МСҮТ-ийн эрчим хүчЦахиурын карбидын бүрээстэй графит тавиур, Plate, and Cover нь дээд түвшний гүйцэтгэлийг хангахаар бүтээгдсэн бөгөөд удаан хугацааны туршид найдвартай, тогтвортой ажиллагааг хангадаг бөгөөд энэ нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд өрөм боловсруулах хэрэглээний чухал сонголт болгодог. Энэ нь өндөр гүйцэтгэлтэйЦахиурын карбидын бүрээстэй графит хавтанонцгой халуунд тэсвэртэй, дулааны жигд байдал, химийн гайхалтай тогтвортой байдал, ялангуяа өндөр температурын нөхцөлд. Түүний өндөр цэвэршилттэй бүтэц нь элэгдлийн дэвшилтэт эсэргүүцэлтэй хослуулсан нь үүнийг шаарддаг орчинд зайлшгүй шаардлагатай болгодог.MOCVD мэдрэгчүүд.
Цахиурын карбидын бүрээсийн гол шинж чанарууд графит тавиур, хавтан, бүрээс
1. Өндөр температурын исэлдэлтийн эсэргүүцэл:1700℃ хүртэл температурыг тэсвэрлэх чадвартай тул эрс тэс нөхцөлд найдвартай ажиллах боломжтой.
2. Өндөр цэвэршилт ба дулааны жигд байдал:Тогтвортой өндөр цэвэршилт, дулааны жигд хуваарилалт нь MOCVD-ийн хэрэглээний хувьд маш чухал юм.
3. Зэврэлтээс хамгаалах онцгой эсэргүүцэл:Хүчил, шүлт, давс, төрөл бүрийн органик урвалжуудад тэсвэртэй, янз бүрийн орчинд удаан хугацааны тогтвортой байдлыг хангана.
4. Өндөр хатуулаг ба авсаархан гадаргуу:Нарийн тоосонцор бүхий өтгөн гадаргуутай тул ерөнхий эдэлгээ, элэгдэлд тэсвэртэй байдлыг сайжруулна.
5. Өргөтгөсөн үйлчилгээний хугацаа:Урт наслахаар бүтээгдсэн, ердийнхөөс илүү сайнцахиурын карбидаар бүрсэн бал чулуу мэдрэгчхатуу ширүүн хагас дамжуулагч боловсруулах орчинд .
ЗСӨ SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC-ийн үндсэн физик шинж чанаруудбүрэх | |
性质 / Эд хөрөнгө | 典型数值 / Ердийн утга |
晶体结构 / Кристал бүтэц | FCC β үе шат多晶,主要为(111)取向 |
密度 / Нягт | 3.21 г/см³ |
硬度 / Хатуулаг | 2500 维氏硬度(500г ачаалал) |
晶粒大小 / Үр тарианы хэмжээ | 2 ~ 10 мкм |
纯度 / Химийн цэвэр байдал | 99.99995% |
热容 / Дулааны багтаамж | 640 Жкг-1· К-1 |
升华温度 / Сублимацийн температур | 2700℃ |
抗弯强度 / Гулзайлтын бат бэх | 415 МПа RT 4 цэг |
杨氏模量 / Young's modulus | 430 Gpa 4pt нугалах, 1300℃ |
导热系数 / ThermaлДамжуулах чадвар | 300W·m-1· К-1 |
热膨胀系数 / Дулааны тэлэлт (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
VET Energy-ийн тусгай зориулалтын графит болон цахиурын карбидын шийдэл дэх туршлага
Итгэмжлэгдсэн үйлдвэрлэгчийн хувьд VET Energy нь захиалгаар хийгдсэн бал чулуу мэдрэгч болон цахиурын карбидын бүрэх шийдлүүдэд мэргэшсэн. Бид хагас дамжуулагч болон фотоволтайкийн үйлдвэрт тохирсон олон төрлийн бүтээгдэхүүнийг санал болгож байнаSiC бүрсэн бал чулуун бүрдэл хэсгүүдтавиур, таваг, бүрхэвч гэх мэт. Манай бүтээгдэхүүний жагсаалтад бүрэх зэрэг олон төрлийн сонголтууд багтсан болноMOCVD-д зориулсан SiC бүрээс, TaC бүрэх, шилэн нүүрстөрөгчийн бүрээс, болон пиролитик нүүрстөрөгчийн бүрээс нь бид өндөр технологийн үйлдвэрлэлийн янз бүрийн эрэлт хэрэгцээг хангах болно.
