Salutan SiC/Substrat Grafit Bersalut/Dulang untuk Semikonduktor

Penerangan Ringkas:

VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor for Epitaxial Growth ialah produk berprestasi tinggi yang direka untuk memberikan prestasi yang konsisten dan boleh dipercayai dalam tempoh yang panjang.Ia mempunyai rintangan haba yang sangat baik dan keseragaman haba, ketulenan tinggi, rintangan hakisan, menjadikannya penyelesaian yang sempurna untuk aplikasi pemprosesan wafer.


Butiran Produk

Tag Produk

Salutan SiC/bersalut susceptor Grafit untuk Semikonduktor
 
Susceptor Grafit Bersalut SiC ialah komponen utama yang digunakan dalam pelbagai proses pembuatan semikonduktor.Kami menggunakan teknologi kami yang dipatenkan untuk membuat pembawa silikon karbida dengan ketulenan yang sangat tinggi, keseragaman salutan yang baik dan hayat perkhidmatan yang cemerlang, serta rintangan kimia yang tinggi dan sifat kestabilan haba.

 Ciri-ciri: 
· Rintangan Kejutan Terma Cemerlang
· Rintangan Kejutan Fizikal yang sangat baik
· Rintangan Kimia Cemerlang
· Ketulenan Super Tinggi
· Ketersediaan dalam Bentuk Kompleks
·Boleh digunakan di bawah Atmosfera Pengoksidaan

Permohonan:

3

Sifat Biasa Bahan Grafit Asas:

Ketumpatan Jelas: 1.85 g/cm3
Kerintangan Elektrik: 11 μΩm
Kekuatan lentur: 49 MPa (500kgf/cm2)
Kekerasan Pantai: 58
Abu: <5ppm
Kekonduksian terma: 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

 

CVD SiC薄膜基本物理性能

Sifat fizikal asas CVD SiCsalutan

性质 / Harta

典型数值 / Nilai Biasa

晶体结构 / Struktur Kristal

Fasa β FCC 多晶,主要为(111)取向

密度 / Ketumpatan

3.21 g/cm³

硬度 / Kekerasan

2500 维氏硬度(500g beban)

晶粒大小 / Saiz Bijirin

2~10μm

纯度 / Ketulenan Kimia

99.99995%

热容 / Kapasiti Haba

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Suhu Sublimasi

2700 ℃

抗弯强度 / Kekuatan Lentur

415 MPa RT 4 mata

杨氏模量 / Modulus Muda

430 Gpa selekoh 4pt, 1300℃

导热系数 / Kekonduksian Terma

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Pengembangan Terma(CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

 

VET Energy ialah pengeluar sebenar produk grafit dan silikon karbida tersuai dengan salutan berbeza seperti salutan SiC, salutan TaC, salutan karbon berkaca, salutan karbon pirolitik, dsb., boleh membekalkan pelbagai bahagian tersuai untuk industri semikonduktor dan fotovoltaik.

Pasukan teknikal kami berasal dari institusi penyelidikan domestik terkemuka, boleh menyediakan penyelesaian bahan yang lebih profesional untuk anda.

Kami terus membangunkan proses lanjutan untuk menyediakan bahan yang lebih maju, dan telah menghasilkan teknologi yang dipatenkan eksklusif, yang boleh menjadikan ikatan antara salutan dan substrat lebih ketat dan kurang terdedah kepada detasmen.

Sangat mengalu-alukan anda untuk melawat kilang kami, mari berbincang lebih lanjut!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Sebelumnya:
  • Seterusnya:

  • Sembang Dalam Talian WhatsApp !