ഫർണസ് ട്യൂബ് ഉപകരണങ്ങളുടെ ആന്തരിക ഘടന വിശദമായി വിവരിക്കുന്നു

മുകളിൽ കാണിച്ചിരിക്കുന്നത് പോലെ, ഒരു സാധാരണ ആണ്

ആദ്യ പകുതി:
ഹീറ്റിംഗ് എലമെൻ്റ് (ഹീറ്റിംഗ് കോയിൽ) : ചൂള ട്യൂബിന് ചുറ്റും സ്ഥിതിചെയ്യുന്നു, സാധാരണയായി റെസിസ്റ്റൻസ് വയറുകൾ കൊണ്ട് നിർമ്മിച്ചതാണ്, ചൂള ട്യൂബിനുള്ളിൽ ചൂടാക്കാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു.
ക്വാർട്സ് ട്യൂബ്: ചൂടുള്ള ഓക്സിഡേഷൻ ചൂളയുടെ കാമ്പ്, ഉയർന്ന താപനിലയെ നേരിടാനും രാസപരമായി നിഷ്ക്രിയമായി തുടരാനും കഴിയുന്ന ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള ക്വാർട്സ് കൊണ്ട് നിർമ്മിച്ചതാണ്.
ഗ്യാസ് ഫീഡ്: ഫർണസ് ട്യൂബിൻ്റെ മുകൾഭാഗത്തോ വശത്തോ സ്ഥിതി ചെയ്യുന്ന ഇത് ഓക്സിജനോ മറ്റ് വാതകങ്ങളോ ഫർണസ് ട്യൂബിൻ്റെ ഉള്ളിലേക്ക് കൊണ്ടുപോകാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു.
SS Flange: ക്വാർട്സ് ട്യൂബുകളും ഗ്യാസ് ലൈനുകളും ബന്ധിപ്പിക്കുന്ന ഘടകങ്ങൾ, കണക്ഷൻ്റെ ഇറുകിയതും സ്ഥിരതയും ഉറപ്പാക്കുന്നു.
ഗ്യാസ് ഫീഡ് ലൈനുകൾ: ഗ്യാസ് ട്രാൻസ്മിഷനായി എംഎഫ്സിയെ ഗ്യാസ് വിതരണ തുറമുഖത്തേക്ക് ബന്ധിപ്പിക്കുന്ന പൈപ്പുകൾ.
MFC (മാസ് ഫ്ലോ കൺട്രോളർ) : ആവശ്യമായ വാതകത്തിൻ്റെ അളവ് കൃത്യമായി നിയന്ത്രിക്കുന്നതിന് ക്വാർട്സ് ട്യൂബിനുള്ളിലെ വാതകത്തിൻ്റെ ഒഴുക്ക് നിയന്ത്രിക്കുന്ന ഒരു ഉപകരണം.
വെൻ്റ്: ഫർണസ് ട്യൂബിനുള്ളിൽ നിന്ന് എക്‌സ്‌ഹോസ്റ്റ് വാതകം ഉപകരണത്തിൻ്റെ പുറത്തേക്ക് വിടാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു.

താഴത്തെ ഭാഗം
ഹോൾഡറിലെ സിലിക്കൺ വേഫറുകൾ: ഓക്സിഡേഷൻ സമയത്ത് ഏകീകൃത ചൂട് ഉറപ്പാക്കാൻ സിലിക്കൺ വേഫറുകൾ ഒരു പ്രത്യേക ഹോൾഡറിൽ സ്ഥാപിച്ചിരിക്കുന്നു.
വേഫർ ഹോൾഡർ: സിലിക്കൺ വേഫർ ഹോൾഡ് ചെയ്യാനും പ്രോസസ്സ് സമയത്ത് സിലിക്കൺ വേഫർ സ്ഥിരതയുള്ളതായി ഉറപ്പാക്കാനും ഉപയോഗിക്കുന്നു.
പീഠം: ഒരു സിലിക്കൺ വേഫർ ഹോൾഡർ കൈവശം വച്ചിരിക്കുന്ന ഒരു ഘടന, സാധാരണയായി ഉയർന്ന താപനിലയെ പ്രതിരോധിക്കുന്ന മെറ്റീരിയൽ കൊണ്ട് നിർമ്മിച്ചതാണ്.
എലിവേറ്റർ: സിലിക്കൺ വേഫറുകൾ സ്വയമേവ ലോഡുചെയ്യുന്നതിനും അൺലോഡുചെയ്യുന്നതിനുമായി ക്വാർട്സ് ട്യൂബുകളിലേക്കും പുറത്തേക്കും വേഫർ ഹോൾഡറുകൾ ഉയർത്താൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു.
വേഫർ ട്രാൻസ്ഫർ റോബോട്ട്: ഫർണസ് ട്യൂബ് ഉപകരണത്തിൻ്റെ വശത്ത് സ്ഥിതിചെയ്യുന്നു, ബോക്സിൽ നിന്ന് സിലിക്കൺ വേഫർ സ്വയമേവ നീക്കം ചെയ്യാനും ചൂള ട്യൂബിൽ സ്ഥാപിക്കാനും അല്ലെങ്കിൽ പ്രോസസ്സ് ചെയ്ത ശേഷം അത് നീക്കംചെയ്യാനും ഇത് ഉപയോഗിക്കുന്നു.
കാസറ്റ് സ്‌റ്റോറേജ് കറൗസൽ: സിലിക്കൺ വേഫറുകൾ അടങ്ങിയ ഒരു ബോക്‌സ് സംഭരിക്കുന്നതിന് കാസറ്റ് സ്‌റ്റോറേജ് കറൗസൽ ഉപയോഗിക്കുന്നു, റോബോട്ട് ആക്‌സസ്സിനായി ഇത് തിരിക്കാൻ കഴിയും.
വേഫർ കാസറ്റ്: പ്രോസസ്സ് ചെയ്യേണ്ട സിലിക്കൺ വേഫറുകൾ സംഭരിക്കാനും കൈമാറാനും വേഫർ കാസറ്റ് ഉപയോഗിക്കുന്നു.