Дотоодын шилдэг судалгааны байгууллагуудын мэргэжилтнүүдээс бүрдсэн манай туршлагатай техникийн баг нь үйлчлүүлэгчдэд материаллаг цогц шийдлүүдийг санал болгодог. Цахиурын карбидын бүрээс болон бал чулууны субстрат хоорондын холболтыг сайжруулж, салгах эрсдлийг бууруулж, бүтээгдэхүүний ашиглалтын хугацааг уртасгах онцгой патентлагдсан технологи зэрэг дэвшилтэт процессуудаа бид тасралтгүй сайжруулж байна.
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл дэх хэрэглээ ба ашиг тус
TheMOCVD-д зориулсан цахиурын карбидын бүрээсЭдгээр бал чулуу мэдрэгчийг өндөр температур, идэмхий орчинд өндөр үр дүнтэй болгодог. Бал чулуун хавтан зөөгч эсвэл MOCVD-ийн бусад бүрэлдэхүүн хэсгүүдэд ашиглагдаж байгаа эсэхээс үл хамааран эдгээр цахиурын карбидаар бүрсэн мэдрэгч нь өндөр бат бөх чанар, гүйцэтгэлийг харуулдаг. Найдвартай шийдлийг хайж буй хүмүүст зориулавSiC бүрсэн бал чулуу мэдрэгчзах зээлд VET Energy-ийн цахиурын карбидаар бүрсэн бал чулуун тавиур, хавтан, бүрхэвч нь хагас дамжуулагчийн салбарын хатуу шаардлагад нийцсэн бат бөх, олон талын сонголтыг санал болгодог.
Дэвшилтэт материаллаг шинжлэх ухаанд анхаарлаа хандуулснаар VET Energy нь хагас дамжуулагчийн боловсруулалтад инновацийг бий болгож, MOCVD-тай холбоотой бүх хэрэглээнд найдвартай гүйцэтгэлийг баталгаажуулдаг SiC бүрсэн графитийн өндөр хүчин чадалтай шийдлүүдийг хүргэхийг зорьж байна.
VET Energy нь SiC бүрэх, TaC бүрэх, шилэн нүүрстөрөгчийн бүрэх, пиролит нүүрстөрөгчийн бүрэх гэх мэт өөр өөр өнгөлгөө бүхий графит, цахиурын карбидын бүтээгдэхүүн үйлдвэрлэдэг жинхэнэ үйлдвэрлэгч бөгөөд хагас дамжуулагч болон фотоволтайкийн үйлдвэрлэлийн төрөл бүрийн захиалгат эд ангиудыг нийлүүлэх боломжтой.
Манай техникийн баг дотоодын шилдэг судалгааны байгууллагуудаас ирдэг тул танд илүү мэргэжлийн материаллаг шийдлүүдийг санал болгож чадна.
Бид илүү дэвшилтэт материалаар хангах дэвшилтэт процессуудыг тасралтгүй хөгжүүлж, тусгай патентлагдсан технологийг боловсруулсан бөгөөд энэ нь бүрээс болон субстрат хоорондын холболтыг илүү нягт, салгахад өртөмтгий болгодог.
Таныг манай үйлдвэрт хүрэлцэн ирэхийг урьж байна, цаашдаа ярилцъя!