VET ऊर्जासिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग ग्रेफाइट ट्रे, प्लेट आणि कव्हर हे उच्च-स्तरीय कार्यप्रदर्शन प्रदान करण्यासाठी इंजिनियर केलेले आहे, विस्तारित वापरावर विश्वासार्ह आणि सातत्यपूर्ण ऑपरेशन प्रदान करते, ज्यामुळे सेमीकंडक्टर उद्योगातील वेफर प्रक्रिया अनुप्रयोगांसाठी ते एक आवश्यक पर्याय बनते. हे उच्च कार्यक्षमतासिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग ग्रेफाइट प्लेटविशेषत: उच्च-तापमानाच्या परिस्थितीत अपवादात्मक उष्णता प्रतिरोध, उत्कृष्ट थर्मल एकरूपता आणि उत्कृष्ट रासायनिक स्थिरता यांचा अभिमान बाळगतो. त्याची उच्च-शुद्धता बांधकाम, प्रगत क्षरण प्रतिरोधकतेसह, ते मागणी असलेल्या वातावरणासाठी अपरिहार्य बनवते जसे कीMOCVD ससेप्टर्स.
सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग ग्रेफाइट ट्रे, प्लेट आणि कव्हरची प्रमुख वैशिष्ट्ये
1. उच्च-तापमान ऑक्सिडेशन प्रतिरोध:1700 ℃ पर्यंत तापमान सहन करते, ते अत्यंत परिस्थितीत विश्वसनीयपणे कार्य करण्यास सक्षम करते.
2. उच्च शुद्धता आणि थर्मल एकरूपता:MOCVD ऍप्लिकेशन्ससाठी सातत्यपूर्ण उच्च शुद्धता आणि अगदी उष्णता वितरण देखील महत्त्वपूर्ण आहे.
3. अपवादात्मक गंज प्रतिकार:आम्ल, क्षार, क्षार आणि विविध सेंद्रिय अभिकर्मकांना प्रतिरोधक, विविध वातावरणात दीर्घकालीन स्थिरता सुनिश्चित करते.
4. उच्च कडकपणा आणि संक्षिप्त पृष्ठभाग:बारीक कणांसह दाट पृष्ठभाग वैशिष्ट्यीकृत करते, एकूण टिकाऊपणा आणि परिधान करण्यासाठी प्रतिकार सुधारते.
5. विस्तारित सेवा जीवन:दीर्घायुष्यासाठी अभियंता, पारंपारिक पेक्षा जास्त कामगिरीसिलिकॉन कार्बाइड-लेपित ग्रेफाइट ससेप्टर्सकठोर सेमीकंडक्टर प्रक्रिया वातावरणात.
CVD SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC चे मूलभूत भौतिक गुणधर्मकोटिंग | |
性质 / मालमत्ता | 典型数值 / ठराविक मूल्य |
晶体结构 / क्रिस्टल स्ट्रक्चर | FCC β फेज多晶, 主要为 (111)取向 |
密度 / घनता | 3.21 g/cm³ |
硬度 / कडकपणा | 2500 维氏硬度(500g लोड) |
晶粒大小 / धान्य आकार | 2~10μm |
纯度 / रासायनिक शुद्धता | 99.99995% |
热容 / उष्णता क्षमता | 640 J·kg-1· के-1 |
升华温度 / उदात्तीकरण तापमान | 2700℃ |
抗弯强度 / फ्लेक्सरल स्ट्रेंथ | 415 MPa RT 4-पॉइंट |
杨氏模量 / तरुणांचे मॉड्यूलस | 430 Gpa 4pt बेंड, 1300℃ |
导热系数 / थर्माlचालकता | 300W·m-1· के-1 |
热膨胀系数 / थर्मल विस्तार (CTE) | ४.५×१०-6K-1 |
सानुकूलित ग्रेफाइट आणि सिलिकॉन कार्बाइड सोल्यूशन्समध्ये VET एनर्जीची कौशल्य
एक विश्वासार्ह उत्पादक म्हणून, VET एनर्जी कस्टम-डिझाइन केलेले ग्रेफाइट ससेप्टर्स आणि सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग सोल्यूशन्समध्ये माहिर आहे. आम्ही सेमीकंडक्टर आणि फोटोव्होल्टेइक उद्योगांसाठी तयार केलेल्या उत्पादनांची श्रेणी ऑफर करतो, यासहSiC-लेपित ग्रेफाइट घटकजसे ट्रे, प्लेट्स आणि कव्हर्स. आमच्या उत्पादन लाइनअपमध्ये विविध कोटिंग पर्याय देखील समाविष्ट आहेत, जसे कीMOCVD साठी SiC कोटिंग, TaC कोटिंग, काचयुक्त कार्बन कोटिंग, आणि pyrolytic कार्बन कोटिंग, आम्ही उच्च-टेक उद्योगांच्या विविध मागण्या पूर्ण करतो याची खात्री करून.
