पशुवैद्य-चीन प्रत्येक टिकाऊ याची खात्री करतेसिलिकॉन कार्बाइड वेफर हँडलिंग पॅडलउत्कृष्ट कामगिरी आणि टिकाऊपणा आहे. हे सिलिकॉन कार्बाइड वेफर हँडलिंग पॅडल उच्च तापमान आणि रासायनिक गंज वातावरणात त्याची संरचनात्मक स्थिरता आणि कार्यक्षमता राहते याची खात्री करण्यासाठी प्रगत उत्पादन प्रक्रिया वापरते. हे नाविन्यपूर्ण डिझाइन सेमीकंडक्टर वेफर हाताळणीसाठी, विशेषत: उच्च-परिशुद्धता स्वयंचलित ऑपरेशनसाठी उत्कृष्ट समर्थन प्रदान करते.
SiC Cantilever पॅडलऑक्सिडेशन फर्नेस, डिफ्यूजन फर्नेस आणि ॲनिलिंग फर्नेस यांसारख्या सेमीकंडक्टर उत्पादन उपकरणांमध्ये वापरला जाणारा एक विशेष घटक आहे, मुख्य वापर वेफर लोडिंग आणि अनलोडिंग, उच्च-तापमान प्रक्रियेदरम्यान वेफर्सचे समर्थन आणि वाहतूक करण्यासाठी आहे.
सामान्य संरचनाच्याSiCcअँटीलिव्हरpजोड: कॅन्टीलिव्हर स्ट्रक्चर, एका टोकाला स्थिर आणि दुसऱ्या बाजूला मोकळी, सामान्यत: सपाट आणि पॅडलसारखी रचना असते.
कार्यरतpतत्त्वच्याSiCcअँटीलिव्हरpजोड:
कॅन्टिलिव्हर पॅडल भट्टीच्या चेंबरमध्ये वर आणि खाली किंवा मागे पुढे जाऊ शकते, ते लोडिंग एरियापासून प्रोसेसिंग एरियामध्ये किंवा प्रोसेसिंग एरियाच्या बाहेर, उच्च-तापमान प्रक्रियेदरम्यान वेफर्सला आधार देण्यासाठी आणि स्थिर करण्यासाठी वापरले जाऊ शकते.
| रीक्रिस्टलाइज्ड सिलिकॉन कार्बाइडचे भौतिक गुणधर्म | |
| मालमत्ता | ठराविक मूल्य |
| कार्यरत तापमान (°C) | 1600°C (ऑक्सिजनसह), 1700°C (वातावरण कमी करणारे) |
| SiC सामग्री | > 99.96% |
| मोफत Si सामग्री | < ०.१% |
| मोठ्या प्रमाणात घनता | 2.60-2.70 ग्रॅम/सेमी3 |
| उघड सच्छिद्रता | < 16% |
| संक्षेप शक्ती | > 600 MPa |
| थंड झुकण्याची ताकद | 80-90 MPa (20°C) |
| गरम झुकण्याची ताकद | 90-100 MPa (1400°C) |
| थर्मल विस्तार @1500°C | ४.७० १०-6/°से |
| थर्मल चालकता @1200°C | 23 W/m•K |
| लवचिक मापांक | 240 GPa |
| थर्मल शॉक प्रतिकार | अत्यंत चांगले |
