चीन उत्पादक SiC Coated Graphite MOCVD Epitaxy Susceptor

चीन उत्पादक SiC लेपित ग्रेफाइट MOCVD Epitaxy ससेप्टर वैशिष्ट्यीकृत प्रतिमा

संक्षिप्त वर्णन:

शुद्धता < 5ppm
‣ चांगली डोपिंग एकसमानता
‣ उच्च घनता आणि आसंजन
‣ चांगले अँटी-संक्षारक आणि कार्बन प्रतिरोध

‣ व्यावसायिक सानुकूलन
‣ कमी आघाडी वेळ
‣ स्थिर पुरवठा
‣ गुणवत्ता नियंत्रण आणि सतत सुधारणा

Sapphire वर GaN च्या Epitaxy(आरजीबी/मिनी/मायक्रो एलईडी);
Si सब्सट्रेटवरील GaN चे एपिटॅक्सी(UVC);
Si सब्सट्रेटवरील GaN चे एपिटॅक्सी(इलेक्ट्रॉनिक उपकरण);
Si substrate वर Si च्या एपिटॅक्सी(एकात्मिक सर्किट);
SiC सब्सट्रेटवर SiC चे एपिटॅक्सी(सबस्ट्रेट);
InP वर InP चे एपिटॅक्सी

आम्हाला ईमेल पाठवा PDF म्हणून डाउनलोड करा

उत्पादन तपशील

उत्पादन टॅग

उच्च दर्जाचे MOCVD ससेप्टर चीनमध्ये ऑनलाइन खरेदी करा

इलेक्ट्रॉनिक उपकरणांमध्ये वापरण्यासाठी तयार होण्यापूर्वी वेफरला अनेक पायऱ्या पार करणे आवश्यक आहे. एक महत्त्वाची प्रक्रिया म्हणजे सिलिकॉन एपिटॅक्सी, ज्यामध्ये वेफर्स ग्रेफाइट ससेप्टर्सवर वाहून जातात. वेफरच्या एपिटॅक्सियल लेयरच्या गुणवत्तेवर ससेप्टर्सचे गुणधर्म आणि गुणवत्तेचा महत्त्वपूर्ण प्रभाव पडतो.

एपिटॅक्सी किंवा MOCVD सारख्या पातळ फिल्म डिपॉझिशन टप्प्यांसाठी, VET अल्ट्रा-प्युअर ग्रेफाइट उपकरणे पुरवते जे सब्सट्रेट्स किंवा "वेफर्स" चे समर्थन करण्यासाठी वापरले जाते. प्रक्रियेच्या केंद्रस्थानी, हे उपकरण, एपिटॅक्सी ससेप्टर्स किंवा MOCVD साठी उपग्रह प्लॅटफॉर्म, प्रथम डिपॉझिशन वातावरणाच्या अधीन आहेत:

उच्च तापमान.
उच्च व्हॅक्यूम.
आक्रमक वायू पूर्ववर्ती वापर.
शून्य प्रदूषण, सोलणे नसणे.
स्वच्छता ऑपरेशन दरम्यान मजबूत ऍसिडस् प्रतिकार

सेमीकंडक्टर आणि फोटोव्होल्टेइक उद्योगासाठी कोटिंगसह सानुकूलित ग्रेफाइट आणि सिलिकॉन कार्बाइड उत्पादनांची खरी उत्पादक VET एनर्जी आहे. आमची तांत्रिक कार्यसंघ शीर्ष देशांतर्गत संशोधन संस्थांमधून येते, आपल्यासाठी अधिक व्यावसायिक सामग्री समाधान प्रदान करू शकते.

आम्ही अधिक प्रगत सामग्री प्रदान करण्यासाठी प्रगत प्रक्रिया सतत विकसित करतो आणि एक विशेष पेटंट तंत्रज्ञान तयार केले आहे, ज्यामुळे कोटिंग आणि सब्सट्रेट यांच्यातील संबंध अधिक घट्ट होऊ शकतात आणि विलग होण्याची शक्यता कमी होते.

आमच्या उत्पादनांची वैशिष्ट्ये:

1. 1700℃ पर्यंत उच्च तापमान ऑक्सिडेशन प्रतिकार.
2. उच्च शुद्धता आणि थर्मल एकरूपता
3. उत्कृष्ट गंज प्रतिकार: आम्ल, अल्कली, मीठ आणि सेंद्रिय अभिकर्मक.
4. उच्च कडकपणा, कॉम्पॅक्ट पृष्ठभाग, सूक्ष्म कण.
5. दीर्घ सेवा जीवन आणि अधिक टिकाऊ

CVD SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC चे मूलभूत भौतिक गुणधर्मकोटिंग
性质 / मालमत्ता	典型数值 / ठराविक मूल्य
晶体结构 / क्रिस्टल स्ट्रक्चर	FCC β फेज多晶, 主要为 (111）取向
密度 / घनता	3.21 g/cm³
硬度 / कडकपणा	2500 维氏硬度（500g लोड）
晶粒大小 / धान्य आकार	2~10μm
纯度 / रासायनिक शुद्धता	99.99995%
热容 / उष्णता क्षमता	640 J·kg^-1· के^-1
升华温度 / उदात्तीकरण तापमान	2700℃
抗弯强度 / फ्लेक्सरल स्ट्रेंथ	415 MPa RT 4-पॉइंट
杨氏模量 / तरुणांचे मॉड्यूलस	430 Gpa 4pt बेंड, 1300℃
导热系数 / थर्माlचालकता	300W·m^-1· के^-1
热膨胀系数 / थर्मल विस्तार (CTE)	४.५×१०^-6K^-1