoni HF għat-tindif.

 

2. Tindif ta' dgħajsa tal-grafita

Huwa rakkomandat li tuża soluzzjoni ta 'aċidu idrofluworiku ta' 15-25% għal tliet rawnds ta 'tindif, kull waħda għal 4-5 sigħat, u perjodikament tbaqbieq tan-nitroġenu matul il-proċess ta' tixrib u tindif, u żżid madwar nofs siegħa ta 'tindif; nota: mhux rakkomandat li tuża l-arja direttament bħala s-sors tal-gass għat-tbaqbieq. Wara l-pickling, laħlaħ b'ilma pur għal madwar 10 sigħat, u kkonferma li d-dgħajsa ġiet imnaddfa sewwa. Wara t-tindif, jekk jogħġbok iċċekkja l-wiċċ tad-dgħajsa, il-punt tal-karta tal-grafita u l-ġonta tal-folja tad-dgħajsa, u partijiet oħra biex tara jekk hemmx xi residwu ta 'nitrur tas-silikon. Imbagħad nixxef skond ir-rekwiżiti.

3. Prekawzjonijiet tat-tindif

A) Peress li l-aċidu HF huwa sustanza korrużiva ħafna u għandu ċerta volatilità, huwa perikoluż għall-operaturi. Għalhekk, l-operaturi fil-post tat-tindif għandhom jieħdu prekawzjonijiet ta’ sigurtà u jkunu mmaniġġjati minn persuna apposta.

B) Huwa rakkomandat li tiżżarma d-dgħajsa u tnaddaf biss il-parti tal-grafita waqt it-tindif, sabiex kull parti ta 'kuntatt tkun tista' titnaddaf aktar bir-reqqa. Fil-preżent, ħafna manifatturi domestiċi jużaw tindif ġenerali, li huwa konvenjenti, iżda minħabba li l-aċidu HF huwa korrużiv għall-partijiet taċ-ċeramika, it-tindif ġenerali se jqassar il-ħajja tas-servizz tal-partijiet korrispondenti.