Pembawa / Susceptor Grafit Bersalut SiC

Penerangan ringkas:

Pembawa/Susceptor Grafit Bersalut VET Energy SiC ialah produk berprestasi tinggi yang direka untuk memberikan prestasi yang konsisten dan boleh dipercayai dalam tempoh yang panjang. Ia mempunyai rintangan haba yang sangat baik dan keseragaman haba, ketulenan tinggi, rintangan hakisan, menjadikannya penyelesaian yang sempurna untuk aplikasi pemprosesan wafer.

 


Butiran Produk

Tag Produk

Suscetpor bersalut SiC ialah komponen utama yang digunakan dalam pelbagai proses pembuatan semikonduktor. Kami menggunakan teknologi kami yang dipatenkan untuk membuat suscetpor bersalut SiC dengan ketulenan yang sangat tinggi, keseragaman salutan yang baik dan hayat perkhidmatan yang cemerlang, serta rintangan kimia yang tinggi dan sifat kestabilan haba.

Ciri-ciri produk kami:

1. Rintangan pengoksidaan suhu tinggi sehingga 1700 ℃.
2. Ketulenan tinggi dan keseragaman haba
3. Rintangan kakisan yang sangat baik: asid, alkali, garam dan reagen organik.
4. Kekerasan tinggi, permukaan padat, zarah halus.
5. Hayat perkhidmatan yang lebih lama dan lebih tahan lama

pembawa2 pembawa4

pembawa1 pembawa3

 

CVD SiC薄膜基本物理性能

Sifat fizikal asas CVD SiCsalutan

性质 / Harta

典型数值 / Nilai Biasa

晶体结构 / Struktur Kristal

Fasa FCC β多晶,主要为(111)取向

密度 / Ketumpatan

3.21 g/cm³

硬度 / Kekerasan

2500 维氏硬度(500g beban)

晶粒大小 / Saiz Bijirin

2~10μm

纯度 / Ketulenan Kimia

99.99995%

热容 / Kapasiti Haba

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Suhu Sublimasi

2700 ℃

抗弯强度 / Kekuatan Lentur

415 MPa RT 4 mata

杨氏模量 / Modulus Muda

430 Gpa selekoh 4pt, 1300℃

导热系数 / TermalKekonduksian

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Pengembangan Terma(CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

Sangat mengalu-alukan anda untuk melawat kilang kami, mari berbincang lebih lanjut!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Sebelumnya:
  • Seterusnya:

  • Sembang Dalam Talian WhatsApp !