Salutan SiC/Substrat Grafit Bersalut/Dulang untuk Semikonduktor

Penerangan ringkas:

VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor for Epitaxial Growth ialah produk berprestasi tinggi yang direka untuk memberikan prestasi yang konsisten dan boleh dipercayai dalam tempoh yang panjang. Ia mempunyai rintangan haba yang sangat baik dan keseragaman haba, ketulenan tinggi, rintangan hakisan, menjadikannya penyelesaian yang sempurna untuk aplikasi pemprosesan wafer.


Butiran Produk

Tag Produk

Salutan SiC/bersalut susceptor Grafit untuk Semikonduktor
 
TheSubstrat Grafit Bersalut SiCialah penyelesaian yang sangat tahan lama dan cekap direka untuk memenuhi permintaan ketat industri pemprosesan semikonduktor. Menampilkan lapisan ketulenan tinggisalutan silikon karbida (SiC)., substrat ini memberikan kestabilan haba yang luar biasa, rintangan pengoksidaan dan hayat perkhidmatan yang berpanjangan, menjadikannya sesuai untuk aplikasi dalam proses MOCVD, pembawa wafer grafit dan persekitaran suhu tinggi yang lain.

 ciri-ciri: 
· Rintangan Kejutan Terma Cemerlang
· Rintangan Kejutan Fizikal yang sangat baik
· Rintangan Kimia Cemerlang
· Ketulenan Super Tinggi
· Ketersediaan dalam Bentuk Kompleks
· Boleh digunakan di bawah Atmosfera Pengoksidaan

Permohonan:

3

Ciri dan Kelebihan Produk:

1. Rintangan Terma Unggul:Dengan ketulenan yang tinggiSalutan SiC, substrat menahan suhu yang melampau, memastikan prestasi yang konsisten dalam persekitaran yang menuntut seperti fabrikasi epitaksi dan semikonduktor.

2. Ketahanan yang Dipertingkatkan:Komponen grafit bersalut SiC direka bentuk untuk menahan kakisan dan pengoksidaan kimia, meningkatkan jangka hayat substrat berbanding substrat grafit standard.

3. Grafit Bersalut Vitreous:Struktur vitreous yang unikSalutan SiCmemberikan kekerasan permukaan yang sangat baik, meminimumkan haus dan lusuh semasa pemprosesan suhu tinggi.

4. Salutan SiC Ketulenan Tinggi:Substrat kami memastikan pencemaran minimum dalam proses semikonduktor sensitif, menawarkan kebolehpercayaan untuk industri yang memerlukan ketulenan bahan yang ketat.

5. Aplikasi Pasaran Luas:TheSuseptor grafit bersalut SiCpasaran terus berkembang apabila permintaan untuk produk bersalut SiC termaju dalam pembuatan semikonduktor meningkat, meletakkan substrat ini sebagai pemain utama dalam kedua-dua pasaran pembawa wafer grafit dan pasaran dulang grafit bersalut silikon karbida.

Sifat Biasa Bahan Grafit Asas:

Ketumpatan Jelas: 1.85 g/cm3
Kerintangan Elektrik: 11 μΩm
Kekuatan lentur: 49 MPa (500kgf/cm2)
Kekerasan Pantai: 58
Abu: <5ppm
Kekonduksian Terma: 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

 

CVD SiC薄膜基本物理性能

Sifat fizikal asas CVD SiCsalutan

性质 / Harta

典型数值 / Nilai Biasa

晶体结构 / Struktur Kristal

Fasa β FCC 多晶,主要为(111)取向

密度 / Ketumpatan

3.21 g/cm³

硬度 / Kekerasan

2500 维氏硬度(500g beban)

晶粒大小 / Saiz Bijirin

2~10μm

纯度 / Ketulenan Kimia

99.99995%

热容 / Kapasiti Haba

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Suhu Sublimasi

2700 ℃

抗弯强度 / Kekuatan Lentur

415 MPa RT 4 mata

杨氏模量 / Modulus Muda

430 Gpa selekoh 4pt, 1300℃

导热系数 / Kekonduksian Terma

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Pengembangan Terma(CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

 

 

VET Energy ialah pengeluar sebenar produk grafit dan silikon karbida tersuai dengan salutan berbeza seperti salutan SiC, salutan TaC, salutan karbon berkaca, salutan karbon pirolitik, dsb., boleh membekalkan pelbagai bahagian tersuai untuk industri semikonduktor dan fotovoltaik.

Pasukan teknikal kami berasal dari institusi penyelidikan domestik terkemuka, boleh menyediakan penyelesaian bahan yang lebih profesional untuk anda.

Kami terus membangunkan proses lanjutan untuk menyediakan bahan yang lebih maju, dan telah menghasilkan teknologi yang dipatenkan eksklusif, yang boleh menjadikan ikatan antara salutan dan substrat lebih ketat dan kurang terdedah kepada detasmen.

Sangat mengalu-alukan anda untuk melawat kilang kami, mari berbincang lebih lanjut!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Sebelumnya:
  • Seterusnya:

  • Sembang Dalam Talian WhatsApp !