Bot wafer silikon karbida ialah peranti galas beban untuk wafer, terutamanya digunakan dalam proses penyebaran solar dan semikonduktor. Ia mempunyai ciri-ciri seperti rintangan haus, rintangan kakisan, rintangan hentaman suhu tinggi, rintangan kepada pengeboman plasma, kapasiti galas suhu tinggi, kekonduksian haba yang tinggi, pelesapan haba yang tinggi, dan penggunaan jangka panjang yang tidak mudah bengkok dan berubah bentuk. Syarikat kami menggunakan bahan silikon karbida ketulenan tinggi untuk memastikan hayat perkhidmatan dan menyediakan reka bentuk tersuai, termasuk pelbagai bot wafer menegak dan mendatar.
Lembaran Data Bahan
| 材料bahan | R-SiC |
| 使用温度Suhu kerja (°C) | 1600°C ( 氧化气氛persekitaran pengoksidaan)1700°C ( 还原气氛Persekitaran pengurangan) |
| Kandungan SiC含量SiC (%) | > 99 |
| 自由Si 含量Kandungan Si percuma (%) | < 0.1 |
| 体积密度Ketumpatan pukal (g/cm3) | 2.60-2.70 |
| 气孔率Keliangan ketara (%) | < 16 |
| 抗压强度Kekuatan penghancuran (MPa) | > 600 |
| 常温抗弯强度Kekuatan lenturan sejuk (MPa) | 80-90 (20°C) |
| 高温抗弯强度Kekuatan lentur panas (MPa) | 90-100 (1400°C) |
| 热膨胀系数Pekali pengembangan terma @1500°C (10-6/°C) | 4.70 |
| 导热系数Kekonduksian terma @1200°C (W/m•K) | 23 |
| 杨氏模量Modulus anjal (GPa) | 240 |
| 抗热震性Rintangan kejutan terma | 很好sangat baik |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltdialah perusahaan berteknologi tinggi yang memfokuskan pada pengeluaran dan penjualan bahan canggih, bahan dan teknologi canggihtermasukgrafit, silikon karbida, seramik, rawatan permukaan dan sebagainya. Produk ini digunakan secara meluas dalam fotovoltaik, semikonduktor, tenaga baru, metalurgi, dan lain-lain.
Pasukan teknikal kami berasal dari institusi penyelidikan domestik terkemuka, boleh menyediakan penyelesaian bahan yang lebih profesionaluntuk awak.
Sangat mengalu-alukan anda untuk melawat kilang kami, mari berbincang lebih lanjut!