आमची अनुभवी तांत्रिक टीम, ज्यामध्ये सर्वोच्च देशांतर्गत संशोधन संस्थांतील तज्ज्ञांचा समावेश आहे, क्लायंटसाठी सर्वसमावेशक साहित्य समाधाने प्रदान करते. सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग आणि ग्रेफाइट सब्सट्रेट यांच्यातील बॉन्डिंग वाढवणाऱ्या, अलिप्तपणाचा धोका कमी करून उत्पादनाचे आयुष्य वाढवणाऱ्या अनन्य पेटंट तंत्रज्ञानासह आम्ही आमच्या प्रगत प्रक्रियांना सतत परिष्कृत करतो.
सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमधील अनुप्रयोग आणि फायदे
दMOCVD साठी सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंगहे ग्रेफाइट ससेप्टर्स उच्च-तापमान, संक्षारक वातावरणात अत्यंत प्रभावी बनवतात. ग्रेफाइट वेफर वाहक किंवा इतर MOCVD घटक म्हणून वापरले असले तरीही, हे सिलिकॉन कार्बाइड-लेपित ससेप्टर्स उत्कृष्ट टिकाऊपणा आणि कार्यप्रदर्शन प्रदर्शित करतात. मध्ये विश्वसनीय उपाय शोधणाऱ्यांसाठीSiC-लेपित ग्रेफाइट ससेप्टरमार्केट, व्हीईटी एनर्जीचा सिलिकॉन कार्बाइड-कोटेड ग्रेफाइट ट्रे, प्लेट आणि कव्हर सेमीकंडक्टर उद्योगाच्या कठोर मागण्या पूर्ण करणारा एक मजबूत आणि बहुमुखी पर्याय देतात.
प्रगत भौतिक विज्ञानावर लक्ष केंद्रित करून, VET एनर्जी उच्च-कार्यक्षमता SiC-कोटेड ग्रेफाइट सोल्यूशन्स वितरीत करण्यासाठी वचनबद्ध आहे जे सेमीकंडक्टर प्रक्रियेत नावीन्य आणते आणि सर्व MOCVD-संबंधित अनुप्रयोगांमध्ये विश्वसनीय कार्यप्रदर्शन सुनिश्चित करते.
व्हीईटी एनर्जी ही सानुकूलित ग्रेफाइट आणि सिलिकॉन कार्बाइड उत्पादनांची खरी उत्पादक आहे ज्यामध्ये SiC कोटिंग, TaC कोटिंग, ग्लासी कार्बन कोटिंग, पायरोलाइटिक कार्बन कोटिंग इ. सेमीकंडक्टर आणि फोटोव्होल्टेइक उद्योगासाठी विविध सानुकूलित भाग पुरवले जाऊ शकतात.
आमची तांत्रिक कार्यसंघ शीर्ष देशांतर्गत संशोधन संस्थांमधून येते, आपल्यासाठी अधिक व्यावसायिक सामग्री समाधान प्रदान करू शकते.
आम्ही अधिक प्रगत सामग्री प्रदान करण्यासाठी प्रगत प्रक्रिया सतत विकसित करतो आणि एक विशेष पेटंट तंत्रज्ञान तयार केले आहे, ज्यामुळे कोटिंग आणि सब्सट्रेट यांच्यातील संबंध अधिक घट्ट होऊ शकतात आणि विलग होण्याची शक्यता कमी होते.
आमच्या कारखान्याला भेट देण्यासाठी तुमचे हार्दिक स्वागत आहे, चला पुढील चर्चा करूया!