सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग हीटर

पशुवैद्य-चीनसिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिककोटिंग हे अत्यंत कठोर आणि पोशाख-प्रतिरोधक बनलेले उच्च-कार्यक्षमता संरक्षणात्मक कोटिंग आहेसिलिकॉन कार्बाइड (SiC)साहित्य, जे उत्कृष्ट रासायनिक गंज प्रतिरोध आणि उच्च-तापमान स्थिरता प्रदान करते. सेमीकंडक्टर उत्पादनामध्ये ही वैशिष्ट्ये महत्त्वपूर्ण आहेत, म्हणूनसिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंगसेमीकंडक्टर उत्पादन उपकरणांच्या प्रमुख घटकांमध्ये मोठ्या प्रमाणावर वापरले जाते.

पशुवैद्य-चीनची विशिष्ट भूमिकासिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिकसेमीकंडक्टर उत्पादनामध्ये कोटिंग खालीलप्रमाणे आहे:

उपकरणांची टिकाऊपणा वाढवा:सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक कोटिंग सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक कोटिंग सेमीकंडक्टर उत्पादन उपकरणांसाठी अत्यंत उच्च कडकपणा आणि पोशाख प्रतिरोधकतेसह उत्कृष्ट पृष्ठभाग संरक्षण प्रदान करते. विशेषत: उच्च-तापमान आणि अत्यंत संक्षारक प्रक्रिया वातावरणात, जसे की रासायनिक वाफ जमा करणे (CVD) आणि प्लाझ्मा एचिंग, कोटिंग प्रभावीपणे उपकरणांच्या पृष्ठभागाला रासायनिक धूप किंवा भौतिक पोशाखांमुळे नुकसान होण्यापासून रोखू शकते, ज्यामुळे त्याचे सेवा आयुष्य लक्षणीयरीत्या वाढू शकते. उपकरणे आणि वारंवार बदलणे आणि दुरुस्तीमुळे होणारा डाउनटाइम कमी करणे.

प्रक्रिया शुद्धता सुधारा:सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेत, लहान दूषिततेमुळे उत्पादनातील दोष होऊ शकतात. सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंगची रासायनिक जडत्व हे अत्यंत परिस्थितीत स्थिर राहण्यास अनुमती देते, सामग्रीला कण किंवा अशुद्धता सोडण्यापासून प्रतिबंधित करते, ज्यामुळे प्रक्रियेची पर्यावरणीय शुद्धता सुनिश्चित होते. हे विशेषतः PECVD आणि आयन इम्प्लांटेशन सारख्या उच्च सुस्पष्टता आणि उच्च स्वच्छता आवश्यक असलेल्या उत्पादन चरणांसाठी महत्वाचे आहे.

थर्मल व्यवस्थापन ऑप्टिमाइझ करा:उच्च-तापमान अर्धसंवाहक प्रक्रियेत, जसे की जलद थर्मल प्रक्रिया (RTP) आणि ऑक्सिडेशन प्रक्रिया, सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक कोटिंगची उच्च थर्मल चालकता उपकरणांच्या आत एकसमान तापमान वितरण सक्षम करते. हे तापमानातील चढउतारांमुळे होणारे थर्मल ताण आणि सामग्रीचे विकृती कमी करण्यास मदत करते, ज्यामुळे उत्पादनाची अचूकता आणि सुसंगतता सुधारते.

जटिल प्रक्रिया वातावरणास समर्थन द्या:ICP एचिंग आणि PSS एचिंग प्रक्रियांसारख्या जटिल वातावरणीय नियंत्रणाची आवश्यकता असलेल्या प्रक्रियांमध्ये, सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंगची स्थिरता आणि ऑक्सिडेशन प्रतिरोध हे सुनिश्चित करते की उपकरणे दीर्घकालीन ऑपरेशनमध्ये स्थिर कामगिरी राखतात, ज्यामुळे साहित्याचा ऱ्हास किंवा उपकरणांचे नुकसान होण्याचा धोका कमी होतो. पर्यावरणीय बदलांसाठी.