Bahagian Halfmoon Graphite Bersalut SiC Untuk Peralatan Epitaxial Silicon Carbide

Penerangan ringkas:

Pengenalan dan penggunaan produk: Tiub kuarza yang disambungkan, boleh melepasi gas untuk memacu putaran tapak dulang, kawalan suhu

Lokasi peranti produk: dalam ruang tindak balas, tidak bersentuhan langsung dengan wafer

Produk hiliran utama: peranti kuasa

Pasaran terminal utama: kenderaan tenaga baharu

 


Butiran Produk

Tag Produk

Bahagian Setengah Bulan Grafit Bersalut SiCis a kuncikomponen yang digunakan dalam proses pembuatan semikonduktor, terutamanya untuk peralatan epitaxial SiC.Kami menggunakan teknologi kami yang dipatenkan untuk membuat bahagian halfmoonkesucian yang sangat tinggi,baiksalutankeseragamandan hayat perkhidmatan yang cemerlang, sertarintangan kimia yang tinggi dan sifat kestabilan haba.

Tenaga VET ialah yangpengeluar sebenar produk grafit dan silikon karbida tersuai dengan salutan CVD,boleh bekalkanpelbagaibahagian tersuai untuk industri semikonduktor dan fotovoltaik. Opasukan teknikal anda berasal dari institusi penyelidikan domestik terkemuka, boleh menyediakan penyelesaian bahan yang lebih profesionaluntuk awak.

Kami terus membangunkan proses lanjutan untuk menyediakan bahan yang lebih maju,dantelah menghasilkan teknologi yang dipatenkan eksklusif, yang boleh menjadikan ikatan antara salutan dan substrat lebih ketat dan kurang terdedah kepada detasmen.

Fciri produk kami:

1. Rintangan pengoksidaan suhu tinggi sehingga 1700.
2. Ketulenan yang tinggi dankeseragaman haba
3. Rintangan kakisan yang sangat baik: asid, alkali, garam dan reagen organik.
4. Kekerasan tinggi, permukaan padat, zarah halus.
5. Hayat perkhidmatan yang lebih lama dan lebih tahan lama

CVD SiC薄膜基本物理性能

Sifat fizikal asas CVD SiCsalutan

性质 / Harta

典型数值 / Nilai Biasa

晶体结构 / Struktur Kristal

Fasa FCC β多晶,主要为(111)取向

密度 / Ketumpatan

3.21 g/cm³

硬度 / Kekerasan

2500 维氏硬度(500g beban)

晶粒大小 / Saiz Bijirin

2~10μm

纯度 / Ketulenan Kimia

99.99995%

热容 / Kapasiti Haba

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Suhu Sublimasi

2700 ℃

抗弯强度 / Kekuatan Lentur

415 MPa RT 4 mata

杨氏模量 / Modulus Muda

430 Gpa selekoh 4pt, 1300℃

导热系数 / TermalKekonduksian

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Pengembangan Terma(CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

Sangat mengalu-alukan anda untuk melawat kilang kami, mari berbincang lebih lanjut!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Sebelumnya:
  • Seterusnya:

  • Sembang Dalam Talian WhatsApp !