Susceptor Tong Bersalut SiC

Penerangan ringkas:

VET Energy SiC Coated Barrel Susceptor ialah produk berprestasi tinggi yang direka untuk memberikan prestasi yang konsisten dan boleh dipercayai dalam tempoh yang panjang. Ia mempunyai rintangan haba yang sangat baik dan keseragaman haba, ketulenan tinggi, rintangan hakisan, menjadikannya penyelesaian yang sempurna untuk aplikasi pemprosesan wafer.


  • Tempat Asal:China
  • Struktur Kristal:fasa FCCβ
  • Ketumpatan:3.21 g/sm;
  • Kekerasan:2500 Vickers;
  • Saiz Bijirin:2~10μm;
  • Ketulenan Kimia:99.99995%;
  • Kapasiti Haba:640J·kg-1·K-1;
  • Suhu pemejalwapan:2700 ℃;
  • Kekuatan Felexural:415 Mpa (RT 4-Mata);
  • Modulus Muda:430 Gpa (4pt selekoh, 1300℃);
  • Pengembangan Terma (CTE):4.5 10-6K-1;
  • Kekonduksian Terma:300(W/MK);
  • Butiran Produk

    Tag Produk

    Suseptor tong is a kuncikomponen yang digunakan dalam pelbagai proses pembuatan semikonduktor.Kami menggunakan teknologi kami yang dipatenkan untuk membuatsuseptor tongdengankesucian yang sangat tinggi,baiksalutankeseragamandan hayat perkhidmatan yang cemerlang, sertarintangan kimia yang tinggi dan sifat kestabilan haba.

    Tenaga VET ialah yangpengeluar sebenar produk grafit dan silikon karbida tersuai dengan salutan CVD,boleh bekalkanpelbagaibahagian tersuai untuk industri semikonduktor dan fotovoltaik. Opasukan teknikal anda berasal dari institusi penyelidikan domestik terkemuka, boleh menyediakan penyelesaian bahan yang lebih profesionaluntuk awak.

    Kami terus membangunkan proses lanjutan untuk menyediakan bahan yang lebih maju,dantelah menghasilkan teknologi yang dipatenkan eksklusif, yang boleh menjadikan ikatan antara salutan dan substrat lebih ketat dan kurang terdedah kepada detasmen.

    Fciri produk kami:

    1. Rintangan pengoksidaan suhu tinggi sehingga 1700.
    2. Ketulenan yang tinggi dankeseragaman haba
    3. Rintangan kakisan yang sangat baik: asid, alkali, garam dan reagen organik.
    4. Kekerasan tinggi, permukaan padat, zarah halus.
    5. Hayat perkhidmatan yang lebih lama dan lebih tahan lama

    CVD SiC薄膜基本物理性能

    Sifat fizikal asas CVD SiCsalutan

    性质 / Harta

    典型数值 / Nilai Biasa

    晶体结构 / Struktur Kristal

    Fasa FCC β多晶,主要为(111)取向

    密度 / Ketumpatan

    3.21 g/cm³

    硬度 / Kekerasan

    2500 维氏硬度(500g beban)

    晶粒大小 / Saiz Bijirin

    2~10μm

    纯度 / Ketulenan Kimia

    99.99995%

    热容 / Kapasiti Haba

    640 J·kg-1·K-1

    升华温度 / Suhu Sublimasi

    2700 ℃

    抗弯强度 / Kekuatan Lentur

    415 MPa RT 4 mata

    杨氏模量 / Modulus Muda

    430 Gpa selekoh 4pt, 1300℃

    导热系数 / TermalKekonduksian

    300W·m-1·K-1

    热膨胀系数 / Pengembangan Terma(CTE)

    4.5×10-6K-1

    未标题-1

    1

    2

    Sangat mengalu-alukan anda untuk melawat kilang kami, mari berbincang lebih lanjut!

    研发团队

     

    生产设备

     

    公司客户


  • Sebelumnya:
  • Seterusnya:

  • Sembang Dalam Talian WhatsApp !