प्रगतSiC Cantilever पॅडलवेफर प्रोसेसिंगसाठी पशुवैद्यकाने तयार केलेले सेमीकंडक्टर उत्पादनासाठी उत्कृष्ट उपाय उपलब्ध आहे. हे कॅन्टीलिव्हर पॅडल SiC (सिलिकॉन कार्बाइड) मटेरियलने बनलेले आहे आणि त्याची उच्च कडकपणा आणि उष्णता प्रतिरोधकता उच्च तापमान आणि संक्षारक वातावरणात उत्कृष्ट कामगिरी राखण्यास सक्षम करते. कँटिलिव्हर पॅडलची रचना प्रक्रियेदरम्यान वेफरला विश्वासार्हपणे समर्थित करण्यास अनुमती देते, ज्यामुळे विखंडन आणि नुकसान होण्याचा धोका कमी होतो.
SiC Cantilever पॅडलऑक्सिडेशन फर्नेस, डिफ्यूजन फर्नेस आणि ॲनिलिंग फर्नेस यांसारख्या सेमीकंडक्टर उत्पादन उपकरणांमध्ये वापरला जाणारा एक विशेष घटक आहे, मुख्य वापर वेफर लोडिंग आणि अनलोडिंग, उच्च-तापमान प्रक्रियेदरम्यान वेफर्सचे समर्थन आणि वाहतूक करण्यासाठी आहे.
सामान्य संरचनाच्याSiCcअँटीलिव्हरpजोड: कॅन्टीलिव्हर रचना, एका टोकाला निश्चित केलेली आणि दुसऱ्या टोकाला मोकळी, सामान्यत: सपाट आणि पॅडलसारखी रचना असते.
VET एनर्जी गुणवत्तेची हमी देण्यासाठी उच्च शुद्धता पुनर्क्रिस्टॉल केलेले सिलिकॉन कार्बाइड साहित्य वापरते.
| रीक्रिस्टलाइज्ड सिलिकॉन कार्बाइडचे भौतिक गुणधर्म | |
| मालमत्ता | ठराविक मूल्य |
| कार्यरत तापमान (°C) | 1600°C (ऑक्सिजनसह), 1700°C (वातावरण कमी करणारे) |
| SiC सामग्री | > 99.96% |
| मोफत Si सामग्री | < ०.१% |
| मोठ्या प्रमाणात घनता | 2.60-2.70 ग्रॅम/सेमी3 |
| उघड सच्छिद्रता | < 16% |
| संक्षेप शक्ती | > 600एमपीए |
| थंड झुकण्याची ताकद | 80-90 MPa (20°C) |
| गरम झुकण्याची ताकद | 90-100 MPa (1400°C) |
| थर्मल विस्तार @1500°C | ४.७० १०-6/°से |
| थर्मल चालकता @1200°C | 23W/m•K |
| लवचिक मापांक | 240 GPa |
| थर्मल शॉक प्रतिकार | अत्यंत चांगले |
वेफर प्रोसेसिंगसाठी VET Energy च्या Advanced SiC Cantilever Paddle चे फायदे आहेत:
-उच्च तापमान स्थिरता: 1600 डिग्री सेल्सियसपेक्षा जास्त वातावरणात वापरण्यायोग्य;
-कमी थर्मल विस्तार गुणांक: मितीय स्थिरता राखते, वेफर वॉरपेज धोका कमी करते;
-उच्च शुद्धता: धातू दूषित होण्याचा कमी धोका;
-रासायनिक जडत्व: गंज-प्रतिरोधक, विविध वायू वातावरणासाठी योग्य;
-उच्च शक्ती आणि कडकपणा: पोशाख-प्रतिरोधक, दीर्घ सेवा जीवन;
- चांगली थर्मल चालकता: एकसमान वेफर गरम करण्यास मदत करते.
