ഫർണസ് ട്യൂബ് ഉപകരണങ്ങളുടെ ആന്തരിക ഘടന വിശദമായി വിവരിക്കുന്നു

മുകളിൽ കാണിച്ചിരിക്കുന്നത് പോലെ, ഒരു സാധാരണ ആണ്

ആദ്യ പകുതി:

▪ തപീകരണ ഘടകം (തപീകരണ കോയിൽ):

ചൂള ട്യൂബിന് ചുറ്റും സ്ഥിതിചെയ്യുന്നു, സാധാരണയായി പ്രതിരോധ വയറുകൾ കൊണ്ട് നിർമ്മിച്ചതാണ്, ചൂള ട്യൂബിൻ്റെ ഉള്ളിൽ ചൂടാക്കാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു.

▪ ക്വാർട്സ് ട്യൂബ്:

ചൂടുള്ള ഓക്സിഡേഷൻ ചൂളയുടെ കാമ്പ്, ഉയർന്ന ഊഷ്മാവിനെ നേരിടാനും രാസപരമായി നിർജ്ജീവമായി തുടരാനും കഴിയുന്ന ഉയർന്ന പ്യൂരിറ്റി ക്വാർട്സ് കൊണ്ട് നിർമ്മിച്ചതാണ്.

▪ ഗ്യാസ് ഫീഡ്:

ഫർണസ് ട്യൂബിൻ്റെ മുകളിലോ വശത്തോ സ്ഥിതി ചെയ്യുന്ന ഇത് ഓക്സിജനോ മറ്റ് വാതകങ്ങളോ ഫർണസ് ട്യൂബിൻ്റെ ഉള്ളിലേക്ക് കൊണ്ടുപോകാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു.

▪ SS ഫ്ലേഞ്ച്:

ക്വാർട്സ് ട്യൂബുകളും ഗ്യാസ് ലൈനുകളും ബന്ധിപ്പിക്കുന്ന ഘടകങ്ങൾ, കണക്ഷൻ്റെ ഇറുകിയതും സ്ഥിരതയും ഉറപ്പാക്കുന്നു.

▪ ഗ്യാസ് ഫീഡ് ലൈനുകൾ:

ഗ്യാസ് ട്രാൻസ്മിഷനായി എംഎഫ്സിയെ ഗ്യാസ് വിതരണ തുറമുഖത്തേക്ക് ബന്ധിപ്പിക്കുന്ന പൈപ്പുകൾ.

▪ MFC (മാസ് ഫ്ലോ കൺട്രോളർ):

ആവശ്യമായ വാതകത്തിൻ്റെ അളവ് കൃത്യമായി നിയന്ത്രിക്കുന്നതിന് ക്വാർട്സ് ട്യൂബിനുള്ളിലെ വാതകത്തിൻ്റെ ഒഴുക്ക് നിയന്ത്രിക്കുന്ന ഒരു ഉപകരണം.

▪ വെൻ്റ്:

ഫർണസ് ട്യൂബിനുള്ളിൽ നിന്ന് എക്‌സ്‌ഹോസ്റ്റ് വാതകം ഉപകരണത്തിൻ്റെ പുറത്തേക്ക് വിടാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു.

താഴത്തെ ഭാഗം:

▪ ഹോൾഡറിലെ സിലിക്കൺ വേഫറുകൾ:

ഓക്സിഡേഷൻ സമയത്ത് ഏകീകൃത ചൂട് ഉറപ്പാക്കാൻ സിലിക്കൺ വേഫറുകൾ ഒരു പ്രത്യേക ഹോൾഡറിൽ സ്ഥാപിച്ചിരിക്കുന്നു.

▪ വേഫർ ഹോൾഡർ:

സിലിക്കൺ വേഫർ പിടിക്കാനും സിലിക്കൺ വേഫർ പ്രക്രിയയിൽ സ്ഥിരതയുള്ളതായി ഉറപ്പാക്കാനും ഉപയോഗിക്കുന്നു.

▪ പീഠം:

ഒരു സിലിക്കൺ വേഫർ ഹോൾഡർ കൈവശം വച്ചിരിക്കുന്ന ഒരു ഘടന, സാധാരണയായി ഉയർന്ന താപനിലയെ പ്രതിരോധിക്കുന്ന മെറ്റീരിയൽ കൊണ്ട് നിർമ്മിച്ചതാണ്.

▪ എലിവേറ്റർ:

സിലിക്കൺ വേഫറുകൾ യാന്ത്രികമായി ലോഡുചെയ്യുന്നതിനും അൺലോഡുചെയ്യുന്നതിനുമായി ക്വാർട്സ് ട്യൂബുകളിലേക്കും പുറത്തേക്കും വേഫർ ഹോൾഡറുകൾ ഉയർത്താൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു.

▪ വേഫർ ട്രാൻസ്ഫർ റോബോട്ട്:

ഫർണസ് ട്യൂബ് ഉപകരണത്തിൻ്റെ വശത്ത് സ്ഥിതിചെയ്യുന്നത്, ബോക്സിൽ നിന്ന് സിലിക്കൺ വേഫർ സ്വയമേവ നീക്കം ചെയ്യാനും ചൂളയിലെ ട്യൂബിൽ സ്ഥാപിക്കാനും അല്ലെങ്കിൽ പ്രോസസ്സ് ചെയ്തതിനുശേഷം അത് നീക്കംചെയ്യാനും ഇത് ഉപയോഗിക്കുന്നു.